270699

270699 ОП ИСАНИ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскит Социалистическил Республиквависимое от авт. свидетел 11.1969 ( 13041 М,Кл,НО 23-26) аявлено исо нением заявкиКомитет по оеламобретений и открытий риорите Опубликовано 31.Х.19 оллетень33 ри Совете Нинистр СССРК 66.02:621.365.56 (088,8) а опубликования описания 29.1.197 Авторыизобретения Н. Я. А, У оловье Заявитель ПОСОБ НАГРЕВА ОБРАЗЦА ИЗ ТУГОПЛАВКОГО МАТЕРИАЛ ая кварцевая трутангенциального газа, помещена в о генератора. Чехний конец котодинен с землей, рительного высозец 6 устанавлиппорте 7, наприомещают в тигель Вертикально расположенн ба 1, имеющая штуцер 2 дл входа плазмообразующего индуктор 3 высокочастотног таллический электрод 4, ве рого через размыкатель 5 с служит для создания пред кочастотного разряда. Обр вают непосредственно на с мер, из нитрида бора или п о в Изобретение относится к области химического машиностроения, в частности к способу нагрева образца из тугоплавкого материала.Известен способ нагрева образца из тугоплавкого материала, заключающийся в проведении термообработки в две ступени: предварительного и завершающего высокочастотного н агрева.Для повышения чистоты целевого продукта предлагают устройство, отличающееся тем, что предварительный нагрев проводят посредством создания в рабочей камере плазмы, в которую помещают образец, с последующим проведением высокочастотного нагрева в той же камере,На фиг. 1 показано предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 - устройство с подготовленным к нагреву индуктором; на фиг.3 - устройство с опущенным вниз ицдуктором. из нцтрида бора, который устанавливают на суппорте.Поджог высокочастотной плазмы осуществляют следуюгцим образом: индуктор 3 высо кочастотцого генератора устанавливают так,чтобы нижний конец электрода 4 находился в зоне нндуктора (см. фиг. 1); через штуцер 2 вводят очищенный инертный газ, образующий вихревой поток, и при заземленном электроде 10 4 подают высокочастотное напряжение на ицдуктор. Возникающий на конце электрода предварительный высокочастотный разряд переходит в плазму 8. Для термозащиты кварцевых стенок рабочей камеры поток плазмо образующего газа во врсмя существования высокочастотной плазмы делают значительным лноо используют камеры с водоохлаждасмыми медны ми трубами. Чтобы предотвратить возникновение разряда между плазмой и элек тродом последний отключают от земли, аицдуктор опускают вниз до тех пор, пока перемещающаяся совместно с индуктором плазма не достигнет поверхности образца (см, фиг. 2). За счет тепла, выделяемого плазмой, 25 происходит нагрев обращенной к ней частиобразца, го есть осуществляется частичный предварительный нагрев. После выдержки образца в плазме в течение определенного времени подводимую к цндуктору мощность 30 резко снижают, и плазма гаснет. Одновремен270699 трубы расход аргопа доводится до 70 л(мин.Нагревание плазмой длится в течение 20 сек, после чего плазму гасят, уменьшают расход газа до 1 - 1,5 л/,нин и ведут дальнейшее на гревание обычным высокочастотным способом,сместив индуктор 8 несколько вниз. Весь процесс нагревашая и плавления длится 10,яин. Данные спектрального анализа амфорного 10 бора (В,) и образцов кристаллического бора (В и В",),пслученпых соответственно ипдукционпым нагревом с использованием танталового кольца и с применением плазменного предварительного нагрева, приведены в таб.15 лице. Содержание примесей, 0 а Образцы бораА 1 Я Та Мп Сг 0,1 0,01 0,1 0,05 0,1 0,01 0,04 - 0,050,03 - 0,40,03 - 0,04 О, 003 0,01 0,1 0,01 В кр П кп 0,004 в ,005 0,004 в ,005 0,5 0,01 0,001 О, .01 0,5 0,01 0,001 0,01 Как видно из таблицы, конечный продукт, полученный с использованием в качествс предварительного нагревателя тапталового кольца, содержит повышенный по сравнению с исходным материалом процент примеси тантала. 20 но с этим уменьшают подачу газа. После этого мощность, подводимую к индуктору, увеличивают, а индуктор 3 несколько смещают вниз (см. фиг. 3), и дальнейший нагрев ведут обь 1 чным способом. Пример. Образец б, изготовленный прес- сованием из амфорного бора в виде цилиндра диаметром 18,ил и высотой 25 лл, помещают на суппорт 7 из ннтрида бора, Плазму 8, образованную в верхней части кварцевой трубы, перемещением ипдуктора 3 приводят в контакт с образцом 6, Ипдуктор питается от генератора с потребляемой мощностью 15 вт и частотой 5,6,гц. Для тсрмозащпты стенок Предмет изобретения Способ нагрева образца из тугоплавкого материала путем г:роведсния термообработки вдве ступени: предварительного и завершающего высокочастотного нагрева, отличающийся тем, что, с целью повышения чистоты целевого продукта, предвари 1 ельный нагрев проводят посредством создания в рабочей камере плазмы, в которую помещают образец, с последующим проведением высокочастотного нагрева в той же камере.Типография, пр. Сапунова,Заказ 4326/7 Изд, М 761 Тираж 406 Цг 1 ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при СовеМосква, Ж, Раушская иаб., д. 4/5 ПодписиоМинистров СССР