Способ контроля толщины пленки

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК 19) 01 88709 114 С 01 ОПИСАН ОБР ЛЬСТВУ АВТОРСКОМУ С(71) нени иссл изме (72) (53) (56) У 216 учно-произво Система" и В ственноеесоюзныйститут мвляющих объеди- научноии довательсительныхМ.Л.Труно531.717(0Авторское275, кл. С трологииистем уп 8.8 СССР68. свидетельство 1 В 11/(57) Изотельнойся для к Ы ПЛЕН ОБ КОНТретение ЛЯ Т носится к иэмериожет использовать щин оптических по тения - повышение олщины пленки -хни нтроля т ль из крытии.точности нтроля ГОСУДАРСТ 8 ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ(46) 15.04,88. Бюл, В 1 достигается обеспечением возможностиизмерения толщин, не кратных четверти длины волны контролируемого излучения, При напылении вещества на подложку и контрольный образец модулируют количество вещества, напыляемогона один участок образца, относительно вещества, напыпяемого на другойучасток образца. Образец освещают монохроматическим светом, измеряют интенсивности пучков, отраженных илипрошедших оба участка образца, задают контрольную толщину, а коэффициентмодуляции определяют по заданнойтолщинеПри достижении интенсивностей значений, удовлетворяющих установленным соотношениям, толщина пленки соответствует заданному значению.1 э.п. ф-лы.1388709 где ком; Изобретение относится к измерительной технике, точнее к способам измерения и контроля толщин оптических покрытий в процессе их изготов 5. ления, и может использоваться в оптическом приборостроении при создании одно- и многослойных покрытий,Цель изобретения, - повышение точности контроля толщины пленок - до стигается обеспечением возможности измерения толщин на кратных четверти длины волны контролирующего излучения.Способ осуществляют следующим об разом.Задают значение контрольной толщины. При одновременном напылении вещества на подложку и контрольный образец уменьшают путем модуляции коли чество вещества, напыляемого на один участок контрольного образца, относительно вещества, напыляемого на другой участок образца, например, с помощью вращающегося прерывателя, вы полненного в виде модулятора с прорезью, который экранирует часть образца. Толщина пленки на этой части образца будет составлять р Й, где Й - толщина пленки на участке, напыленном немодулированным потоком;р - коэффициент модуляции потока вещества, определяемый при помощи импульсного лазерного излучения. В процессе напыления освещают образец мо нохроматическим светом и измеряют интенсивности пучков, полученных при отражении или пропускании света от участков с толщинами й и рй. При этом значения интенсивностей этих 40 пучков будут определяться коэффициентами отражения или пропускания участков образца, связанными с толщиной пленки. Коэффициенты являются пе- риодическими Функциями толщины слоев, 45 осажденных на этих участках. До .напыления пленки задают необходимую контрольную толщину, по заданной толщине определяют коэффициент модуляции р потока вещества и производят напыление до тех пор, пока не будут выполняться соотношения 1 (й) 1 И+В); 1,(й) = 1 Г р И+Ь)3,где 1, - интенсивность света, отраженного от участка контрольного образца, напыленного немодулированным потоком1 - интенсивность света, отраженного от участка контрольного образца, напыленного модулированным потоком;Й - толщина слоя на участке,напыпенном немодулированнымпотокомЬ - приращение толщины слоя;р " коэффициент модуляции потока вещества (О ( Р с 1),При достижении интенсивностей значений, удовлетворяющих этим соотношениям, толщина пленки соответствуетзаданному значению,Формула изобретения 1. Способ контроля толщины пленки в процессе ее напыления, заключающийся в том, что одновременно производят напыление вещества на подложку и контрольный образец, имеющий два участка, освещают образец монохроматическим светом, модулируют поток вещества, напыляемого на один из участков образца, измеряют интенсивности пучков, полученных при отражении или пропускании света через оба участка и по соотношению интенсивностей судят о достижении контрольной толщины, отличающийся тем, что., с целью повышения точности контроля, перед модулированием потока вещества определяют коэффициент модуляции, соответствующий контрольной толщине, а контрольную толщину считают достигнутой, когда выполняются соотношения 1 - интенсивность света, отраженного от участка контрольного образца, напыпенного немодулированным потоком1 - интесивность света, отраженного от участка контрольного образца, напыпенного модулированным потоЗаказ 1570742 Тирах 680 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ухгород, ул. Проектная, 4 д - толщина слоя на участке,напиленном немодулированным потоком;Ь - приращение толщины слоя; в - коэффициент модуляции потока вещества (О с р с 1),2, Способ по п.1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что для определения коэффициента модуляции потока вещества используют импульсное лазерное излучение