401185

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимо т авт. свидетельства Лев Л.Кл, С 21 Д 9/ Г 27 Ь 9Заявлено 09,Ч 1.1972 (М 1793645 с присоединением заявкп Лев асударетвеннвй кемнтетСовета Мнннстрав СССРнв,неллн извбретеннйн Открытий иоритет публиковано 21.Х.19 ата опубликования о ДК 621.783.223 (088,8.И Заявит СТРОЙСТВО ДЛЯ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ДЕЛИЙ НА ГАЗОДИНАМИЧЕСКОЙ ПОДУШКЕ Изобретение относится к устройствам для термической обработки изделий, в частности к устройствам для термической обработки плоских изделий полупроводникового производства на газодинамической подушке, и может быть использовано на предприятиях электронной промышленности.Известна нагревательная печь, содержащая камеру нагрева и газотранспортный лоток, имеющий направляющие дорожки с отверстиями-соплами.Такая конструкция печи не обеспечивает возможости проведения термической обработки изделий по циклическому режиму, т.с. по режиму с многократным последовательным чередованием циклов нагрева и охлаждения изделий при их обработке при сокращении длительности процесса.Цель изобретения - создание устройства для термической обработки плоских изделий с транспортированием на газодинамической подушке, позволяющего производить термообработку изделий по циклическому режиму прн сокращении длительности процесса термообра(готки.1 ел достигается тем, что в предлагаемом устроство аправляОщие дорожки Газора- сорОго лотка выполнены В Виде петлеобраз ных сскц, преимущественно параллельных мскду собой и соединенных друг с другом вне нагревательноц камеры так, что конец первой секции является началом второй секции, а конец второй секции - началом третьей и так далее, причем число секций соответствует числу циклов нагрева и охлаждения обрабатываемых изделий.На фиг, 1 показано предлагаемое устройство для термической обработки плоских изделий, общий впд; на фиг. 2 - разрез по А - А 1 О на фцг. 1.Устройство для термической обработкиплоских изделий на газодинамцчсской подушке состоит цз камеры 1, имеющей водоохлаждаемую рубашку 2, нагреватели и инфракрас ные излучатели расположенные над газотранспортным лотком 4 с направляющими дорожками б, выполненными в виде петлеобразных секций с наклонными в направлении перемен;ения изделий 6 отверстиями-соплами 20 7, сообщающимися между собой общим каналом 8, служащим для подвода сжатого газа (воздуха) .Термообработка изделий 6, например круглых полупроводниковых пластин, осуществля;, ется следующим образом.В канал 8 газотранспортного лотка 4 подаот, например, сжатый воздух под давлением, обеспечивающим взвешивание изделий 6 над плоскостью направляющей дорожки 5 ц зп их устойчивое перемещение на газодинами401185 Воздук 3чсской подушке в направлении, соответствующем направлению истечения струй воздуха из отверстий-сопл 7.Инфракрасные излучатели 3 питаются на. пряжением от силового блока питания, подключенного к сети переменного тока. Величина напряжения, подаваемого на излучатели, обусловлена температурным режимом нагрева изделий б, После установления внутри отражательной камеры 1 квазистационарного теплового и газодинамического режимов изделие подают па начало направляющей дорожки 5 газотранспортного лотка 4. Изделие перемещается на газодинамической подушке и входит в отражательную камеру с заданным температурным уровнем. Перед выходом нз нагревательной камеры изделие приобретает температуру, соответствующую первому циклу нагрева, а при его дальнейшем перемещении на участке направляющей дорожки, расположенном за пределами нагревательной камеры, оно охлаждается до температуры, соответствующей первому циклу охлаждения и определяемой 4 временем нахождения изделия за пределами нагревательной камеры. Далее циклы нагрева и охлаждения изделия повторяются, и число пх зависит от свойств обрабатываемых изде 5 лий и технологических режимов обработки,определяемых числом сек,ий направляющих дорожек, о Предмет изобретения Устройства для термической обработки изделий на газодинамической подушке, содержащее нагревательную камеру и газотранспорт ный лочок, имеющий направляющие дорожкис отверстиями-соплами, отличаащееся тем, что, с целью обеспечения возможности термообработки изделий полупроводникового производства по циклическому режиму, направ ляющие дорожки выполнены в виде петлеобразных секций, соединенных вне нагревательной камеры, причем число секций соответст.вует числу циклов термообработки.Составитель О. МихайловаТехред А. Камышникова Редактор 3. Шепелева Корректор В. Жолудева Подписное Загорская типография Заказ 1767 Изд.1130 Тираж 59 ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5