Способ термокомпенсации тензорезистора

(19) 505 601 В 7I О НИЕ ИЗОБРЕТЕНИМ СВИДЕТЕЛЬСТВУ К АВТОРСК У 2 ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМРИ ГКНТ СССР 1(71) Научно-исследовательский институт физичесрех измерений. (57) Изобретение. относится к измерительНой технике и может быть использовано при измерении деформации на деталях машин, на исследуемых изделиях в широком диапазоне температур. Целью изобретения является повышение точности измерения за счет исключения изгибных термадеформаций компенсационной пластины с компенсационным тензорезистором. Способ термокомпенсации тензорезистора заключается в том, что на обратную сторону компенсационной пластины 3 наносят слой того же клея, каким приклеен компенсационный тензорезистор 4, и наклеивают имитатор 5 тензорезистора, изготовленный из того же материала и имеющий те же деформативные свойства, что компенсационный тензорезистор, 1 ил.Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано приизмерениях деформаций на исследуемыхизделиях при нагреве в широком диапазонетемператур.Известен способ термокомпенсациитенэореэисторов, заключающийся в том,что на подложку наклеивают основную итермокомпенсирующую тензочувствительные решетки, выполненные из материаловс различными температурными характеристиками сопротивления, а петли термокомпенсирующей решетки навиваютразличной длины, убывающей по законугеометрической прогрессии со знаменателем, равным 2.Недостатком известного способа является то, что использование решеток, выполненных из материалов с разными.температурными характеристиками сопротивления, имеющих при больших перепадахтемператур различие в чувствительности ктемпературе, связано со значительными искажениями результатов измерений.Наиболее близким к предлагаемому потехнической сущности и достигаемому положительному эффекту является способтермокомпенсации тензорезистора, заключающийся в том, что наклеивают активныйтензорезистор на исследуемое изделие икомпенсационный тензорезистор на однусторону ненегружаемой пластины, подвергаемой температурной деформации, чис-ленно равной температурной деформацииисследуемого изделия, измеряют сопротивление тензорезисторов и вычитают из сопротивления активного тенэорезисторасопротивление компенсационного тензорезистора,Недостатком известного способа является то, что он не обеспечивает необходимой точности, так как при воздействиитемпературы компенсационная пластина снаклеенным на нее компенсационным тензореэистбром испытывает дополнительныедеформации изгиба из-за различия коэффициентов линейного расширения тенэорезисторов и. материала компенсационнойпластины, что приводит к погрешностям измерения деформаций,Целью изобретения является повышение точности измерения за счет исключенияиэгибных термодеформаций компенсационной пластины с компенсационным тензорезистором.Поставленная цель достигается тем, что- согласно способу термокомпенсации тензорезистора, заключающемуся в том, что накреивают активный тензорезистор наисследуемое изделие и компенсационный тензорезистор на одну сторону ненагружаемой компенсационной пластины, подвергаемой температурной деформации,численно равной температурной деформа 5 ции исследуемого изделия, измеряют сопротивление тензорезисторов и вычитаютиз сопротивления активного тензорезистора сопротивление компенсационноготензореэистора, на другую сторону компен 10 сационной пластины наносят слой того жеклея, каким приклеен компенсационйыйтензореаистор, и наклеивают имитатор тензорезистора, изготовленный иэ того же материала и имеющий те же деформативные15 свойства, что.и компенсационный тензорезистор,На чертеже представлена схема, поясняющая способ;На исследуемое изделие 1 наклеивают20 тензорезистор 2. Компенсационный; тензорезистор 3 наклеивают на одну сторону компенсационной пластины 4.Для исключения нежелательной.деформации компенсационной пластины; возни- .25 кающей из-за, разницы коэффициентовлинейного расширения компенсационноготензорезистора и материала компенсаци-.онной пластины, на другую сторону компенсационной пластины. 4 наклеивают30 имитатор тензорезистора 5 из того же материала, что и тензорезистор, и тем жеклеем,что и компенсационный тензорезистор, Из-.меряют сопротивление тензорезисторав ивычитают из сопротивления тенэорезисто 35 ра сопротивление компенсационного тензорезистораПрименение способа термокомпенса-,ции тензорезистора исключает:ошибку визмерениях, вызванную различием коэффи 40 циентов линейного расширения компенсационного тензорезистора и компенсационной пластины, повышает точность измерения деформаций. 45 Формула изобретенияСпособ термокомпенсации тензорезистора, заключающийся в том, что наклеивают активный тензорезистор на исследуемое изделие и компенсационный тензореэистор 50 на одну сторону ненагружаемой компенсационной пластины, подвергаемой температурной деформации, численно равной температурной деформации исследуемого изделия, измеряют сопротивление тензоре эисторов и вычитают из сопротивления ак.тивного тензорезистора сопротивление компенсационного тензорезистора, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения пугем исключения изгибных термодеформаций компенсационной1717949 Составитель В. КурляндскийРедактор. Н. Лазаренко Техред М.Моргентал Корректор Л. Патай Заказ. 869 . Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комиТета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 45 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 пластины с компенсационным тензорезистором, на другую сторону компенсацион-. ной пластины наносят слой того же клея, каким приклеен компенсационный тензорезистор, и наклеивают имитатор тензорезистора, изготовленный из того же материала и имеющий те же деформативные свойства, что и компенсационный тензорезистор, 5