Кассета для полупроводниковых изделий

(51) 5 ЗОБРЕТЕНИ ЕЛЬСТВУ ОПИ К АВТОРСН(56) Патент СЩА Р 4160504,кл, М Ь 5 1 Э 57/00, опублик, 111 атент Ф 1 Г М 1 2702464,кл. В Ь 5 1) 85/00, опублик 1Авторское свидетельство СР 1404416, кл. В Ь 5 1) 85/00,н и диск ние удобстля полупрожит корпус 1 5, свободорпуса на 79. каниэм вы- включаюрасположенижной плитойорами 8 ина внешней 81.СР198 Ь. ная плит ибких св) Изобретение относитполупроводниковых из ом 6, а вочки 10 под ся к таре делий пре и ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР,801630985 имуцественно в виде пласт Цель изобретения - повыые ва пользования. Кассета д водниковых изделий содер крыыку 3, подвижную плиту но установленную внутри к раллельно его дницу, и ме грузки и поджатия изделии щий пружинный элемент 6, ный между дшщем и подв 5, гибкие связи 7 со стоп накладки 9, закрепленные стороне корпуса 1. Подвиж 5 соединена посредством г зей 7 с пружинным элемент накладках 9 выполнены выт стопоры 8. 3 ил.Изобретение относится к таре для полупроводниковых изделий преимущественно в виде пластин и дисков.Целью изобретения является повышение удобства пользования.На фиг.1 изображена тара для полупроводниковых изделии; на фиг 2 - то же, поперечный разрез; на фиг.3 - то же, вид сбоку.Кассета для полупроводниковых изделий преимущественно в виде пластин и дисков содержит корпус 1 с расположенными на внутренних поверхностях протинолежацих боковых стенок направляюциии, образованными рядами .,ребер 2 с зазорами между ними для размещения в них изделий, и съемную крышку 3 с защелками 4 для крепления к корпусу 1. Кассета снабжена также подвижной плитой 5, свободно установленной гзнутри корпуса параллельно его дницу, и механизмом выгрузки и поджатия изделий, включагоцим пружинный элемент 6, Расположенный между днищем и подвижной плитой, гибкие связи 7 со стопорами 8 и накладками 9, закрепленные на внешней стороне корпуса 1. Подвижная плита 5 соединена посредством гибких связей 7 с пружинным элементом 6, а в накладках 9 выполнены выточки 10 под стопоры 8, Стопоры 8 выполнены в виде прутка с двумя буртиками 11. Со стороны изделий подвижная плита 5 может быть снабжена упругой прокладкой 12. В качестве пружинного элемента 6 может быть использована пружина растяже,ния, пневмо-или гидродилиндр. В местах изгиба гибких связей 7 могут быть установлены блоки (не показано).Тару для полупроводниковых изделий используют следующим образом.Стопоры 8 освобождают от выточек 10 и они опускаются под действием пружинного элемента 6. Одновременно с этим подвижная плита 5 поднимается на максимальную высоту. В этом положении кассета готова к загрузке полупроводниковых изделий, Затем кассету загружают, после чего стопоры 8 устанавливают в верхние выточки 10 накладок 9, гибкие связи 7 при этом позволяют подвижной плите 5 под собственным весом и весом изделий опуститься в нижнее положение, крышку 3 одевают и крепят на корпусе посред.твом зацелок 4.Выталкивание или выгрузку изделийиз кассеты нроиэводят через сквозныесовмещенные пазы крышки кассеты приподъеме подвижной плиты 5. Перегрузку изделий из одной кассеты в другую 10 осуществляют при наложении одной кассеты на другую, совмещении их сквозных пазов и поднятии подвижных плит5 у обоих кассет эа счет наклона кассет или их опрокидывания.15 Выгрузка изделий из кассеты для.индивидуального осмотра и контроляна безотказность, а также поштучнаязагрузка.их может бьгть осуществленав технологически чистых помещениях.ггя обеспечения поджатия иэделийв кассете при транспортировании, после закрывания крышки загруженной кассеты стопоры 8 устанавливают в нижние выточки 10. В таком положении 25 кассета с изделиями пригодна для различных условий длительного храненияи транспортирования. Таким образомобеспечивается удобство пользования.ЗО юорггула изобретенияКассета для полупроводниковых иэделий, преимуцественно в виде пластин и дискон, содержащая корпус с расположенными на внутренних поверхностях противолежащих боковьгх стенок направляющими, образованными рядами ребер с зазором между ними для раз мещения в них изделия, и съемнуюкРышку с зещелками, для кРепления к корпусу, о т л и ч а ю ц а я с я тем, что, с целью повышения удобства в пользовании, кассета снабжена под вижной плитой, свободно установленной внутри корпуса параллельно его днищу, и механизмом выгрузки и поджатия изделия, включающим пружинньп элемент, расположенный между днищем 50 и подвижной плитой, гибкие связи состопорааг и накладки, закрепленные на внешней стороне корпуса, при этом подвижггая плита соединена посредством гибких связей с пружинным элементом, а в накладках выполнены выточки под стопоры..Кучерява. роиэводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 1 Заказ 519 Тираж 381 ПВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и 113035, Москва, Ж, Раушская наб писноеткрытиям прид. 4/5