Интерферометр

(5 а,т 5 6 0 САНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ВИДЕТЕЛ Ь СТВУ К АВТОРСКО ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР(71) Всесоюзный научный центрГосударственный оптический институт им. С.И. Вавилова"(53) 531,715.1(088.8)(56) Авторское свидетельство СССР М 1640529, кл. 6 01 В 9/02, 198 С.(57) Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к конструкциям интерферометров с дифракционными решетками, и может быть использовано при научных исследованиях и в производственИзобретение относится к оптическому приборостроению, точнее к конструкции интерферометров с дифракционными решетками, и может быть использовано в научных исследованиях и в производственных условиях для исследования качества поверхностей изделий и неоднородностей в прозрачных средах.Известны различные типы интерферометров, включающие разнесенные в пространстве зеркала и дифракционные решетки.Наиболее близким к предлагаемому является интерферометр, содержащий неплоскопараллельную прозрачную пластину. На ее переднюю поверхность нанесена отражательно-пропускающая дифракционная решетка, На противоположную поверхность ных условиях для определения качества поверхностей изделий и неоднородностей в прозрачных средах. Цель изобретения - упрощение конструкции путем иного выполнения отражателя. Падающее излучение отражается от решетки, нанесенной на одну из поверхностей неплоскопараллельной прозрачной пластины, и распределяется по дифракционным максимумам, На противоположной стороне пластины выполнен отражатель в виде сплошного покрытия. В максимумах разных порядков образуются интерференционные картины с различной величиной сдвига, причем получение таких интерферограмм происходит одновременно. 1 з.п,ф-лы, 2 ил,нанесен отражатель. Он также выполнен в виде дифракционной решетки, причем зта отражательная решетка смещена относительно передней решетки,СОНаличие двух дифракционных решеток, 0 разнесенных в пространстве и смещенных одна относительно другой, усложняет кон- (Д струкцию интерферометра. Изготовление такого прибора с двумя решетками требует )в . тщательной юстировки и специального контроля в процессе изготовления, использования вспомогательных.приспособлений. Это удорожает интерферометр. Наличие неизбежных погрешностей при выполнении двухсовместных) решеток приводит к появлению пространственных шумов в интерферограммах, что ведет к ошибкам при анализе интерферограмм.и тем самым ухудшает эксплуатационные качества устройства.Целью изобретения является упрощение конструкции, удешевление интерферометра и улучшение его эксплуатационных качеств.Указанная цель достигается тем, что в интерферометре, включающем неплоскопараллельную прозрачную пластину с нанесенной на одну из ее поверхностей отражательно-пропускающей дифракционной решеткой и с отражателем на противоположной стороне пластины, отражатель выполнен в виде сплошного покрытия, нанесенного на всю поверхность,Между пластиной и отражающими элементами дифракционной решетки может быть нанесено поглощающее покрытие, а на пропускающие элементы решетки - просветляющее покрытие. Это позволяет устранить блики, возникающие при многократном отражении излучения внутри пластины, и связанное с ними появление дополнительных дифракционнь 1 х максимумов, Тем самым повышается контрастность интерференционной картины.На фиг,1 изображен интерферометр; на фиг.2 - наложение волновых фронтов в двух дифракционных максимумах.Интерферометр содержит неплоскопараллельную прозрачную пластину 1, нанесенную на одну ее поверхность отражательно-пропускающую дифракционную решетку 2, отражатель 3 в виде сплошного слоя, покрывающего противоположную поверхность, поглощающее покрытие 4 и просветляющее покрытие 5, падающее излучение 6, излучение 7 и 8, отраженное (и дифрагировавшее) соответственно от решетки 2 и от слоя 3,Интерферометр работает следующим образом.Падающее излучение 6 отражается от решетки 2 и распределяется по дифракционным максимумам, причем направление а 2 на максимум в-го порядка определяется выражением зи (а 2 - О) = п 1 А/б, где о - шаг решетки, А - длина волны излучения. Излучение, отразившееся от слоя 3, при двойном прохождении пластины 1 в точке х, где ее толщина равна т(х), а показатель преломления и, приобретает набег фазы =4 лк(х)/ Л. Выходя сквозь решетку 2 наружу, оно дифрагирует. Разность фаз между лучами, вышедшими из соседних щелей и направленными в максимум в-го.порядка, равна (-,-) с вп (аз - О) + 2 и (т(х + с 3) - 1(х, 2 л5 Поэтому угол аз между падающим лучом исоседним лучом, направленным в в-й максимум, определяется выражениемв 3 п (аз - О) = ( - ) в А - 2 п(1(х + с 3) - Т(х 10 Видно, что а 2 Фаз. Кроме того, из сопоставления выражений для а 2 и аз следует, что разность (а 2 - аз) для различных дифракционных максимумов различна, Следовательно, различна и величина смещения волновых фронтов, отраженных от решеток 2 и 3, Таким образом, в максимумах разных порядков образуются интерференционные картины с различной величиной сдвига, причем получение таких интерферограмм происходит одновременно.Выполнение отражателя на задней поверхности пластины 1 в виде сплошного покрытия 3 вместо отражательной дифракционной решетки, к тому же строго сьюстированной по отношению к передней решетке 2 (как в прототипе), делает конструкцию предлагаемого интерферометра более простой и дешевой по сравнению с известной, Устраняется возможность появления пространственных шумов в интерферограммах ввиду ошибок в изготовлении и юстировке заднего отражателя, что имеет место в известном. Тем самым улучшаются эксплуатационные свойства прибора,Формула изобретения 1,Интерферометр, содержащий неплоскопараллельную прозрачную пластину с нанесенной на одну из ее поверхностей отражательно-пропускающей дифракционной 40 решеткой и с отражателем на противоположной стороне пластины, о т л и ч а ю щ ий с я тем, что, с целью упрощения конструкции, отражатель выполнен в виде сплошного покрытия, нанесенного на всю поверх. ность.2.Интерферометр по п,1, о т л и ч а ю щи й с я тем, что, с целью повышения контрастности интерференционной артины, между пластиной и отражающими элемен тами дифракционной решетки нанесено поглощающее покрытие, а на пропускающие элементы решетки нанесено просветляющее покрытие 551728643 Риг Составитель Ю.Дым Техред М.Моргентал дактор М.Бла ектор М,Кучерявая водственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 10 аз 1398 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ С113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5