Защитное устройство

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 14427 1)4 ГО ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ТЕЛЬСТ д ВТОРСКОМ Ю иг ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПОДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(56) Авторское свидетельство СССРУ 193670, кл. Г 04 Р 9/04, 1965.(57) Изобретение м.б, использованодля предотвращения .попадания паровмасла и продуктов его разложения воткачиваемый объем, Цель изобретения - повышение защитной способностустр-ва. В корпусе размещены охлаждаемая высоковакуумная геттерная ловушка, нагреватель 2 и запорноеустр-во с приводом. Защитное устр-в выполнено жалюзийного типа. Приводвыполнен в виде связанного штоком.с жалюзи (Ж) 4 электромагнита с механизмом закрытия Ж 4. Ловушка выполнена в виде расположенных по обе стороны от нагревателя 2 и установленных на Ж 4 пластин.6 из геттерногоматериала, Шток снабжен механическимдемпфером и соединен с Ж 4 посредством кулисного механизма. Электромагнит со штоком соединен с возможностью изменения величины хода штока3. Установка заданного угла раскрытия Ж 4 в зависимости от условийработы изменением величины хода штока повышает вероятность столкновения молекул масла с поверхностью геттера и диссоциации молекул. 3Изобретение относится к областивакуумной техники и может быть использовано в устройствах для предотвращения попадания паров масла ипродуктов его разложения в откачиваемый объем.Цель изобретения - повышение защитной способности устройства.На фиг. 1 приведено защитное устройство, общий вид; на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1; на фиг. 3сечение Б-Б на фиг. 1.Защитное устройство для предотвращения попадания паров масла и про" 15дуктов его разложения в откачиваемый объем содержит корпус 1, в котором размещены охлаждаемая высоковакуумная геттерная ловушка, нагреватель 2 и запорное устройство с приводом, причем защитное устройство выполнено жалюзийного типа, приводвыполнен в виде связанного штоком 3с жалюзи 4 электромагнита 5 с механизмом закрытия жалюзи 4, а геттерная ловушка выполнена в виде расположенных по обе стороны от нагревателя2 и установленных на жалюзи 4 пластин6 из геттерного материала,При этом шток 3 привода снабжен 30 механическим демпфером 7. Шток 3 может быть соединен с жалюзи 4 посредством кулисного механизма 8.Электромагнит 5 с штоком 3 может быть соединен с воэможностью измене ния величины хода штока 3. Шток 3 введен в корпус устройства с помощью сильфона 9, а изменение хода штока 3 регулируется с помощью отверстий10 в нем и штифтом 11. 40Защитное устройство работает следующим образом.Вакуумный объем предварительно откачивается средствами форвакуумнойоткачки, после чего отключается элек тромагнит 5 и жалюзи 4 закрываются.При этом выделяющиеся в большом количестве пары масла во время запускадиффузионного насоса не проходят воткачиваемый объем и не загрязняютгеттерный материал до начала непо"50средственной работы устройства, Подается питание на нагреватель 2, ижалюзи 4 нагреваются до рабочей температуры. В зависимости от режимаработы выбирается определенный угол55раскрытия жалюзи 4 за счет изменения хода штока 3. После выхода нарежим диффузионного насоса не показан) подается питание на электромагнит 5. Кулиса 8 поворачивается, и жалюзи 4 открываются. Так как многие геттерные материалы имеют повышенную хрупкость, то для уменьшения ударных нагрузок используется механический демпфер 7, жестко соединенный с штоком 3.Перед выключением паромасляного насоса (не показан) отключается питание электромагнита 5, сильфон 9 возвращает шток в исходное положение и жалюзи 4 закрываются. После закрытия жалюзи 4 отключается диффузионный насос, а после его охлаждения выключается нагреватель 2.Предлагаемое изобретение значительно снижает обратный поток паров масла, так как разлагает большинство молекул масла, попадающих в защитное устройство от насоса. Снижение динамических нагрузок при срабатывании электромагнита и изменение скорости поворота жалюзи 4 посредством кулисного механизма 8 повышает долговечность полос из геттерного материала. Установка заданного угла раскрытия жалюзи 4 в зависимости от условий работы изменением величины хода штока 3 повышает вероятность столкновения молекул масла с поверхностью геттера и диссойиации молекул. Закрытие жалюзи 4 защитного устройства в случае аварийного отключения электропитания предотвращает попадание масла в откачиваемый объем, Формула изобретения1, Защитное устройство для предотвращения .попадания паров масла и продуктов его разложения в откачиваемый объем, содержащее корпус, в котором размещены охлаждаемая высоковакуумная геттерная ловушка, нагреватель и запорное устройство с приводом, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения защитной способности устройства, защитное устройство выполнено жалюзийного типа, привод выполнен в виде связанного штоком с жалюзи электромагнита с механизмом закрытия жалюзи, а геттерная ловушка выполнена в виде расположенных по обе стороны от нагревателя и установ- ленных на жалюзи пластин иэ геттерного материала,2. Устройство по и, 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что шток привода снабжен механическим демпфером.1442711 Составитель Е.ЗабугинТехред И. Ходанич Корректор Н.Король Редактор Н,Тупица Заказ б 365/31 Тираж 574 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул, Проектная, 4 3. Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что шток соединен с жалюзи посредством кулисного механизма. Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что электромагнит с штоком .соединен с воэможностью изменения величины хода штока.