Способ изготовления записывающей головки струйного типа

)5 ТЕ ПАТЕНТ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР(71) Научно-исследовательский институт космического приборостроения(72) А.А.Аксюнов, Ю,С.Гусар и Б,Н,Дунаев (73) А.А.Аксенов, Ю.С,Гусар и Б,Н.Дунаев (56) Авторское свидетельство СССР 1 ч. 1688113, кл, 6 01 О 15/18, 1990.(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЗАПИСЫВАЮЩЕЙ ГОЛОВКИ СТРУЙНОГО ТИПА (57) Изобретение относится к приборостроению, а именно к элементам конструкциирегистрирующих устройств, и может бытьиспользовано при изготовлении записывающих устройств - головок струйного типа, наносящих красящие вещества, например чернила, на поверхность носителя записи,Изобретение относится к области приборостроения, а именно к элементам конструкции регистрирующих устройств, и может быть использовано при изготовлении записывающих устройств - головок струйного типа, наносящих чернила на поверхность носителя записи,Целью изобретения является упрощение способа за счет снижения трудоемкости изготовления сопловой пластины, .На фиг, 1 приведен общий вид записывающей головки струйного типа; на фиг. 2 - вид Б на фиг. 1; на фиг. 3 - сечение А - А на фиг. 1; на фиг. 4-8 - тех,процесс изготовления многофункциональной пластины.Сущность способа изготовления записывающей головки заключается в том, что изготавливают подложку 1 с резистивными Цель изобретения - упрощение способа изготовления записывающей головки струй-, ного типа за счет снижения трудоемкости изготовления сопловой пластины - достигается за счет того, что изготавливают подложку с резистивными элементами, изготавливают многофункциональную пластину и соединяют их между собой, Изготовление многофункциональной пластины начинают с получения заготовки, которую нарезают из бронзовой фольги, На заготовке методом фотолитографии формируют фоторезистивную маску под сквозные отверстия, одновременно формируют ее и . под выступы, затем по полученной обратной фоторезистивной маске проводят гальваническое осаждение никеля, а удаление фоторезиста осуществляется перед травлением. 8 ил. элементами 2, изготавливают многофункциональную пластину 3 и соединяют их между собой (фиг,1), При этом изготовление многофункциональной пластины 3 начинают с получения заготовки 4 (фиг. 4).Заготовку нарезают из бронзовой фольги марки ДПРНТБрБ 2-0,1 ГОСТ 1879-70. После получения заготовки формируют на ней методом двухсторонней фотолитографии обратную фоторезистивную маску 5 (фиг.4) под сквозные отверстия 6 и под выступы 7 (фиг.3),Затем по полученной фоторезистивной маске 5 проводят гальваническое никелирование 8(фиг.5), далее идет снятие фоторезистивной маски 5 (фиг.б) и заканчивается процесс фотолитографии травлением (фиг.4), в результате которого получаютсквозные отверстия 6 и выступы 7 (фиг,7), Затем на готовую многофункциональную пластину наносят защитное гальваническое покрытие никеля 9 (фиг.9),По предложенному способу изготовлены работающие записывающие головки со следующими техническими параметрами:диаметр сопловых отверстий 60-70 мкм с точностью 2 мкм;высота выступов составила 50-65 мкм с . очностью выполнения + 2 мкм,Формула изобретения Способ изготовления записывающейголовки струйного типа, заключающийся вформировании подложки с резистивными нагревателями, многофункциональной пластины из бронзовой фольги и соединении ее с подложкой, а при изготовлении многофункциональной пластины на заготовке форми руют фоторезистивную маску под сквозныеотверстия, производят травление, удаление фоторезиста и нанесение на поверхности подложки защитного гальванического покрытия, отл ич а ю щи йсятем, что, с целью 10 упрощения и снижения трудоемкости изготовления, дополнительно формируют фоторезистивную маску под выступы с обратной стороны заготовки, затем на обе стороны заготовки производят гальваническое осаж дение слоя никеля и удаляют слой фоторезиста перед травлением.1806327 КоРРектоР М.Керец Составитель С.Боту Техред М.Моргента дакто аказ 972 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101