Натекатель

(51 ГосудАРстненный комитепо изоБРетения 4 и откРЫТПРи гкнт СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ(71) Московский институт электронного машиностроения(54) НАТЕКАТЕЛЬ (57) Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для дозировки малых потоков газа в вакуумные системы. Цель изобретения - повышение чадежности за счет увеличения точности регулирования потока напуска газа в вакуумную систему. Регулирование потока газовой смеси осуществляется сжатием сильфона 7 приводом перемещения 5, вызывающим повышение давления внутри герметичной системы, состоящей из трубки 6 и сильфона 7. Увеличение давления внутри системы вызывает изменение геометрической формы упругодефор мируемой тон костен ной трубки 6, Система заполнена электрореологической жидкостью, при прохождении через нее электрического нагряжения трубка 6 меняет Я свой объем. 3 з. и. ф-лы, 2 ил.1566155 формула изобретения зИзобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для дозировки малых потоков газа в вакуумные системы.Цель изобретения - повышение надежности за счет увеличения точности регулиро 5 вания потока напуска газа в вакуумную систему.На фиг. представлен натекатель, общий вид; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1 (с помещенными в электрореологическую жид кость электродами) .Натекатель содержит корпус 1 со штуцерами 2 и 3 подачи рабочей среды, игольчатый клапан 4, кинематически связанный с приводом 5 перемещения, Кинематическая связь клапана 4 с приводом 5 перемещения выполнена в виде герметичных, заполненных жидкостью систем, включающих исполнительный орган, жестко связанный с клапаном, и узел регулирования давления.Исполнительный орган выполнен в виде 20 закрепленной по концам к корпусу 1 прямолинейной тонкостенной упругодеформируемой трубки 6 овального сечения, которая в своей средней части вдоль малой оси соединена с клапаном 4, причем один из концов трубки заглушен. Узел регулирования давления выполнен в виде сильфона 7, один торец которого герметично соединен со свободным концом упругодеформируемой трубки 6, а другой заглушен и связан с приводом 5 перемещения, а также в виде электродов 8 ЗО и 9, размещенных внутри упругодеформируемой трубки 6 и сильфонаи пропущенных через заглушки и связанных с источником регулируемого напряжения. Трубка 6 заполнена электрореологической жидкостью 10. Игольчатый клапан 4 соединен с труб кой 6 с помощью резьбовой втулки 11 и находится посередине. Седло 12 клапана 4 размещено в штуцере 3 и имеет вакуум-плотное соединение с ниппелем 13.Натекатель работает следующим обра О зом.Регулирование потока газовой смеси осуществляется сжатием сильфона 7 приводом 15 перемещения, вызывающим повышение давления внутри герметичной системы, состоящей из трубки 6 и сильфона 7. Увеличение давления внутри системы вызывает изменение геометрической формы упругодеформируемой тонкостенной трубки 6 овального сечения, при этом уменьшается большая ось овала а и увеличивается малая ось в. Увеличение малой оси овала вызывает перемещение иглы клапана 4 и изменение канала проводимости между иглой клапана 4 и его седлом 2. При снятии давления система возвращается в исходное положение. Когда система заполнена электрореологической жидкостью, при прохождении через нее электрического напряжения жидкость меняет свой объем и трубка дышит, перемещая при этом клапан 4,1, Натекатель, содержащий корпус со штуцерами подачи рабочей среды и размещенный в корпусе клапан, кинематически связанный с приводом перемещения, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, кинематическая связь выполнена в виде герметичных, заполненных жидкостью систем, включающих исполнительный орган, жестко связанный с клапаном, и узел регулирования давления.2. Натекатель по и. 1, отличающийся тем, что исполнительный орган выполнен в виде закрепленной по концам к корпусу прямолинейной тонкостенной упругодеформированной трубки овального сечения, в средней части вдоль малой оси, соединенной с клапаном, причем один из концов трубки заглушен.3. Натекатель по пп. 1 и 2, отличающийся тем., что узел регулирования давления выполнен в виде сильфона, один торец которого герметично соединен со свободным концом упругодеформируемой трубки, а другой заглушен и связан с приводом перемещения.4. Натекатель по пп, 1 и 3, отличающийся тем, что узел регулирования давления выполнен в виде электродов, размещенных внутри упругодеформируемой трубки к силь- фона и пропущенных через заглушки и связанных с источником регулируемого напряжения, а трубка заполнена электрореологической жидкостью.Составитель Т. Иванова Редактор Н. Тупица Техред И. Верес Корректор Л. Бескид Заказ 1212 Тираж 555 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прп ГКНТ СССР13035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 101