Способ контроля геометрических параметров элементов изделий с периодической структурой

) Из е ретение относится к ехнике и может быть технологии производ -оптических изделий ия - расширение тех тельной зовано споль тва Цел олоконн зобрете еских в о м зможностеи способаия возможности контентов волоконно-оптСпособ заключаетсяконтрольной микрока(МКП). содержащей т ля еспец ески микроэл изделий в изго- нальной овлении ластины ст пособ ем зготавлив ализуется микро канаг жащей тест ойбъг ины онтр МКП) осле льноисодерующимтомати кт, и чстан вки испопьзов зации про 1 ем есса ме аоаюшеени ей ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОЧНРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕОМЕТР ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕМЕНТОВ ИЗДЕЛИЙ ДИЧЕСКОЙ СТРУКТУРОЙ Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в технологии производстваволоконно-оптических изделий,Цель изобретения - расширениетехнологических возможностей способапутем обеспечения возможности контроля микроэлементов влоко н;,-огтицеских изделий,На фиг. 1 показана форма выполнения светопоглощающего покрытия; нафиг, 2 - блок-схема устройства, реализующего способ контроля геометрических параметров элементов. обьект, и использовании установкидля автоматизации процесса измерени.Лля изготовления контрольной МКП на:е рабочую поверхность наносят поглощающее покрытие в форме секторовс границей между секторами, выполненной в виде перекрестия. Ниоинаполос перекрестия установлена впределах размеров от одного до трехмикроэлементов, В качестве тестоб ьекта выбирают микроэлемент, расположенный в центре пере.ргстия.Пере д н цалом измергий ,:=танавл, вают на предметньй столик микроскопаконтрольную МКП, содержащую тестобьект, отыскивают тест-об-сектцентре перекрестия, замеряют эталонные значения контролируемых параметров, ввсдят их в память устройства,заменяют контрольную МКП ка .контролируемую и ведут контроль параметров, сравнивая их текущие значенияс эталонными, 2 ил. ния.Для изготовления контрольнойсодержащей тест-объект, ;а еецую поверхность наносят гоглощпокрытие в форме секторов с грамежду секторами, вьполненной в вперекрестия (фиг. 1), ",ирина пологерекрытия установлена в пределахразмеров от одного д трех элеменв качестве тест-объекта выбирают микроэлемент 1, расположенный в центреперекрестия. Для нанесения покрытияна рабочей поверхности контрольной5МКП укрепляют трафарет - две пересекающиеся под углом, близким илиравным 90 О, проволоки0,03 мм,проводят напыление, например, углерода при остаточном давлении не выше4 .10 ГПа, убирают трафарет.На поверхности МКП останутся двепересекающиеся полосы без покрытия,С помощью микроскопа необходимо выбрать один канал, находящийся в центре перекрытия полос, и определитьего контрольные параметры с учетомвсех погрешностей. Нижний пределширины полос, свободных от поглощающего покрытия, объясняется необходимостью иметь в центре перекрестияне менее одного полного контролируемого микроэлемента при случайном расположении теневого трафарета, еслимикроэлементом считать отдельнуюструктурную единицу; либо канал(сердцевину), либо перемычку (оболочку), Верхний предел - не болеедвух полных микроэлементов, чтобынахождение тест-объекта не вызывалозатруднений (Фиг, 1).Установка для автоматизации процесса измерений (фиг. 2) содержитмикроскоп 2, телевизионную камеру 3,измеритель 4, видеоконтрольное уст 35ройство 5, пульт о управления, управляющее вычислительное 7 и цифропечатающее 8 устройства,Перед началом измерений операторустанавливает на предметный столикмикроскопа 2 контрольную МКП содержащую тест-объект 1. По двум пересекающимся полосам, свободным от поглощающего покрытия, оператор находитего по видеоконтрольному устройству5, измеряет с помощью измерителя контролируемый параметр, вводит в память управляющего вычислительного устройства 7, документально Фиксирует на цифропечатающем устройстве 81 убирает контрольную МКП, устанавливает на предметный столик другую (текущую) МКП и производит контроль необходимого количества каналов (пе,;емычек) путем сравнения их параметров с параметром, находящимся в памяти установки (устройство 7). Уп-, равляющее вычислительное устройствобудет давать величину отклонения от параметра тест-объекта.Выполнение тест-объекта в виде эталонного микроэлемента, находящегося в центре контрастного перекрестия, позволяет применить автоматизированный способ контроля геометрических параметров путем сравнения с параметрами тест-объекта для микроэлементов волоконно-оптических изделий, что расширяет технологические возможности данного способа. Формула изобретенияСпособ контроля геометрическихпараметров элементов изделий с периодической структурой, заключающийсяв сравнении измеряемого параметра сэталонным параметром тест-объекта,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью расширения технологическихвозможностей способа путем обеспечения возможности контроля микроэлементов волоконно-оптических изделий,на рабочую поверхность контрольногоизделия наносят поглощающее покрытиев Форме секторов с границей междусекторами, выполненной в виде перекрестия с шириной полос в пределахразмеров от одного до трех микроэлементов, и в качестве тест-объектавыбирают микроэлемент, расположенныйв центре перекрестия,16055 Ы ФОГ 2 Составитель С,ГрачТехред Л.Олийнык Корре сауленко едактор Л.Гратилло ЗакаВНИИП КНТ СССР м осу Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул, Гагарина, 1 Тираж 189 твенного комитета по и 113035, Москва, Ж, Подписное ретениям и открыт ушская наб д, 4