218405

Номер патента: 355697

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Лепилин, Черн

МПК: H01L 21/203

Метки: металла, нанесения, пластину, полупроводниковую, селективного

...наносят тон к)ю пленк) Отя,ля (напримерр, золота или алюминия), металлизированныее пластины покрыва 1 от фоторезнстом, экспонируют через фотошаблон с соответс 1 вующнм рисунком, проявляот и травленел удаляют металл с участков, не,покрытых фоторезстом. Затем металл вжигают в кремниевую поверхность путем нагрева до температуры образованя эвтект 1 к для получения низкого сопротивления коннпя металла соседние днфтп лог)т Окязя 1 ься зякОро355697 Составитель В. ГришинРедактор Т. Орловская Техред Л. Евдоиов Корректор Е. Миронова Заказ 3672/5 Изд.1557 Тираж 406 Подписное ЦПИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 соответственно 600 и 750 С, в то...

Номер патента: 514378

Опубликовано: 15.05.1976

Авторы: Пергунов, Симакин, Ушаков

МПК: H01L 7/68

Метки: кассета, нанесения, пластины, пленки, плоские

...р-ПО 1,; ДГ г 31 -32 СЧЕТэтОГО усилия Выстпы 5 упруОЙ подложки 3,деформируясь направленно в сторону их угланаклона к основанию, перемещают размещенные на пх опорных площадках 7 к геометрическому центру кассеты до тех пор, пока не 5устранятся имеющиеся зазоры,как между отдельными пластинами в рядах, так и междурядами. Рабочим усилием прижимаОт пленкук пластинам, выдерживают давление заданноевремя, а затем сиимают нагрузку, Так как адгезия ленты 10 с пластинами 9 выше, чем супругим основанием рабочего органа, то налипация плепки к пабочет, оргагг це происходит,Плястинь сяпесс,но я;гх пленкдл герегружаются па кассеты дл 5 дальнейнцх опсдгц.й. Для Обеспечения цезавц имогд идивцдуяльцого пере,ещсния каждой пластипы ширина выступа кассеты не...

Номер патента: 575610

Опубликовано: 05.10.1977

Авторы: Зюбин, Наумов, Панибрат, Пересунько, Спешинский

МПК: G03F 7/16

Метки: нанесения, пластины, светочувствительной, эмульсии

...верхней части резервуара установлен патрубок 21, соединенный трубопроводом 2через дроссель 23 и золотник 24 с системой сжатого воздуха. Резервуар 15 смонтирован в термостатируюшей рубашке 3, заполненной жидкостью 25, например водой, передающей резервуару 15 тепло от нагрева 5 геля 26, поддерживающего постоянную температуруу све точувс твитейбной эмульсии. Сжатый воздух, поступающий из сети, подготавливается узлом 27, состоящим из масловлагоотделителя 28, регулятора давления О29, реле давления 30 и предохранительного клапана 31. Лля контроля величины давления в разных участках установлены манометры 32 - 34.Ла держателе 1 устанавливают пластину, 15Подается команда золотнику 10, управляющему цилиндром 7 на перемещение распылителя 2 в...

Номер патента: 725060

Опубликовано: 30.03.1980

Авторы: Гулевский, Пастернак

МПК: G03C 1/74

Метки: нанесения, пластины, светочувствительного, слоя

...с повышен3ной скоростью на участке, предшествующем наносу,На фиг. 1 представлена схема нанесения светочувствительного слоя на пластину; на фиг. 2 - разрез А - А на фиг. 1,П р и м е р. Нанесение светочувствительного слоя на пластины осуществляют следующим образом,11 ластины 1 непрерывно транспортируют с определенным шагом и постоянным зазороммежду ними подающим рольгангомна ускоряющий рольганг 3, которыи ооеспечивает увеличение зазора между пластинами по сравнению с первоначальным в 2 - 2,о раза за счет большей скорости вращения роликов,Доведя до упора 4, пластину останавливают, после чего перемещают вертикально вверх и прижимают к горизонтальной плоскости 5 прижимным устройством 6.Плоскость устройства 6, которой производят прижим...

Номер патента: 850220

Опубликовано: 30.07.1981

Авторы: Востриков, Степанов, Фандеев

МПК: B04B 5/00

Метки: нанесения, пластины, фоторезис-ta, центрифуга

...в верхней части сборника 1 Фоторезиста герметичную камеру 5, сообщенную с вытяжной системой, и две конусообразные обечайки 6 и 7, установленные так,что меньшее основание одной из них (6) расположено под пластиной 4, а мень-,шее основание другой (7) - над пластиной с образованием кольцевого зазора для избытка фоторезиста. В крышке 8 камеры 5 герметично закреплены форсунки 9 для подачи фотореэиста и других необходимых по технологическому процессу реактивов и распределитель газа, выполненный в виде конического экрана 10 со штуцером 1 для подвода сжатого газа . Диаметр обращенного к обрабатываемой пластине 4 большего основания конического экрана 10 равен или немного меньше диаметра обрабатываемой пластины, при этом экран расположен...