Способ уравновешивания сферических роторов

О П И С А Н И Е 0 455257ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских(51) М. Кл. 6 01 пт 1 осударственный иомитеСевета Министрае СССРпа делам изобретенийн втнрытий(54) СПОСОБ УРАВНОВЕШИВА ФЕРИЧЕСКИХ РОТОРО Изобретение относится к технологии уравновешивания тонкостенных сферических роторов.Известны способы уравновешивания сферических роторов, заключающиеся в определе нии величины и местоположения дебаланса и удалении его, например, путем введения травящего раствора во внутреннюю полость ротора и придания ему качательного движения.Цель изобретения - повышение точности 10 уравновешивания.По предлагаемому способу уравновешивания сферических роторов создают электростатическое поле, измеряют период колебания неуравновешенного ротора в нем и по резуль татам измерения определяют режим травления.На фиг. 1 представлена блок-схема системы подвеса ротора в электростатическом поле; на фиг. 2 - ванночка с нейтральной жидко стью и помещенным в нее ротором, внутренняя полость которого заполнена травящим раствором.В технологическую вакуумную камеру 1, выполненную в виде стеклянного колпака 2 25 и металлического корпуса 3, помещается неуравновешенный сферический ротор 4.Из камеры 1 откачивают воздух ма 10 -- 10 - 6 мм рт. ст., затем на ча электроды 5, 6 и 7 подают напряж 0 до вакуушевидные ение соот(72) Авторы изобретения В. П. Токарев, В. ветствующей величины, и ротор 4 под действием электрического поля удерживается в подвешенном состоянии. При отклонении ротора 4 от положения, при котором его центр 0 совпадает с центром подвеса камеры 1, емкость ротор в электро изменяется, что приводит к появлению на выходе датчика 8 линейных перемещений сигнала, пропорционального отклонению ротора 4.В усилителе 9 сигнал усиливается и, проходя через корректирующее устронство 10, которое осуществляет регулирование пропорционально скорости изменения сигнала с датчика 8, поступает на вход высоковольтного регулятора 11. Сигнал на выходе высоковольтного регулятора 11 зависит от направления перемещения ротора 4.Например, если ротор 4 перемещается в направлении электродов 5, 6, то высоковольтный регулятор 11 уменьшает потенциал на электроде 5 и увеличивает потенциал на электроде 7, при этом сила взаимодействия между электродом 5 и ротором 4 уменьшается, а сила взаимодействия между электродом 7 и ротором 4 увеличивается; возникающая разностная сила возвращает ротор 4 в исходное положение. В момент зависания между электродами 5, 6 и 7 ротор 4 по закону физического маятника начинает совершать колебательное движение под действием силы тяжести вокругнеподвижной горизонтальной оси, пе проходящей через его центр О тяжести,Для определения периода колебаний используется технологический рисунок съема информации, нанесенный на наружной сфере ротора 4 по экватору. По величине периода по известным соотношениям определяют величину неуравновешенности и назначают режимы травления. Колебания прекращаются, когда ротор занимает устойчивое положение, т. е. центр тяжести ротора 4 и геометрический центр О наружной сферической поверхности находятся на вертикальной оси ОУ.Затем отключается потенциал на поддерживающих электродах 5, 6 и 7, и ротор 4 под действием веса опускается на чашевидный электрод 7, камера 1 разгерметизируется и с помощью капсулы 12, расположенной на одной оси с центром О (центр подвеса), производится отметка неуравновешенной зоны ротора 4. Ротор 4 вынимается из камеры 1 через полюсные отверстия 13 и 14 (фиг. 2). В зону излишка материала ротора вводится травящий раствор 15, при этом технологические полюсные отверстия 13 и 14 герметизируются, если это необходимо, по взаимному расположению излишка материала и отверстий 13 и 14.Как показано на фиг. 2, ротор опускается в ванночку 16 с нейтральной жидкостью 17, при этом направление отвеса 18 совмещается с меткой зоны 19 неуравновешенности, что обеспечивает травление только в месте излишка материала. Боковая поверхность ванночки 16 закреплена на столе 20, а топкое дно ванночки 16 является мембраной электродпнамического возбудителя 21, который от генератора 22 через дно и жидкость сообщает ротору 4 легкие возвратно-поступательные перемещения в вертикальной плоскости. Перемещения способствуют интенсивному удалению пузырьков газа с поверхности травления, повышая равномерность травления, а уменьшая силу трения в паре ротор - жидкость, по вышают точность уравновешивания,После травления внутренняя полость промывается, и ротор 4 снова помещается в технологическую вакуумную камеру 1, где обеспечивается окончательная очистка внутренней 15 полости от продуктов травления, а также производится контрольное определение остаточной неуравновешенности. Затем процесс уравновешивания повторяется с последовательным ослаблением режимов травления до допусти мой величины статической неуравновешенности. Предмет изобретения25 Способ уравновешивания сферических роторов, заключающийся в определении величины и местоположения дебаланса и удалении его, например, путем введения травящего раствора во внутреннюю полость ротора и придания 30 ему качательного движения, о т л и ч а ю щ и йся тем, что, с целью повышения точности уравновсшивания, создают электростатическое поле, измеряют период колебания неуравновешенного ротора в пем и по результатам изме рения определяют режим травления.455257 фиг 1гафиг 2Составитель Т. Левенкова Редактор Е. Караулова Техред Т. КурилкоКорректор Т. Гревцова Заказ 246/16 Изд.2001 Тираж 760 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССРпо делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2