Способ поверки мембранного датчика абсолютного давления на низкие пределы измерения

)5 6 0127/О осудАРствен-Ое пАтетноедомстВО сссРОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ ОУУ СВ К ДВТ ЕЛЬСТВУ 565/10(21) 48 (22) 26 (46) 30 (71) Г аучно-исследоваоэнергетическо тел ьскии приборо 72) В.В, 56) 1. ГО2,Ме с. 15. 15, п.6,3,рукция МИ-83,сса точности,вляет чиков(54) СПОСОБ ПОВЕРКИ МЕМБРАННОГО ДАТЧИКА АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ НА НИЗКИЕ ПРЕДЕЛЫ ИЗМЕРЕНИЯ 57) Изобретение относится к метрологии и может быть использовано для поверки датчиков абсолютного давления, Цель: повышение точности поверки датчиков абсолютного давления на низкие пределы измерения при отсутствии задатчиков абсолютного давления необходимого класса точ Изобретение относится к области мет ологии, в частности к способам поверк атчиков абсолютного давления на низки ределы измерения, например, основаннь а тензорезистивном эффекте.Известны способы поверки датчиков абсолютного давления, основанные на определении и анализе зависимости выходного сигнала датчика от величины задаваемого в рабочей полости абсолютного давления,Наиболее близким к изобретению является способ поверки датчиков абсолютного давления, согласно которому задают контролируемое давление с помощью манометра абсолютного давления, фиксируют ности, Сущность изобретения, в способе, включающем создание разрежения в рабочей полости и определение зависимости выходного сигнала от величины рабочего хода мембранного блока, поддерживают постоянным в процессе поверки разрежение в рабочей полости, равное разрежению в отвакуумированной полости, а рабочий ход мембранного блока задают изменением рабочего положения датчика, при котором изменяют угол, образуемый плоскостью мембранного чувствительного элемента и горизонтальной плоскостью, и определяют соответствующие значения выходного сигнала, которые являются тарировочными для данного датчика абсолютного давления. Положительный эффект: обеспечение высокоточной поверки датчика при его эксплуатации на обьекте без использования задатчика абсолютного давления высокого изменение выходного сигнала и определяют основную погрешность датчика,Недостатком известного способа является ограниченная точность поверки, обусловленная большим значением предела допускаемой основной погрешности контрольного задатчика-манометра абсолю 1 ного давления (для МПАТУ 50-62-78 равной +6,65 Па), что не позволяет обеспечить необходимое соотношение точности контрольного и поверяемого прибора (1:4) при поверке датчиков класса точности 1,0; 0,5 и выше с верхними пределами измерения 0,25; 0,4; 0,6; 1,0 кПа.Целью изобретения я ся повышение точности поверки дат абсолютно1791738 Составитель И.СумцовТехред М,Моргентал Корректор М.Ткач Редактор Т.Иванова Заказ 148 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород. ул.Гагарина, 101го давления на низкие пределы измерения при отсутствии задэтчиков абсолютного давления необходимого класса точности,Цель достигается тем, что в способе поверки мембранного датчика абсолютного давления на низкие пределы измерения, включающем создание разрежения в рабочей полости датчика и определение зависимости его выходного сигнала от величины рабочего хода мембранного блока, в рабочей полости датчика создают и поддерживают в процессе поверки разрежение, равное разрежению в отвакуумированной полости, а рабочий ход мембранного блока задают изменением рабочего положения датчика, при котором изменяют угол, образуемый плоскостью мембраны чувствительного элемента и горизонтальной плоскостью, при этом для ряда дискретных значений угла фиксируют соответствующие им значения выходного сигнала, которые являются тарировочными для данного датчика абсолютного давления.Способ реализуется следующим образом. При изготовлении датчика абсолютного давления, после его настройки по избыточному давлению и герметизации отвакуумированной полости, датчик закрепляется в рабочем положении в универсальной делительной головке (типа УДГ-Д) или другом устройстве, позволяющем изменять вышеуказанный угол на заданные величины с требуемой точностью. В рабочей полости датчика создается и поддерживается в процессе поверки разрежение, равное созданному в отвакуумированной полости, затем последовательно увеличивают угол наклона от начального положения до максимального,соответствующего верхнему значению выходного сигнала, и фиксируют его промежуточные значени., Полученные данные по ряду выбранных значений выходного сигнала5 и соответствующие им значения угла заносятся в паспорт датчика и являются тарировочными для поверки в процессеэксплуатации тем же способом,Отсутствие задатчика абсолютного дав 10 ления, высокая повторяемость и стабильность показаний выходного сигнала от углаповорота датчика позволяет обеспечить высокоточную поверку датчика при его эксплуатации на обьекте, Это дает возможность15 регулярно контролировать техническое состояние датчика и тем самым продлить егоресурс.Формула изобретенияСпособ поверки мембранного датчика20 абсолютного давления на низкие пределыизмерения, включающий создание разрежения в рабочей полости датчика и определение зависимости его выходного сигналаот величины рабочего хода мембранного25 блока, отличающийся тем,что,сцельюповышения точности поверки, в рабочей полости датчика создают и поддерживают впроцессе поверки разрежение, равное разрежению в отвакуумированной полости дат 30 чика, а рабочий ход мембранного блоказадают изменением рабочего положениядатчика, при котором изменяют угол, образуемый плоскостью мембраны чувствительного злемента и горизонтальной35 плоскостью, при этом для ряда дискретныхзначений угла фиксируют соответствующиеим значения выходного сигнала, которыеявляются тарировочными для данного датчика абсолютного давления,