Интерференционный способ определения толщины плоскопараллельных объектов из оптически прозрачных материалов

(51) 4 С 01 В 11/06 Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1 с, =2 г., п,11 для длины волны 11 с =2 е иа .К =2 с (п -1)1(для длины волны % ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(71) Ленинградский институт точной механики и оптики(54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫИ СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХОБЪЕКТОВ ИЗ ОПТИЧЕСКИ ПРОЗРАЧНЫХМАТЕРИАЛОВ(57) Изобретение относится к измерению толщины пластинок оптическими 1Изобретение относится к измерительной технике и измерению толщины пластинок оптическими методами.Цель изобретения - повышение производительности за счет исключения необходимости измерения величины показателя преломления.Для объекта, помещенного в интерферометр, порядок интерференции выражается следующей зависимостью: методами. Цель изобретения - повышение производительности за счет исключения необходимости измерения величины показателя преломления. Для этого освещают объект параллельным пучком белого света нормально к его поверхности. Направляют отраженные от его поверхности лучи в спектральный прибор. Регистрируют интерференционную картину. Измеряют число полос в ней между двумя длинами волн. Помещаюу объект в измерительный канал интерферометра. Регистрируют интерференционную картину. Измеряют число полос между теми же длинами волн, что и в первой картине, и оп-ределяют толщину объекта с учетом числа полос в перой и второй интерференционных картинах. При интерференции лучей, отраженных от поверхностай объекта, выражение для порядка интерференции принимает вид для длины волны ,Посла математических преобразований находят, что разности порядков интерференции в обеих ннтерференционных картинах при длинахволни1соответственно равны1 с с =-2 й1Вычитая одно выражение из другого, получаютЬ -1 с )-Ь -1 с )=2( ---- -),1 1 йВыражение для определения толщины С плоскопараллельного объектаЬ - ) %лт2 (, -Ъ)1где ЬЕ =1 -1, - число полос междудвумя длинами волн%и Ъ в. первой интерференционной картине;Ь=Е -К - число полос междудвумя длинами волнЪ и Ъ во второйинтерференционнойкартине.Таким образом, получение двух спектральных интерференционных картин и подсчет интерференционных по" лос в них между двумя длинами волн позволяет исключить операции по измерению показателя преломления,Способ можно реализовать с помощью, например, интерферометра пос.ледовательного типа и спектрографа,Способ осуществляют следующимобразом.Освещают объект параллельным пучком белого света нормально к его поверхности, направляют отраженные от его поверхности лучи в спектральный прибор, регистрируют интерференционную картину, измеряют число полос в ней между двумя длинами волн, помещают объект в измерительный канал интерферометра, направляют интерферирующие лучи в спектральный прибор, регистрируют интерференционную картину, измеряют число полос между теми же длинами волн, что и в первой картине и определяют толщину й объекта по формулеЬ 1 с - Ыс)% а) 2 Ь-,) где йЕ - число полос между двумядлинами волн Эи 3 впервой интерференционнойкартине;- число полос между двумядлинами волн Ъ и Ъ во второй интерференционной картине.П р и м е р. Производят определение толщины плоскопараллельной пластины при фотографической регистрации интерференционной картины. В качестве источника белого света используют лампу КГМ 6-3+15, в качестве длин волн берут две известные длины волны из спектра ртутной лампы, между которыми производят просчет полос в обеих спектроинтерференционных картинах.Получена величина толщины плоскопараллельной пластинки С=1,544 мм.Расчет погрешности определения толщины дает цифру +0,003 мм при определении числа интерференционных полос 20с точностью +1. При фотоэлектрическом способе с принятой точностью определения числа полос до 0,01 полосыточность способа определения толщины плоскопараллельных объектов уве,личивают до десятых долей микрометра.Использование интерференционногоспособа определения толщины плоскопараллельных объектов обеспечиваетупрощение способа за счет исключенияизмерения показателя преломленияконтролируемых объектов и возможность определения толщин плоскопараллельных объектов с неизвестнымпоказателем преломления.35Формула изобретенияИнтерференционный способ определения толщины плоскопараллельныхобъектов из оптически прозрачныхматериалов, заключающийся в том,что освещают объект параллельнымпучком белого света, направляют лучи, отраженные от поверхностей объекта, в спектральный прибор, регистрируют интерференционную картину,измеряют число полос в ней междудвумя длинами волн и определяюттолщину, о т л и ч а ю щ и й с я 50 тем, что, с целью повышения производительности, после измерения числаполос в интерференционной картинеобъект устанавливают в измерительный канал интерферометра, направляютинтерферирующие лучи в спектральныйприбор, регистрируют интерференционную картину, измеряют число полосмежду теми же длинами волн, что и в1474456толщидвумяпервой Составитель Б.Евстратов Корректор Н.Король Техред Л.Олийнык Редактор М.Бланар Заказ 1881/37 Тираж 683 Подписное сс ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5(Д 1 -К) Ъ2 (%, -ъг) где Д 1 - число полос между длинами %, и Ъ винтерференционной картине;Д 1 - число полос между двумядлинами волн Ъ, ивовторой интерференционнойкартине.