Способ изготовления дифракционных решеток большой длины

(51) ф ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ИФРАКДЛИНЫ сти оптик спосорешеток я являетсти изго 1 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДЦИОННЫХ РЕШЕТОК БОЛЪШОЙ(57) Изобретение относится к облаческого приборостроения, а именнобам изготовления дифракционныхбольшой длины. Целью иэобретенися упрощение и повышение точно Я 2 1675815 А 1 товления, В соответствии со способом на одной и той же заготовке нарезаютдве группы штрихов 1 и 2 одинакового периода и получают с них копию на общей подложке, При этом после нарезания первой группы штрихов 1 заготовку разворачивают в плоскости штрихов на угол а = 30/8, где б - постоянная решетки;- длина штриха, а после нарезки второй группы штрихов 2 выявляют зону 5 синфазности групп штрихов 1 и 2 и копируют только эту зону. Способ исключает операцию юстировки оригиналов перед каждым копированием, вместо которой однажды найденная зона на оригинале может быть скопирована несколько раэ. При этом допускается ошибка копирования до 0,1 мм. 4 ил.Изобретение Относится к Области оптического приборостроения, а именно к способам изготовления дифракционных решеток большой длины,Цель изобретения - упрощение и павышение точности изготовления,На фиг. 1 изображена решетка-оригинал с двумя группами штрихов., на фиг, 2 - сопряжение вспомог 1 тельной прозрачной и Отражательной решеток-оригиналов, позволяющеее контролировать. фазировку груп и штрихов; на фиг, 3 - зона, в которой группы штрихов дают синфазнь 1 е фотоэлектрические сигналы, на фиг, 4 - решетка, полученная путем копирова 1- ия следующим образом,Способ реализуется следующим образом,На каретку двигательной машинь 1, например МДАили ИГ, устанавливак)т заготовку и, перемещая каретку с заготовкой последовательно на величину шага решетки, нарезают группу штрихов 1. Затем перемеща 1 от каретку в исходное положение, заготовку передвигают в направлении каретки на длину нарезанного участка и разворачивают в плоскости штрихов на уголЗО.: длина шт 1 иха,Разворот заготовки контролируют с помощью автоколлиматора, При этом а выбран так, что изменение фазы сигнала по длине штриха составляет Зл.После разворота заготовки перемещают каретку, нарезак 1 Т на заготовке группу штрихов 2 с тем же приодом, что и у группы 1 (фиг. ) и выявляют зоны синфазности групп штрихов 1 и 2Для нахождения зоны синфазности используют вспомогательную прозрачную дифракционную решетку 3, которую накладывают на есО ста нюруп ро 11 и 2 (фиг. 2). Штрихи прозрачной решетки 3 разворачива от под углом а к штриху группы 1, При этом со штрихами группы 2 они составляют угол 2 а,Разворот прозрачной решетки контролируют с помощью автоколлиматора, 5 При сопряжении дифракционных решеток образуются интерференционные полосы 4 (фиг, 3), Период интерференционной картины, наблюдаемый от группы штрихов 1, в 2 раза больше периода интерференци онной картины, наблюдаемый от группыштрихов 2. В той зоне 5, где штрих группыисфазированы, образуется единая для обеих групп интерференционная полоса, дающая синфазные фотоэлектрические сиг налы, Таким образом, искомая зона 5 легковизуализируется.После этоо найденная зона копируется. Ширину копируемого участка Ь выбира 20 ют равной размеру сечения подающего наотражательную решетку пучка (фиг. 4),При длине штриха .=30 мм, ширина полосы равна 20 мм и при ошибке копированиявдоль штриха 0,1 мм точность фазирова 25 ния составляет 0,005 полосы, Кроме копий,для работы может быть использован и саморигинал,Формула изобретения30Способ изготовления дифракционныхрешеток большой длины, заключающийся в том, что нарезают две группы штрихов одинакового периода и получают с них копию 35 на общей подложке, от л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью упрощения и повышения точности изготовления, нарезку обеих групп производят на одной заготовке, после нарезания первой группы штрихов заготовку 40 разворачивают в плоскости на угол а-8-(- где г-постоянная решетки, : длина Збштриха, а после нарезки второй группы 45 штрихов выявляют зону синфазности группштрихов и копируют только эту зону,Тираж Государственного комитета по из 113035, Москва, Ж-З 5, РПодписноеетениям и открытиям при ГКНТ СССРшская наб., 4/5