Устройство для снятия вольтамперных характеристик полупроводниковых материалов

280684 О П И С А Н И ЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республикидетельстваависимое от авт аявлено 1119 11,02 Кл.1306223/26-25 аявкирисоединениеь МПК Н 01 7/68 6 01 г 31, 26 УДК 621.382.001.3(088.8Приорит Комитет по деламобретений н открытий Опубликовано 03,1 Х.1970. БюллетеньДата опубликования описания 11.1.1971 при Совете МинноСССР Авторыизобретения ремейчук и М. М, Бабушкин УСТРОЙСТВО ДЛЯ СНЯТИЯ ВОЛЪТАМПЕРНЫХ АРАКТЕРИСТИК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛЦельювоспроизработе.Для этого в предл ма контактирования электролитом состав щихся сосудов, что постоянный уровень объеме и обеспечи электролита с повер стины. На торце од гнездо для помещен а электрод (катод) является повышение льтатов и удобства в изооретенияводимости ре оженцом устроистизмеряемой пла лена из двух спозволяет поддеэлектролита в вать надежный хностью исследуеного из сосудов ия измепяр- р ю ве снстестины с ообщаюржцвать рабочем контакт ой плаимеет " Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов, в частности, к устройствам для измерения нарушенного слоя на полупроводниковых материалах после механической обработки.Известно устройство для измерения нарушенного слоя на германии и кремнии после механической обработки, содеркащее основание, на котором закрепляется контактная медная пластина для соединения измеряемой по- полупроводниковой пластины с положительным полюсом источника питания, На основании установлец также механизм для закрепления и перемещения электрода (катода), который соединен с отрицательным полюсом источника питания. Контактирование измеряемой пластины с электролитом производится с помощью фторопластового кольца, смонтированного на измеряемой пластине. В образованный таким образом сосуд наливают электролит, в который опускают катод.Одну сторону пластины, предназначенной для измерения, покрывают лаком ХСЛ, а другую сторону - палладием и получают в результате омический палладиевый контакт, Омический контакт соединяют с положительным полюсом источника питания. Затем наклеивают фторопластовое кольцо и наливают приблизительно 1 смз плавиковой кислоты. Платиновый электрод, соединенный с отрицательным полюсом, погрукают в электролит, так чтобы электрод не касался поверхности пластины. Вольтамперную характеристику системы снимают в темноте и сравнивают с кривой анодного растворения германия, не имеющего нарушенного слоя,Недостаток этого устройства заключается в низкой воспроизводимости результатов, а также в том, что при каждом снятии вольтамперных характеристик необходимо многократно наклеивать полупроводниковые пластины на державки для измерения, а затем отсоединять их, а также наносить защитные покрытия на пластины перед травлением. Это делает каждый замер весьма трудоемким ц приводит к увеличению погрешностей измерений.спирали, жестко установленной параллельно плоскости измеряемой пластины.Кроме того, система контактирования с положительным полюсом источника питания представляет собой изолированный постоянно подпружиненный стержень с державкой измеряемой пластины.На чертеже показано предложенное устройство в разрезе.На основании 1 установлены два сообщающихся сосуда 2 и 3, Электрод 4 в виде плоской спирали жестко закреплен параллельно плоскости измеряемого образца 5, наклеенного на державку. Последняя представляет собой изолированный стержень б с пружиной 7. На торце сосуда 2 имеется гнездо, в которое устанавливается державка с приклеенным образцом 5.Устройство работает следующим образом.В сосуд 3 заливают электролит (плавиковую кислоту) до появления мениска жидкости в верхней части сосуда 2,Образец 5, наклеенный на державку, с нанесенным на его нижней плоскости палладием, устанавливают в гнездо на торце сосуда 2 и фиксируют с помощью пружины 7 в корпусе. Избыток электролита сливается через кольцевой паз 8 и канал 9 в стакан 10 для сбора электролита. Затем снимают вольтамперную характеристику системы и сравнивают с эталонной. Если кривые не совпадают, то образец подвергают травлению с последующими измерениями тол щины и снятием вольтамперных характеристик. Для травления образец снимают вместе с контактирующим устройством, травят и ьновь устанавливают в сосуд для снятия вольтамперных характеристик.10Предмет изобретенияУстройство для снятия вольтамперных характеристик полупроводниковых материалов, содержащее систему контактирования полу проводниковой пластины с электролитом, систему контактирования с положительным полюсом источника питания и катод, отличаюгцееся тем, что, с целью улучшения результатов измерения, система контактирования полу проводниковой пластины с электролитом выполнена в виде двух сообщающихся сосудов, на торце одного из которых размещена система контактирования с положительным полюсом источника питания, выполненная в виде 25 изолированного постоянно подпружиненного кторцу стержня с державкой измеряемого образца, а катод выполнен в виде плоской спирали, жестко установленной параллельно плоскости измеряемой пластины.280684 Орловска сдактор Заказ 3444 у 10 Тираж 480 ПодписпоЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская паб, д. 4/5 пография, пр, Сапунова, 2 оставитель В. М, ГришинТехред 3. Н, Тараненко Корректоры: Л. Корого и М. Коробов