Способ изготовления волноводов

(2 (2 ота(54 (57 СВЧ жени окрыт овыше УДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ А ВТОРСИОМУ СВИ ТЕПЬСТВУ 1) 4200863/24-092) 26.02.87(56) Патент Франции 1 Ф 25247/кл, Н 01 Р 11/00, 1983.Патент С 1 ЦА У 3157647,кл, 333-95, 1964. ПОСОБ ИЗГОТОВЛЕ 11 ИЯ ВОЛНОВОДОВзобретение относится к техникеелью изобретения является снистоимости за счет исключенияия драгоценными металлами иние производительности. Способ изготовления волноводов заключается в изготовлении заготовок и покрытии их гальванической медью толщиной 3-6 мкм и размещении на диэлектрическом держателе. Рабочие поверхности заготовок - подвергают облучению ионами аргона или неона, обладающими энергией в пределах 50-100 кэВ дозами (1,2-3,0)-10 см с плотностью, 1 С г тока 0,2-0,8 мкА/см при одновременном наложении ускоряющего напряжения 100-300 В. После этого проводится сборка волновода методом диффузионной сварки. Волновод, выполненный в соответствии с изложенным способом, обладает высокими электропровод- с ностью на СВЧ и коррозионной стойкостью, 2 ил.Изобретение относится к технике СВЧ и моет быть использовано при изготовлении волноводных трактов и устройств преимущественно миллиметрового диапазона длин волн.Печью изобретения является снижение стоимости за счет исключенияпокрытия драгоценными металлами и повышение производительности,На фиг. 1 показаны операции способа по изготовлению покрытия поверхностей заготовок волноводов; на фиг.2 волновод после соединения заготовокмежду собой, сеч ние.Способ изготовления волноводоввключает изготовление заготовок 1, обработку их поверхностей 2 и соединение заготовок 1 между собой. Обработ"ку поверхностей 2 заготовок 1 проводятпутем покрытия медью и облучения ионами аргона или неона, обладающимиэнергией н пределах 50-100 кэВ дозами,наложении ускоряющего напряжения 100300 В,П р и м е р. Заготовки 1 волновода покрывают гальванической медьютолщиной 3-6 мкм, размещают на диэлектрическом держателе и загружают30в камеру ионно-лучевой установки(фиг. 1). Далее проводят процесс облучсния поверхностей 2 ионами аргона 35или неона с оговоренными параметрами.После этого проводят сборку волновода методом диффузионной сварки.Ионно-имплантационная обработкаповерхностей приводит к аномальному(на 3-4 порядка) повышению корроэионных характеристик меди, а также способствует снижению в ней потерь элект.рической мощности сигнала. Такой эффект складывается иэ нескольких факторов. Доминирующими механизмами вповышении коррозионной стойкости покрытия являются ионно-стимулированная модификация структуры имплантированных слоев, проявляющаяся в формировании химически пассивной, кластерной субструктуры меди, а также образование поверхностных оксидных иуглеродсодержащих пленок с высокимизащитными свойствами. Имплантация с 55одновременным наложением ускоряющегонапряжения приводит к интенсификациипроцесса ионно-стимулированной перестройки структуры металла, проявляющейся в формировании ультрадисперсной системы микровключений в амфорной среде, и скорость коррозии облученной меди по отношению к раэли ь ым агрессивным средам падает до 14 раз. Снижение центров рассеяния носителей тока за счет диспергирования материала, а также снижение пористости имплантированных медных покрытий обусловливают также снижение потерь электрической мощности. ЭФфект имплантированной обработки проявляется и на глубинах, значительно превьшающих пробеги ионов, что связано с действием упругих напряжений, генерируемых ионным лучком. Проведенные эксперименты показали, что достигнутый ионной имплантацией уровень повышения коррозионных характеристик меди не изменяется до температуры нагрева 700 С,Нижние пределы энергии внедрения ионов (50 кэВ), электрического потенциала (100 В) и дозы имплантации ионов (1,210 ион/см 2) обусловлены тре 16бованием уверенной пассивации медного покрытия от внешних химических воздействий и соответствуют увеличению его коррозионной стойкости на 3-4 порядка. При увеличении энергии внедрения ионов более 100 кэВ эффект становится неустойчивым. Повышение дозы имплантации ионов более 3 10 1 ьион/см 2 приводит к снижению производительности процесса и не оказывает влияния накоррозионные характеристики меди,Увеличение значения электрическогопотенциала выше 300 В не дает дальнейшего повышения электропроводностиповерхностей 2 и их коррозионной стой.кости. Нижний предел плотности токаионов 0,2 мкА/см обусловлен приемлемой длительностью процесса имплантационной обработки, повышение плотности тока более 0,8 мкА/см приводитк чрезмерно сильному разогреву образцов. Волновод, выполненный попредлагаемому способу, обладает высокими электропроводностью на СВЧ и коррозионной стойкостью,формула изобретенияСпособ изготовления волноводов, включающий изготовление заготовок, обработку их поверхностей и соединение заготовок между собой, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью142408 снижения стоимости за счет исключения ИОНЫ г г г 2 Составитель В,Алыбин Редактор Е.КопчаТехред М.Ходанич Корректор М.ВасильеваЗаказ 4693/54 Тираж 632 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул, Проектная, 4 покрытия драгоценными металлами и повышения производительности, обработку поверхностей заготовок проводят путем5 покрытия их медью и облучения ионами 14аргона или неона, обладающими энергией в пределах 50-100 кэВ дозами (1,2- 3,0)х 101 см с плотностью тока 0,2- 0,8 мкА/см при одновременном наложении ускоряющего напряжения 100-300 В.