Всесоюзная

372859 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК ПАТЕНТУ Союа Соеетскиа Социалистических РеспубликЗависимый от патент М, Кл. Н 0117 аявлено 14 Л.1969 ( 1308546/26-25)риоритет 15.111.1968, %Р 21 д/130872, ГДРпубликовано 01.11.1973. Бюллетень13 ата опубликования описания 14 т/.1973 комитет по делам иаобретеиий и открытий при Сосете Мииистрое сссеУДК 621,328,002(088.8 Автор зобрете ВССОЮРКДЯ ИЮИй 3-,="Ь БИБЛИОТЕКА(Германская Демо Иност Арбайтсштелле фЯ СОВМЕЩЕНИЯ РИСУНКА ФОТОШАБЛОНМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПЛАСТИНЫ Изобретение относится к технологическому оборудованию полупроводниковой промышленности, в частности к устройствам для совмещения рисунка фотошаблона с рисунком полупроводниковой пластины.Известны устройства для совмещения, содержащие держатель фотошаблона и подвижную в вертикальном направлении колонку с шаровым сегментом, на котором устанавливается пластина. Колонка обычно располагается ниже держателя шаблона и закрепляется на манипуляторе, с помощью которого может поворачиваться и перемещаться.Прижим полупроводниковой пластины к шаблону обеспечивается перемещением штампа, пружинами или сжатым воздухом. Во время совмещения колонка отводится вниз так, что пластична 1 и колонка могут свободно перемещаться одна относительно другой. После совмещения пластины относительно фотошаблона пластина прижимается к нему пружиной или сжатым воздухом,Известны также устройства для совмещения рисунка фотошаблона с,рисунком полупроводниковой пластины, имеющие систему с пневматическим приводом, которая устанавливает предварительно выбранное юстировочное расстояние независимо от толщины полупроводниковой пластины и непараллельности ее сторон.Известные устройства не обеспечивают контакта пластины и фотошаблона, что необхо димо для получения на полупроводниковойпластине элементов схемы размерами 1 - 5 мк,и, из-за непараллельности пластины шаблону. При поджиме пластины к фотошаблону пластина смещается относительно фотошабло на, и требуется повторная юстировка. Заменафотошаблона в известных устройствах затруднена, кроме того, возможен прогиб фотошаблона при его закреплении.В предложенном устройстве эти недостаткиустранены благодаря тому, что между фото- шаблоном и действующей плоскостью штампа образован закрытый объем, в который выходит воздушный канал, а нижняя сторона штампа и верхняя сторона фотошаблона свя заны с атмосферой. Уплотнение между штампом и опорой держателя шаблона при этом выполнено так, что позволяется перемещение штампа в направлениях х, у, г.Предложенное устройство схематично пока зано на чертеже.Полупроводниковая пластингается на шаровом сегменте 2расстоянии от фотошаблона 3, 372859мощью вакуума (воздух откачивается через канал 4) закрепляется на держателе 5. Шаровой сегмент установлен в углублении б подвижной колонки 7, перемещающейся в направляющей 8, снабженной кольцами 9 со сквозными отверстиями 10. Направляющая расположена внутри корпуса 11 поворотного устройства.Колонка 7 контактирует с корпусом 11 через пружину 12, связанную с устройством изменения высоты 13, управление которым осуществляется через канал 14. Корпус 11 находится на координатном столе 15 с устройствами перемещения (на чертеже не показаны). Трубопровод 1 б, проходящий через стенку корпуса 11, колонку 7 и шаровой сегмент 2, соединяет нижнюю сторону полупроводниковой пластины 1 с насосом, создающим вакуум, источником давления или магистралью сжатого воздуха. Колонка 7 уплотняется металло- резиновым уплотнением 17 относительно кольца 18, расположенного на корпусе 11 поворотного устройства. На кольце 18 установлена опора 19 держателя шаблона. Колонка 7, уплотнение 17, кольцо 18, опора 19, держатель 5 и фотошаблон 3 ограничивают закрытый вакуумноплотный объем 20 с каналом 21. Предусмотрена кольцевая канавка с каналом 22. Над устройством совмещения расположены микроскоп и устройство для экспонирования (на чертеже не показаны).Описываемое устройство работает следующим образом,Полупроводниковая пластина 1 накладывается на шаровой сегмент 2 при откинутом держателе б. После опускания держателя 5 с фотошаблоном 3 объем 20 откачивается через канал 21 при открытом канале 1 б. При этом с понижением давления в объеме 20 полупроводниковая пластина 1 с шаровым сегментом 2 и колонкой 7 поднимается и выравнивается относительно фотошаблона 3. Полупроводниковая пластина 1, шаровой сегмент 2, а также держатель б фиксируются в этом положении с помощью вакуума, создаваемого через каналы 1 б и 22, после чего в закрытый объем 20 через канал 21 напускается воздух. После напуска воздуха колонка 7 с шаровым сегментом 2 и полупроводниковой пластиной 1 опускается под действием собственного веса и силы пружины 12 в положение, заданное устройством 13. В этом положении рисунок на полупроводниковой пластине 1 совмещается с рисунком фотошаблона 3 с помощью устройств смеще ния и поворота координатного стола 15. Приэтом уплотнение 17 перемещается относительно опоры 19 в соответствии с установочными перемещениями колонки 7. После совмещения объем 20 снова откачивается, пластина 1 и 10 фотошаблон 3 прижимаются друг к другу спомощью атмосферного давления, действующего на фотошаблон 3 и на обратную сторону колонки 7. Контакт пластины 1 и фотошаблона 3 может быть усилен подачей через канал 15 1 б сжатого воздуха.В этот период микроскоп убирают и надполупроводниковой пластиной 1 устанавливают устройство для экспонирования. По окончании экспонирования полупроводниковая 20 пластина 1 присасывается созданием вакуумачерез канал 1 б к шаровому сегменту 2, и в объем 20 через канал 21 впускается воздух.Затем держатель б с фотошаблоном 3 откидывается, в канал 1 б впускается воздух и 25 экспонированная полупроводниковая пластина1 вынимается из устройства,Предмет изобретения30 Устройство для совмещения рисунка фотошаблона с рисунком полупроводниковой пластины, содержащее фотошаблон с держателем, опору держателя, шаровой сегмент с закрепленной на нем полупроводниковой пласти ной, колонку, поворотное устройство с корпусом, отличающееся тем, что, с целью улучшения условий выравнивания полупроводниковой пластины относительно фотошаблона, между корпусом поворотного устройства, опо рой держателя и боковой поверхностью колонки установлено уплотнение так, что верхняя часть колонками, опора держателя, держатель фотошаблона и фотошаблон образуют объем, в котором с помощью расположенного в опоре 45 держателя канала попеременно создается вакуум или атмосферное давление, а нижняя часть колонки и корпус поворотного устройства образуют второй объем, соединенный с атмосферой с помощью канала в корпусе пово ротного устройства.каз 1188/17 Изд.308 Тираж 780 Подписное НИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб, д. 4/5 Типография, пр. Сапунова,