Способ контроля формы поверхности и устройство для его осуществления

(19) 1111 1511 4 С 01 В 11/24 дгОущ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ/ СВИДЕТЕЛЬСТВУ цлзЕС 6 Аг ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОИЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР 1(56) Вест Ч. Голографическая интерферометрия.-М.:Мир, 1982, с 467-474, (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУРЕСТВЛЕНИЯ(57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при контроле формы , поверхности шлифованных оптических деИзобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при контроле формы поверхности шлифованных оптических деталей.Целью изобретения является повышение точности контроля асферических поверхностей за счет повышения частоты интерференционных полос и приближения их по форме к форме контролируемой поверхности.На фиг.1 представлена схема устройства для контроля формы поверхности; на фиг.2 - схема записи осевой голограммы, формирующей интерференционную структуру в виде поверхностей второго порядка.Устройство для контроля формы поверхности содержит источник 1 когерентного излучения, расположенные по ходу излучения коллиматор 2 и свето- делитель 3, осевую голограмму 4 и размещенные на одной оси по разные 2талей. Цель изобретения - повышение точности контроля асферических поверхностен за счет повышения частоты спроектированных на контролируемую поверхность интерференционных полос.Для этого формируют интерференционную структуру и виде поверхностей второго порядка и ориентируют объект до получения минимальной частоты полос на его поверхности, после чего регистрируют изображение объекта и по картине полос на поверхности объекта осуществляют контроль формы.2 с.п. ф-лы, 2 ил. стороны от голограммы 4 держатель 5 объекта и систему 6 регистрации, пози- С цией 7 обозначен объект, форму поверхности которого контролируютСхема записи осевой голограммы содержит источник 8 когерентного излучения, Вааф светоделители 9 и 10, коллиматор 11, д формирователь 12 сферического волнового фронта, зеркала 13 и 14 и фото- епластинку 15.ЖСпособ осуществляется на основе устройства для его реализации следующим образом.При помощи голограммы 4, записанной на фотопластинке по схеме (фиг.2) и восстановленной параллельным пучком света от коллиматора 2, формируют интерференционную структуру в виде гиперболоидов вращения, расположенную между голограммой и поверхностью детали, установленной в держателе 5, Подвижками держателя 5 совмещают вершины гиперболоидов с центром деталии добиваются, наблюдая поверхность детали через объектив системы б регистрации, наилучшего совпадения формы детали с формой гиперболоида (в случае полного совпадения наблюдается чистый цвет, т.е. однотонная светлая или темная поверхность детали), По расстоянию между вершиной детали и голограммой можно определить кривизну- поверхности (при известной геометрии схемы записи голограммы) и отклонение формы поверхности по характеру карти ны на поверхности детали. Изменение отклонения Формы поверхности на /2 характеризуется изменением интенсивности картины от светлого к темному . (или наоборот). Таким образом, точность контроля приближается к интерферометрическому, Этим способом можно 20 контролировать поверхности второго порядка не только гиперболические но и сферические, параболические, так как вершина гиперболоида с достаточ - ной степенью точности приближается 25 к сфероиду, параболоиду при соответствующей геометрии схемы. Изменяя радиус кривизны восстанавливающего волнового фронта и объективного волнового Фронта при записи голограммы можно получать интерференционные поверхности различной кривизны.формула избре,"еп.я1.Способ контроля Формы поверхнос 35 ти, заключающийся в том, что Формируют интерференционную структуру проецируют ее на контролируемую поверхность, регистрируют иэображениеобьекта и по виду интерференционнойкартины на поверхности объекта судято Форме поверхности, о т л и ч а ю -щ и й с я тем, что, с целью повышенияточности контроля интерференционнуюструктуру Формируют в виде поверхности второго порядка путем интерференции сопряженных сферических волн,а перед регистрацией изображения объекта изменяют ориентацию объекта относительно интерференционной структурыдо получения минимальной частоты интерференционной картины на поверхности объекта. 2. Устройство дпя контроля формы поверхности, содержаще источник когерентного излучения, расположенные по ходу излучения узел Формирования интерФеренционной структуры, держатель контролируемого объекта и систему регистрации, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности контроля, узел бюрмирования интерференционной структуры выполнен в виде последовательно расположенных коллиматора и светоделителя и осевой голограммы, предназначенной для Формирования интерференционных поверхностей второго порядка с фокусом Е и размещенной между держателем объектаи системой регистрации на одной с ними оптической оси, так что расстояние 1 от голограммы до держателя объекта удовлетворяет условию 1 ( Г.1523909Составитель В. Бахтин Редактор И.Шулла Техред М.Дидык Корректор А,Обручар Заказ 7032/43 Тирам 683 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва) Ж) Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Укгород) ул. Гагарина, 101