Устройство для растяжения эластичного носителя полупроводниковых кристаллов

СОЮЗ СОБЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН Н О 1 Е 21/7 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ПИСАНИЕ ИЗО К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(56) 1, Патент ВеликобританииУ 1488150, кл. В 5 Е 8, 19772, Авторское свидетельство СССРУ 963120, кл. Н 01 Е 21/ООф31,0381 (прототип 11(54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСТЯ 1 И:НИЯ ЭЛАСТИЧНОГО НОСИТЕЛЯ ПОЛУПРОВОДНИК ВЫХ КРИСТАЛЛОВ, содержащее основан с опорным выступом, обойму для зак ления эластичного носителя, размещенную на опорном выступе, и механизмперемещения и фиксации обоймы относительно опорного выступа, о т л и -ч а ю щ е е с я тем, что, с цельюрасширения эксплуатационных возможностей, оно снабжено выдвижными базирующими упорами, установленными наобойме, и упругим элементом, р змещенным между обоймой и основанием, амеханизм перемещения и фиксации обоймы выполнен в виде пневмокамеры,размещенной между обоймой и основанием, причем в обойме выполнены окна ипневмодорожки для перемещения эластичного носителя,Изобретение относится к микроэлект ронике и может быть применено для автоматизированной установки, закрепления, растягивания, Фиксации в растянутом состоянии и съема элас тичного носителя полупроводниковой пластины, разделенной на отдельные кристаллы на операциях в,1 зуального контроля, разбраковки и посадки кристаллов в корпуса.Известно устройство для закрепления и растягивания эластичной планки с разделенной на кристаллы полупроводниковой пластиной, содержащее основание с цилиндрическим выступом, эластичную пленку, подвижное кольцо для растягивания носителя, зажимную крышку и Фиксаторы. Эластичный носитель устанавливают на цилиндрический выступ основания, зажимают крышкой и Фиксируют. Внутри цилиндрического выступа находится подвижное кольцо, которое при помощи рукоятки, связанной с эксцентриками, перемещается вверх и растягивает носитель11.Недостатками данного устройства яв. ляются неудобство использования его в установках визуального контроля, разбраковки и посадки кристаллов из-за громоздкости конструкции и наличия ЗО открывающейся зажимной крышки под объективом оптического устройства, изменяющегося по высоте уровня положения кристаллов при растягивании пленки, что затрудняет контроль и съем кристаллов, а также отсутствие пространства внутри устройства для размещения механизма подкола крис" таллов для отделения их от эластично. го носителя, 40Работа производится вручную. Кроме того, отсутствует возможность автоматизированной установки, закрепления, растягивания, фиксации в растянутом состоянии и съема эластичного носителя.Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является устройство для растяжения эластичного носителя полупроводниковых кристаллов, содержащее основание с опорным выступом, обойму для закрепления эластичного носителя, размещенную на опорном выступе, и механизм перемещения и фиксации обоймы относительно5 опорного выступа 2.К недостаткам известного устройства относятся его ограниченные эксплуатационные возможности, обусловленные тем, что операции по установке, закреплению растяжению и съему эластичного носителя производятся вручную, что не позволяет автоматизировать процесс и испльзовать устройство в автоматической линии.Цель изобретения в ,расширение эксплуатационных возможностей устройства,Указанная цель достигается тем,что устройство для растяжения эластичного носителя полупроводниковых кристаллов, содержащее основание с опорным выступом, обойму для закрепления эластичного носителя, размещенную на опорном выступе, и механизм перемещения и фиксации обоймы относительно опорного выступа, снабжено выдвижными базирующими упорами, установленными на обойме, и упругим эле-. ментом, размещенным. между обоймой и основанием, а механизм перемещения и Фиксации обоймы выполнен в виде пневмокамеры, размещенной между обоймой и основанием, причем в обойме выполнены окна и пневмодорожки для перемещения эластичного носителя. На фиг, 1 изображено предлагаемоеустройство, разрез; на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг. 3 - разрез А-А на фиг, 2 в положении загрузки на фиг. 4 - разрез Б"Б на фиг, 2.Устройство содержит основание 1 сцилиндрическим) опорным выступом 2, на котором происходит растяжение эластичного носителя 3 полупроводниковых кристаллов 4, выполненного в виде пленки, закрепленной в рамке 5, На опорном выступе 2 размещена обойма 6, содержащая две плиты - нижнюю 7 и верхнюю 8, жестко закрепленные на ней, В плите 8 выполнены пневмодорожки 9, Между плитой 8 обоймы би основанием 1 размещена пневмо-.камера 10, а между плитой 7 обоймы б и основанием 1 - упругий элемент в виде тарельчатой пружины 11, Обойма 6 установлена с возможностью перемещения относительно опорного выступа 2 по направляющим, образованным стойками 12 и отверстиями 13, В обойме б выполнены два окна - входное 14 и выходное 5 для прохода эластичного носителя 3. В плите 8 обоймы 6 установлены два подпружиненных выдвижных базирующих упора 16, В рамке 5 и обойме 6 выполнены отверстия 17 н 18 соответственно, диаметр которыхпревьппает диаметр цилиндрического выступа 2 не менее, чем на две толщины пленки эластичного носителя 3.Устройство работает следующим образом.5Для загрузки ,установки) эластичного носителя 3 с разделенной на крис таллы 4 полупроводниковой пластиной в пневмокамеру 10 подают сжатый воздух, который, увеличиваясь в объеме, воз 1 О действует на плиту 8, котораю с жестко скрепленными с ней обоймой 6 и нижней плитой 7 перемещается в верхнее положение вдоль опорного выступа 2 основания 1, Тарельчатая пружина15 11 сжимается,при этом верхняя рабочая плоскость плиты 8 располагается вьппе опорного выст;па 2, открывая входное окно 4 для прохода рамки 5 в рабочую зону и выходное окно 15 для выхода рамки иэ рабочей зоны. Одновременно на пневмодорожки 9 верхней плиты 8 и базирующие упоры 16 подают сжатый воздух, при этом базирующие упоры 16 поднимаются выше уровня рабочей пло 25 скости плиты 8, Эластичный носитель 3 подается автоматическим транспортером (не показано) во входное окно 14, подхватывается воздухом пневмо;дорожек 9 и транспортируется в рабочую 1 зону до базирующих упоров 16. Воздух из пневмокамеры 10 сбрасывается,тарельчатая пружина 11, распрямляясь воздействует на нижнюю плиту 7, пневмокамера 10 при стравливании сжа того воздуха в атмосферу сжимается, а обойма 6, верхняя 8 и нижняя 7 плиты перемещаются вниз вдоль выступа 2 основания 1. Обойма 6, перемещаясь вниз, давит на рамку 5, заставляя ее перемещаться вслед за собой, при этом эластичный носитель 3, скользя по торцу опорного выступа 2, растягивается до требуемой величины путем регулирования стравливания воздуха в атмосферу из пневмокамеры 10. Кристаллы 4 разделенной полупроводниковой пластины раздвигаются (между ними образуются зазоры), и они могут сниматься с эластичного носителя путем подкола снизу и захвата сверху вакуумным пинцетом (не показано).После съема кристаллов в пневмокамеру 10 подают сжатый воздух и верхняя плита 8 с жестко закрепленной на ней обоймой 6 и нижней плитой 7 перемещается в верхнее положение. Тарельчатая пружина 11 сжимается, при этом верхняя рабочая плоскость плиты 8 располагается выше опорного выступа 2, прекращается подача сжатого воздуха на баэирующие упоры 16 и они под действием возвратных пружин опускаются вниз, открывая путь вдоль рабочей плоскости плиты 8, а в пневмодорожки 9 верхней плиты 8 подают сжатый воздух и эластичный носитель 3 через выходное окно 15 удаляется.Применение предлагаемого устройства позволяет автоматизировать его работу и использовать его в автоматических линиях.1089676 ретений и открытийРаушская наб., д,аз 2944/50 683 Подписное ВНИИПИ Го нного комитета СССРТираж сударстве делам изо ва, Ж,113035, М ал ППП "Патент", г, Ужгор л, Проектн Составитель Г, Падучинедактор М, Рачкулинец Техред М,Тепер Корректор О.Бил