Способ определения распределения крутизны микронеровностей шероховатых поверхностей

крутизны микронеровйостей шероховатых поверхностей.Устройство содержит источник 1 излучения, светоделитель 2, поворотные зеркала 3 и 4, проекционные объективы 5 и 6, четвертьволновую пластинку 7, поляризатор 8, электрооптический кристалл 9, блок 10 питания кристалла, оптический смеситель 11, полевую диафрагму 12, анализатор 13, магнитооптическую ячейку 14, фотоэлектронный умножитель 15, блок 16 согласования с миниЭВМ 17.Предлагаемый способ осуществляется 15 с помощью устройства следующим образом. На вход устройства поступает излучение от источника 1 излучения лазера. Светоделитель разделяет лазерный пучок на объектный, который повора,чивает зеркало 4, и опорный, который поворачивает зеркало 3. Объектив 5 проецирует когерентное изображение 25 поверхности объекта 18 в плоскость регистрации, которая содержит полевую диафрагму 12, что обеспечивает выделение локальных зон корреляции на поцерхности объекта 18. В опорном кана де четвертьволновую пластинку 7 ори- Ентируют таким образом, что ее ось наибольшей скорости составляет угол 45 относительно плоскости поляризации лазерного пучка, что позволяет получить циркулярную поляризацию опорной волны, Поляризатор 8 вращаЕтся вокруг оси, совпадающей в направлении распространения опорного луча, что формирует вращающуюся плос Кость поляризации, в которой колеб,пется вектор электрической напряженности. К электрооптическому кристаллу 9 прилегает с помощью блока 10 питания синусоидально изменяющееся во времени электрическое поле, что обеспечивает при любом мгновенном значении азимуте поляризации опорного пучка, прошедшего вращающийся поляризатор 8, преобразование величины эллиптичности поляризации от линейной до циркулярной. Проекционный объектив 6 задает угол расходимостиопорного пучка, совпадающим с углом расходимости объектива 5, что обеспе 55 чивает строго идентичное пространст-. венно-угловое смешивание опорного поля с объектным с использованием опти-ческого смесителя 11. За плоскостью полевой диафрагмы 12 размещается анализатор 13 и магнитооптическая ячейка 14, измеряющие поляризационную структуру излучения в пределах нулевой полосы интерференционной картины, полученной смешиванием световых колебаний в пределах выделенной зоны корреляции и опорной волной. Фотоэлек- тронный умножитель 15 осуществляет измерение интенсивности излучения, пропущенного через анализатор 13 и магнитооптическую ячейку 14.Размер полевой диафрагмы 12 выбирают порядка 1/10 части размера зоны корреляции. С помощью анализатора 13 и магнитооптической ячейки 14 определяется ситуация, когда колебания светового поля в нулевой полосе интерФеренционной картины оказываются строго линейно поляризованными. При этом измеряется величина прилагаемого в этот момент времени напряжения к электрооптическому кристаллу 9, а также азимут попяризации световых колебаний и интенсивность в нулевой полосе интерференционной картины.Далее, путем сканирования полученного когерентного изображения шероховатой поверхности выделяется новая зона корреляции, и, таким образом, определяется массив значений напря- - , жений Ц, азимутов поляризации у и интенсивностей световых колебаний впределах нулевой полосы интерференционной картины. Этот массив статистически обрабатывается на ЭВМ 17. В результате получают распределения значений крутизны микронеровностей шероховатой поверхности и величин двулучепреломления анизотрОпного вещества, из которого она состоит.формула изобретенияСпособ определения распределения крутизны микронеровностей шероховатых поверхностей, заключающийся в том, что освещают исследуемую поверхность лазерным пучком с плоским волновым фронтом, Формируют плоскость колебаний вектора электрической.напряженности лазерного пучка под углом 0 (( 90 ф относительно плоскости его падения, проецируют изображение шероховатой поверхности в плоскость регистрации, выделяют эоны корреляции когерентного изображения. из1562696 руют при этом изменяющиеся во времени азимуты и эллиптичности поляризации опорного лазерного пучка, смешивают соосно колебания векторов электрической напряженности лазерных пучков в пределах зоны корреляции когерентного иэображения шероховатой поверхности, наблюдают интерференци.онную картину и измеряют интенсивность колебаний в пределах нулевой полосы интерференционной картины и напряжение, прикладываемое к электро- оптическому кристаллу, по которым с 15 учетом азимута поляризации определяютраспределение крутизны микронеровностей шероховатых поверхностей и показатель оптического двуплечепреломления шероховатой поверхности. ЧУ Составитель Л.ЛобзТехред Л,Олийнык Ципле едактор Г.Гер рек 89 Заказ 1054ВНИИПИ Госуд Подписноеиям и открытиям при ГКНТ СССя наб д, 4/5 Тираж енного коми 13035, Москта по изобрет , Ж, Раушс твенно-издательский комбинат "Патент роиз меряют азимут поляризации в пределахзоны корреляции и определяют распределение крутизны микронеровностейшероховатых поверхностей, о т л и -ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения точности определения распределения крутизны микронеровностейшероховатых поверхностей, обладающихоптической анизотропией, и информативности способа, формируют опорныйлазерный пучок с плоским волновымфронтом, производят циркулярную поляризацию световых колебаний, вращаютплоскость поляризации опорного лазерного пучка, пропускают его черезэлектрооптический кристалл, к которому прикладывают синусоидально изменяющееся электрическое поле, формиород, ул, Гагарина, 1