Зонд для измерения параметров интегральных схем

Номер патента: 427499

Автор: Исмаилов

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е 11427499ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Реслублик(22) Заявлено 28.08.72 (21) 1823881/26-9 51) М, Кл, Н 051 7/12 присоединением заявки-Государственный комитет Саввта Мнннстрав СССР по делам иэааретеннй и открытий. Исмаил ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРИНТЕГРАЛЪНЫХ СХЕМ(54 вляется повышение на контактную плоЦелью изооретения я точности установки зонда щалку микросхемы. Это достигается тем, чт зонде втулка закреплена на через кронштейн подвижно гом, закрепленным на оси,основании зондовой головки Предлагаемая конструк возможность применять микедлагаемом е, который чен с рычавленной на в пр стерж соали стано мет изобретения зонда лаетп для конЯос Предлагаемый зонд для измерения параметров интегральных схем может быть использован в производстве микросхем.В настоящее время используются зонды с вертикальным расположением электродов, в верхней части закрепленных посредством сферического шарнира на основании зонда, или различные искатели, содержащие несколько зондов с вертикальным расположением зондов.Известные конструкции зондов требуют предварительной регулировки соответственно для каждой цепи или ооладают недостаточной точностью установки электрода на контактную площадку микросхемы из-за невозможности вести контроль за процессом установки электродов на контактные площадки через микроскоп, так как зонд по габаритам не помещается под окуляром микроскопа. троля за установкои электрода и создаетудоб ство в р а боте.На чертеже схематически изображен зонддля измерения параметров интегральных схем.5 Зонд включает ось 1, на которой подвижно закреплен рычаг 2, на рычаге 2 шарнирноустановлен кронштейн 8 с подвижно размещенным на нем стержнем 4. На одном концестержня 4 имеется ручка 5, а на другом -10 втулка б из изоляционного материала с электродом 7. Пружина 8 обеспечивает давлениеэлектрода на контактную площадку.11 ажатием на ручку 5 сверху вниз поднимают электрод 7 над микросхемой, затем,манипулируя ручкой 5, выставляют электрод 7над контактной площадкой микросхемы иопускают его, Перемещение в горизонтальнойплоскости обеспечивает подвижное соединениерычага 2 с осью 1 и кронштейном 3, а пере 0 мсщение в вертикальной плоскости производится шарнирным соединением стержня 4 скронштейном 3. Самопроизвольное опусканиеэлектрола 7 на контактную площадку осуществляется пружиной 8,Зонд для измерения параметров инте гральных схем, содержащий основание и рас положенный во втулке подвижный электродРедактор С. Бычихина Корректор В. Гутман Заказ 1714/478 Изд.786 Тираж 760 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, )К, Раугиская наб., д. 4/5Тип, Харьк. фил. пред. сПатент отличающийся тем, что, с целью повышения точности установки зонда на контактную площадку микросхемы, на основании установлена ось с закрепленным на ней рычагом, а втулкаразмецена на стержне, соединенном подвижно с рычагом через кронштейн.

Смотреть

Заявка

1823881, 28.08.1972

Г. С. Исмаилов

МПК / Метки

МПК: H05K 7/12

Метки: зонд, интегральных, параметров, схем

Опубликовано: 05.05.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-427499-zond-dlya-izmereniya-parametrov-integralnykh-skhem.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Зонд для измерения параметров интегральных схем</a>

Похожие патенты