Способ получения нейтральных фильтров

Со)ОЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН И 9) Ш) 8306 1)4 СОЗС 17 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ ВСРи:.;1 1 т , 13 ф" ф Бал ПИСАН И ОБРЕТЕНИ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬ 1иканскоеобъединени Бюл, 9республтвенноеаллургиико, М.АВ.В. Л Андрееский к88.8)тральные, РТМ 3-651(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НЕЙТРАЛЬНЫХФИЛЬТРОВ(57) Изобретение относится к оптикеи может быть использовано для получения нейтральных фильтров. С цельюуменьшения времени термообработкитермообработку после нанесения наподложку пленки металла проводят вионизированной кислородсодержащейсреде тлеющего разряда с удельноймощностью 2,0-10,0 Вт/см и давлекием кислородсодержащего газа 1 105 мм рт.ст. в течение 15-20 мин. Время термообработки уменьшается в Ь -14 18306 Давление Удельная газа, мощность мм.рт.ст. Вт/см Пропускание, % Время обработки, мин Исходныйматериал Способ ИзвестныйПредлагаемый 120 60 10 10,0. 60 г 2 2 3 2,0 Т). 20 Изобретение относится к оптике и может быть использовано для получения нейтральных Фильтров,Цель изобретения - уменьшение времени термообработки.Термообработка в ионизированной кислородсодержащей среде тлеющего разряда, как и термообработка путем нагрева, приводит к образованию на поверхности металла защитной пленки из оксида металла толщиной 5-15 нм.Окисная пленка на поверхности металла предотвращает металл от дальнейшего окисления на воздухе, улучшает меха ническую прочность покрытия, а также увеличивает пропускание фильтра на 5-157. При термообработке в ионизированной кислородсодержащей среде скорость окисления поверхности металли-. ческой пленки увеличивается. Процесс окисления характеризуется стадиями хемосорбции и диффузии вглубь металлической пленки.Способ осуществляют следующим об разом.На подложку из оптического стекла (К 8, ТФ и т,д,), очищенную от загрязнений с помощью тлеющего разряда, наносят слой металла традиционным мето дом, например, термическим, электронно-лучевым и т.д. После нанесения пленки ее обрабатывают в ионизированной кислородсодержащей среде тлеюшего разряда с удельной мощностью . 2,0- 10,0 Бт/см при давлении кислород- содержащего газа 110 мм рт,ст, в течение 15-20 мин.П р и м е р. На подложку из оптического стекла К 8, очищенную от за 40 грязнений в тлеющем разряде постоянного тока при П = 2,4 кВ, наносят пленку титана методом электронно-лучевого испарения. Контроль пропускания ведут по контрольному образцу ипри контрольной длине волны 510 нм,пропускание составляет 60 Затем покрытие обрабатывают в ионизированнойкислородсодержащей среде тлеющегоразряда с удельной мощностью10,0 Вт/см 2 и давлении 1 10 мм рт.ст.в течение 15 мин,Увеличение пропускания Фильтра,связанное с образованием окисла металла на его поверхности, фиксируютспектрофотометрическим методом исоставляет 127,Данные примеров осуществленияпредлагаемого способа с использованием разных материалов сведены втаблицу. 1Из таблицы видно, что требуемоеувеличение пропускания Фильтров послетермообработки (Тх 10-127., А 1 " 6-77.,Бх 4,57) получено предлагаемым способом за 15-20 мин, а не за 120 мин,как в известном.Таким образом, предлагаемый способпо сравнению с известным позволяетуменьшить время термообработки в 68 раз,Формула изобретения Способ получения нейтральных Фильтров, включающий обработку подложки в тлеющем разряде, нанесение пленки металла и последующую термообработку, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью уменьшения времени термообработки, ее проводят в ионизированной кислородсодержащей среде тлеющего разряда с удельной мощностью 2,0-10,0 Вт/см и давлении кислород- содержащего газа 110 - 5 мм рт.ст. в течение 15-20 мин. До обра После обработки ботки1418306 Продолжение таблицы Пропускание, Х Способ До обра- После обработки ботки 47 120 10,0 46 40 15 47 40 20 2,2 6,0 47 40 2,0 5/ 120 А 1 10 А 1 50 20 10,0 А 1 2,2 А 1 15 58 2,0 Редактор И. Дербак Заказ 4125/26 Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул, Проектная, 4 ИзвестныйПредлагаемый ИзвестныйПредлагаемый Исходный Давление Удельная Времяматериал газа, мощность, обработмм.рт,ст. Вт/см ки, мин Составитель Г. БуровцеваТехред М.Моргентал Корректор М. Демчик Тираж 425 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5