Способ изготовления тензорезисторных мембранных датчиков давления

Номер патента: 1408261

Авторы: Жучков, Зиновьев, Тихоненков, Тихонов

ZIP архив

Текст

СНИ ОЮЗ Сов ОЦИАЛИСРЕСПУБЛ(1С 01 Ь 904 фСЕуц САНИЕ ИЗОБРЕТЕ АВТОРСН ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫХ МЕМБРАННЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ(57) Изобретение относится к измери 801408 тельной технике. Цель изобретения -уменьшение нелинейности характеристик датчика. Устанавливают упругийэлемент 1 с транзисторами 2 в корпус3 и закрепляют е о с начальной осевой деформацией, Определяют нелинейность градуировочной характеристики.Регулировку производят вращениемвтулки 5. Экспериментально установле"но, что для измерения нелинейностидатчика на 1 Х начальную осевую деформацию надо увеличить или уменьшитьна (0,7-2,0) 10 , ,где г - радиусмембраны 4 мм, 2 ил,Способ относится к измерительной ехнике, а именно к тензорезисторным атчикам давления с мостовой иэмериельной цепью. Цель изобретения - уменьшение не"5 пинейности характеристики датчика три положительном ее значении.На фиг.1 показан тензодатчик; а фиг. 2 - график упругих характе-истик мембраны при различных велиинах начального натяжения (осевой еформации),Изменением начального натяга мемб аны можно получить такое значение е нелинейности, которое компенсирут нелинейность, обусловленную упруим элементом, тензорезистором, измеительным мостом и т.д. (фиг.2), 20Сущность способа заключается в едующем.устанавливают упругий элемент тенэорезисторами 2 в корпус 3 и акрепляют его с начальной осевой 25 еформацией,Определяют нелинейность градуироочной характеристики, При положительом значении нелинейности уменьшают ачальное натяжение мембраны 4 30 осевую деформацию упругого элемента) ак, чтобы нелинейность мембраны тала обратной величине нелинейности атчика. Регулировку производят вращениемвтулки 5. В этом случае нелинейностьдатчика равна нулю,Экспериментально установлено, чтодля изменения нелинейности датчикана 1 Е начальную осевую деформациюьд надо увеличивать или уменьшатьна (0,7-2,0) 10 , г, где г - радиусмембраны, мм.Полученное соотношение позволяетповысить точность регулировки характеристики, а использование способапозволяет уменьшить нелинейностьдатчика практически до нулевого значения,Формула изобретенияСпособ изготовления тензорезисторных мембранных датчиков давления заключающийся в установке упругогоэлемента с тензорезисторами. в корпус.закреплении его с начальной осевойдеформацией и определении градуировочной характеристики, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью уменьшения нелинейности градуировочнойхарактеристики при положительном еезначении, осевую деформацию упругогоэлемента уменьшают, а при отрицательном увеличивают, рассчитывая деформацию й(д на 1 Х нелинейности по соотношениюьсд = (0,7-2,0) 10 . ггде г - радиус мембраны,.01 аро акаэ 3301/43 Тираж 847 ВНИИПИ Государственного по делам иэобретений 13035, Москва, Ж, Раушсроектная, 4 пол фичес г. Ужгород едприят водств ЯЮ Подписноеомитета СССРоткрытийая наб., д. 4/5 ф а

Смотреть

Заявка

3919180, 01.06.1985

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1891

ТИХОНЕНКОВ ВЛАДИМИР АНДРЕЕВИЧ, ТИХОНОВ АНАТОЛИЙ ИВАНОВИЧ, ЖУЧКОВ АНАТОЛИЙ ИВАНОВИЧ, ЗИНОВЬЕВ ВИКТОР АЛЕКСАНДРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01L 9/04

Метки: давления, датчиков, мембранных, тензорезисторных

Опубликовано: 07.07.1988

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1408261-sposob-izgotovleniya-tenzorezistornykh-membrannykh-datchikov-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления тензорезисторных мембранных датчиков давления</a>

Похожие патенты