Полимерная пленкообразующая композиция для изготовления пелликлов

(19) 111) 14, С 08 1)5 С 08 ЕНИ ПАТЕ НТУ воритель с ервале 70 в О нии компо- фу к области полх композиций, а готовления пле 1 х рамок, наклатошаблоны и ие на их поверляется увеличепленок, получае- нкообразующих 50-85 жно испольорошо раса кипения70 - 160 С, циклогексаовании расигается тем, что ющая компози рителя дополни , а в качестве ель даст ообразу раство лацетат ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР(56) 1. ВгоппегТ,А., АоззсЬпп С.Р., Ооу Ол.,Рейсе МазК. Ргоресбоп аког 1:1 Рго)естопОтйодгарЬу. ЯоИо Итаке ТесЬпооду, Мау1983, рр, 1.35 - 143.2. Патент США М 4131363,кл, С 081/14 опублик. 1978,3, Патент США М 4476172,кл. С 0883/06, опублик. 1984,4. Патент Франции М 2573219,кл. О 02 В 5/22, опублик. 1985. Изобретение относитс имерных пленкообразующи именно: композиций для из нок пелликлов - специальн дываемых сверху на ф предотвращающих попада хность пылевидных частиц Целью изобретения яв ние времени эксплуатации мых из полимерных пле композиций. Поставленная ц полимерная пленк ция на основе АБЦ и тельно содержит бути(54) ПОЛИМЕРНАЯ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩАЯ КОМПОЗИЦИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЕЛЛИКЛОВ(57) Использование: проекционная фотометография для предохранения фотошаблонов от пылевидных частиц, Сущность изобретения: композиция для изготовления пелликлов содержит 3 - 5 ацетобутирата целлюлозы, 10 - 45 растворителя с температурой кипения 70 - 160 С и 50-85 бутилацетата. Растворителем являются зтилацетат, диоксан, циклогексанон, ацетилацетон, 1 з.п, ф-лы, 1 табл. растворителя исптемпературой кип160 С при следующнентов, мас,:АБЦРастворительс температурой кипе.ния 70 - 160 СБутилацетатВ качестве растворителя мозовать органические жидкости, хтворяющие АБЦ, температуркоторых находится в пределахнапример, этилацетат, диоксан,нон, ацетилацетон. При использ4356145 творителей с температурой кипения меньшеМ, чем 70 С не удается получить пленки стребуемым уровнем равнотолщинности.При больших, чем 160 С значениях температуры кипения, скорость испарения растворяющей системы мала и, соответственно,время формирования полимерной пленкипревышает технологически допустимое (10мин).Принципиальноезначение имеет содержание БА в композиции. При содержании БА меньшем, чем 50 мас.происходитрезкое снижение времени стабильностиполимерной пленки в натянутом состоянии.А при большем, чем 85 мас. наблюдается 15плохая гомогенизация раствора, что существенно сказывается на однородности формируемых из ПОК пленок, Получаемые приэтом значения разнотолщинности существенно больше нормы (табл.1). Введение БА 20в композицию неочевидно, поскольку он неявляется растворителем для АБЦ, что и приводит к выпадению полимера из системыпри увеличении содержания БА свыше 85мэс4. В то же время введение БА в композицию в количествах, указанных в формулеизобретения, позволяет получать пленки судовлетворительным уровнем свойств,Таким образом, при реализации изобретения в объеме признаков, представленных в формуле изобретения, в заявляемыхпределах по температуре кипения растворителя и соотношении компонентов, получают пленки требуемого качества, Приэтом использование предлагаемой рецептуры позволяет в 2-3 раза повысить времяэксплуатации пленки АБЦ в составе пелликлы,П ример;Пленкообразующая композиция, содержащая, мас.,АБЦЦиклогексанонБутилацетат Композицию готовят путем растворения 4 мас.ч, АБЦ в 35 мас.ч, циклогексанона. В полученный раствор затем добавляют61 мас,ч. бутилацетата и перемешиваютполученную систему при комнатной температуре до ее полной гомогенизации. Дляполучения пленки 3-5 мл ПОК выливают навращающуюся со скоростью 700-1000об/мин полированную кремниевую пластину и сушат на воздухе при нормальных условиях в течение 10 мин.Качество полученнойпленки:разнотолщинность 0,02 мкмвремя эксплуатации 45 сут.Остальные примеры, подтверждающиевоэможность получения положительногоэффекта только в объеме признаков, указанных в формуле изобретения, приведены втаблице.Примеры пленкообразующих композиций на основе АБЦ,Формула изобретения1. Полимерная пленкообразующая композиция для изготовления пелликлов, включающая ацетобутират целлюлозы иорганический растворитель, о т л и ч а ю щ ая с я тем, что, с целью. увеличения времениэксплуатации пелликлов, в качестве органического растворителя она содержит растворитель с температурой кипения 70-160 С идополнительно бутилацетат при следующемсодержании компонентов, мас. :ацетобутират целлюлозы 3 - 5растворитель с температурой кипения 70 - 160 С 10 - 45бутилацетат50-85,2. Композиция по п,1, отл ич а ю щаяс я тем, что, в качестве органического растворителя с температурой кипения 70160 С она содержит зтилацетат, диоксан,циклогексанон и ацетилацетон.1806150 Примеры пленкообразующих композиций на основе АБЦ Свойства пленки Состав ПО К,мас РастворительАБЦ БА разнотол- щинность, мкм время экс- плуатации, сут Циклогексанон (155,6) Тот же Тот же 0,15 4 24 72 20 72 24 4 0,05 24 72 0,04 47 44 72 0,03 120 0,03 24 Циклогексанон (155,6) Этилцел- лозольв 24 20 0,03 Составитель И.ДевнинаТехред М.Моргентал Корректор Е.Папп Редактор Заказ 963 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-З 5, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина. 101 Ацетон