Ловушка для примесных газов

(,1), В 01 П 53 ГОСУДАРСТ 8 ЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ сится к очисткеможет быть примении, в частности в -плазменного травретение отнт примесеймашиностроеках вакуумн о аз нено Л тает Н А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(54) ЛОВУШКА ДЛЯ ЦРИМЕСНЫХ ГАЗОВ(57) Изобретение. касается очисткигазов от хлор- и Фторсодержащих соединений и может быть применено в машиностроении, в частности в установках вакуумно-плазменного травления.Цель изобретения - повышение эффективности очистки за счет увеличения установ оления.Цель изобретения - повышение эффективности очистки за счет увеличения поверхности контакта.На чертеже показана ловушка, разрез.Ловушка содержит корпус 1, в котором размещена реакционная камера 2, куда помещена железная спираль 3, выполненная из профиля постоянного сечения и имеющая коническую Форму. Часть стенки реакционной камеры выполнена в виде кольцевой алюминиевой вставки 4. В кольцевой полости, образованной корпусом и реакционной ка" мерой, установлен конический трубчатый теплообменник 5. С торцов корповерхности контакта. Ловушка включает в себя реакционную камеру, помещенную в корпус, реэистивно нагреваемую железную спираль, имеющую коническую Форму, конический трубчатыйтеплообменник. Расположение витковспирали и теплообменника таково,чтоделает проходное сечение ловушки оптически непрозрачным. Часть стенкиреакционной камеры выполнена в ю.цекольцевой алюминиевой вставки, Поглощение хлорсодержащих соединенийпроходит на железной спирали, аФторсодержащих - на алюминиевой поверхности вставки. 1 з.п, Ф - лы, 1 ил. пус закрыт крышками 6 и 7. Крышка 6является общей для корпуса и реакционной камеры и -з ней помещен входной патрубок 8 для подачи откачиваемого газа. В стенке корпуса расположен выходной патрубок 9 для очищенного и охлыденного газа, Расположениевитков спирали и теплообменника делает проходное сечение кольцевой камеры оптически непрозрачным. При этомплощадь суммарного межвпткового про-.ходного сечения спиралп и теплообменника превышает площадь поперечного се-,чения соответственно входного и выходного патрубков. Спираль 3 закреплена в крышке 7 при помощи держателя10 и изолятора 11 через промежуточную прокладку 12. ушка для примесных газов рабоследующим образом.Откачиваемый газ с агрессивными примесями попадает через входной патрубок 8 в реакционную. камеру 2, Хлор и его соединения вступают в реакцию с нагреваемой от источника электропитания железной спиралью 3, а соединения фтора адсорбируются поверхнбстью кольцевой алюминиевой . вставки 4, косвенно разогреваемой спиралью 3 Очищенный газ попадает в кольцевую полость, образованную корпусом 1 а крышками 6 и 7 и реакционной камерой 2охлаждается в межвитковом пространстве конического трубчатого теплообменника 5 и выходит через патрубок 9.Использование спирали и теплообменника конической формы повышает эффективность очистки и охлаждения газов, а выполнение части стенки реакционной камеры в виде кольцевой алюминиевой вставки позволяет получить большую площадь адсорбирования фторсодержащих примесей. В результате в одной ловушке обеспечивается высокая степень очистки газа от хлор- и фторсодержащих примесей. Изготовление спирали из профиля постоянного сечения более технологично, чем из пластины переменного сечения.5 Формула изобретения 1. Ловушка для примесных газовхлор- и фторсодержащих, содержащая 10 . корпус, в котором соосно установленажелезная резистивно нагреваемая спираль, входной и выходной патрубки, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения эффективности очи стки за счет увеличения поверхностиконтакта, она снабжена трубчатым коническим теплообменннком, а спираль имеет коническую форму, выполнена из профиля постоянного сечения 20 и снабжена кольцевой вставкой, прнэтом в кольцевом пространстве между корпусом и вставкой расположен конический трубчатый теплообменник.2, Ловушка по п,1, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью расши-,рения диапазона улавливаемых примесей, нижняя часть кольцевой вставки выполнена из алюминия1604434 х Л,Лу к едактор Н.Гунько дьп 1 Т ССС изводственно-издатель.кий комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101 СоставиТехред аказ 3414 Тираж 568 НИИПИ Государственного комитета по 113035, Москва, Жн 1(орректор В,Гир Подписноезобретениям и открытиям при Раушская наб., д. 4/5