Электронный микроскоп-анализатор

(23) П риоритет Ваударстеевкьй каетет СССР ае делам лзабретеииЯ н вткрмтлЯОпубликовано 15.03.80, бюллетень %10 Дата опубликования описания 18,03,80(54) ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП-МИКРОАНАЛИЗАТОР Изобретение относится к областиэлектронной микроскопии и может бытьиспользовано в рентгеновских микроанализаторах.Известны электронные микроскопы 11,в которых использованы снециальныеустройства цля уцержания зацанной точки объекта на оптической оси. Эти устройства имеют сложную конструкцию итехнологию изготовления.Наиболее близким из известных потехнической бущности является электронный микроскоп-микроанализатор 12,соцержащий электронно-лучевую конценсорную систему, объективную линзу, столик объектов с цержателем образца и15рентгеновский спектрометр,Нецостатком этого прибора являетсято, что при наклонном положении исслецуемого объекта перемещение его по20горизонталыым коорцинатвм вызываетизменение по высоте исслецуемой точки объекта, лежащей на оптической оснобъективной линзы Так как объект помещен близко к срецней плоскости объективной линзы, она становится короткофокусной, и небольшие изменения объекта по высоте прнвоцят к значительному изменениюоптической силы объективной линзы. н,слецсгательно, диаметра зонда на объекте,С изменением диаметра зонца изменяется также плотность тока, что изменяет чувствительность прибора и целает фактически неравнозначными условия провецения рентгеновского микроанализа цля различных участков объекта.Кроме того, при изменении положения исслецуемого объекта по высоте вканале полюсного наконечника короткофокусной объективной линзы существенноизменяется ток фокусировки объективной линзы, что созцает иачнтельныенеуцобства при работе,Белью изобретения является повышение точности рентгеновского анализа за20 счет обеспечения неизменных условий аля любой точки исследуемого объекта, наклоненного в сторону рентгеновского спектрометра.Цель достигается тем, что в преалагаемом устройстве столик .бъектов снабжен диском, жестко соединенным через мостик с держателем, плоскость размещения образца которого выполнена одинаково наклоненной по углу и 0 направлению с сопряженными призмами, закрепленными на корпусе объективной линзы и на диске, который, в свою очередь, с помощью упоров кинематически связан с подвижной перпенаику-5 лярно оси линзы кареткой и поджат к наклонным плоскостям призм пружинами, установленными в направляющих ка-. ретки.На чертеже приведена конструктивная схема предлагаемого прибора.Каретка столика 1 объектов с упорами 2 кинематически соединена с приводами, обеспечивающими перемещение каретки 1 в горизонтальной плоскости,аДиск 3 с помощью шпилек 4 жестко соединен с мостиком 5, в котором установлен держатель 6 объектов с ис- слеауемым объектом 7, который расположен так, что плоскость объекта 7 и З 0 наклонные плоскости призм 8 имеют одинаковый угол наклона и направление наклона, что обеспечивает движение исслеауемого объекта 7 в одной плоскости, при этом исследуемая точка объек та 7, лежащая на оптической оси, не изменяет своего положения по высоте.Пружины 9 с помощью направляющих 10 кинематически соединены с кареткой 1 и обеспечивают постоянное при- Ожатие наклонных поверхностей призм 8, однииз которых размещены на дискеа аругие - на корпусе объективной линзы 11. В объективной линзе 11 раоположен полюсный наконечник 12, щель 4которого с помощью вакуумного провода 13 соединена с рентгеновским спект ром 14, предназначенным для анализарентгеновского излучения 1 5. Конаенсорная система 16 размещена на объективной линзе 11, оптические оси которых совмещены.Преалагаемый электронный микроскопмикроанализатор работает следующим образом.55Первичный пучок электронов, формируемый электронно-лучевой конденсорной системой 16, направляется нд иссле 68 4ауемый объект 7, находящийся в держателе 6 и наклоненный в сторону ренч- геновского спектрометра 14. Возникающее при этом рентгеновское излучение 15 направляется по вакуумному проводу 13 в рентгеновский спектрометр 14, Так как объект 7 находится близко к средней плоскости объективной линзы 11, магнитное поле которой формируется с помощью полюсного наконечника 12, верхняя часть поля объективной линзы 1 1 (предполье) действует как дополнительная конаенсорная линза, Это позволяет получить на объекте 7 зона диаметром 02-08 мкм с достаточно боль шой плотностью тока, что особенно необходимо аля рентгеноспектральных исследований.В такой короткофокусной линзе положение объекта 7 в канале полюсного наконечника 12 объективной линзы 11по высоте становится очень критичным. С помощью столика объектов перемешают объект 7 по горизонтальным координатам. Каретка 1 столика объектов с помощью упоров 2 перемешает диск 3, жестко связанный с мостиком 5, в котором находится держатель 6 с объектом 7 наклоненным в сторону рентгеновского спектрометра 14. Под действием упоров 2 диск 3 перемешается по наклонным призмам 8, поднимая или опуская при этом мостик 5 с держателем 6 и объектом 7.Пружины 9 при перемещении постоянно прижимают писк 3 с мостиком 5 к наклонным призмам 8,Призмы 8 выполнены так, что угол наклона и направление наклона одинаковы с углом наклона и направлением наклона объекта 7 в направлении рентгеновского спектрометра 14, что обеспечивает неизменное положение по высоте любой точки объекта 7, находящейся в данный момент на оптической оси объективной линзы 11, при перемещении объекта по горизонтальным координатам.Таким образом, предложенное устройство аает возможность исследуемую точку объекта при перемещении объекта удерживать неизменно по высоте по отношению к оптической оси, что обеопечивает высокую и неизменную чувствительность рентгеновского микроанализа для всех точек исследуемого объекта.Составител шин ВрИ, Шубина Техред С, МигайКорректор Г. Назар Реда аз 140/42 ЫНИИПИ Г по дел 113035,МосТираж 8 дарственного изобретений Ж, Ра 4 Пкомитета СССРи открытийушская набд. 4/ свое Филиал Г 1 ПП Патент", г,Ужгород, ул, Проектная, 4 5 7218формула изобретения Электронный м икроскоп-микроанализатор, содержащий электронно-лучевую конденсорную систему, объективную линзу, столик объектов с держателем образца и рентгеновский спектрометр, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с пелью повышения точности рентгеновского анализа за счет обеспечения неизменных условий для любой точки исследуемого объекта, наклоненного в сторону рентгеновского спектрометра, столик объектов снабжен диском, жестко соединенным через мостик с держателем, плоскость размещения образца которого выполнена одинаково наклонен 68 6ной по углу и направлению с сопряженными призмами, закрепленными на корпусе объективной линзы и на диске,который, в свою очередь, с помощьюупоров кинематически связан с подвижной перпендикулярно оси линзы кареткой и поджат к наклонным плоскостямпризм пружинами, установленными внаправляющих каретки.Источники информапии,принятые во внимание при экспертизе1, Патент Великобритании1304944, кл. Н 01 7 37/20,опубл, 1973,2, Патент ФРГ1807289,кл. Н 01 7 37/26, опубл, 1971 (прототип).