Устройство для измерения эдс холла в области пространственного заряда
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ и позволяет повыситьостоверность измерений.тенциальные и токовые 7 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРпп дел и ижипиЮИ ОтУЫ 7 е Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС(71) Физико-технический институт соспециальным конструкторским бюро иопытным производством Уральского научного центра АН СССР и Устиновскиймеханический институт(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЭДСХОЛЛА В ОБЛАСТИ ПРОСТРАНСТВЕННОГОЗАРЯДА(57) Изобретение относится к магнитным измерениямнадежность и дХолловские, по электроды (Э) 3, 2 и 4 расположенына изоляционной пластине 1, Потенциальный Э 7 расположен над полупроводниковой пластиной (П) 6. На токовыеЭ 4 подается переменное напряжение,которое наводит в П 6 высокочастотный ток, протекающий в плоскости П 6.Одновременно создают электростатическое поле, перпендикулярное плоскостиП 6, путем подачи разности потенциалов между потенциальными Э 2 и 7, установленными с воэможностью вертикального перемещения относйтельнодруг друга, а также постоянное магнитное поле. При этом заряды, протекающие в области пространственногозаряда, под действием переменногоэлектрического поля отклоняются к холловским Э 3, где устанавливается переменная ЭДС Холла. 2 ил.Изобретение относится к магнитным измерениям и предназначено для измерения ЭДС Холла в области пространственного заряда полупроводников на стадии промежуточного контроля в процессе изготовления приборов и интегральных схем.Цель изобретения - повышение надежности и достоверности измерений 10 за счет возможности использования одного и того же устройства для измерения серии образцов без нарушения целостности их и за счет использования бесконтактного метода измерений. 15На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, вид сбоку; на фиг, 2 - разрез А-А на фиг, 1.Устройство содержит изоляционную пластину 1, первый потенциальный 20 электрод (резистивный) 2, холловские 3 и токовые 4 электроды. держатели 5, размещенные на пластине 1, образец 6 и второй потенциальный электрод 7, находящийся в контакте с образцом. 25Образец 6 укрепляют на держателях 5 исследуемой поверхностью к потенциальному электроду 2. При этом электро. ды 2 и 7 расположены друг под другом и укреплены на штативе (не показан) с возможностью вертикального перемещения относительно друг друга, Метал- лизированный электрод 8 опускают до соприкосновения с образцом и обеспечения электрического контакта с ним. На токовые электроды 4 подается пере 35 менное напряжение, которое из-за емкостной связи наводит в образце 6 высокочастотный ток, протекающий в плоскости образца, Одновременно с переменным напряжением создают электростатическое поле, перпендикулярное плоскости образца при подаче разности потенциалов между потенциальными электродами 2 и 7, а также постоянное магнитное поле. При этом заряды, протекающие в области пространственного заряда, под действием переменного электрического поля отклоняются к холловским электродам 3, где устанавливается измеряемая ЭДС Холла.Формула изобретенияУстройство для измерения ЭДС Холла в области пространственного заряда, содержащее полупроводниковую пластину и пары холловских, токовых и потенциальных электродов, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности и достоверности измерений, в него введена дополнительная изоляционная пластина, с.держателями образца, на которой расположены холловские и токовые электроды( и один из потенциальных электродов, выполненный в виде резистивной пленки, находящейся в электрическом контакте с холловскими и токовыми электродами, а другой потенпиальный электрод расположен, над полупроводниковой пластиной с возможностью верти" кального перемещения для обеспечения электрического контакта с полупроводниковой пластиной.1377787 Составитель Г. Павловопча Техред Л.Сердюкова Корректор В. Гирня Редакт аказ 868/ о Рау венно-полиграфическое предприят Произ жгород, ул. Проектна ВНИИПИ п 3035
СмотретьЗаявка
3957289, 09.07.1985
ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ СО СПЕЦИАЛЬНЫМ КОНСТРУКТОРСКИМ БЮРО И ОПЫТНЫМ ПРОИЗВОДСТВОМ УРАЛЬСКОГО НАУЧНОГО ЦЕНТРА АН СССР, УСТИНОВСКИЙ МЕХАНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
ХУДЯКОВ СЕРГЕЙ ВАРФОЛОМЕЕВИЧ, КУБАШЕВ СЕРГЕЙ МИХАЙЛОВИЧ, СТЕРХОВА ЛЮДМИЛА АЛЕКСЕЕВНА, НИКОЛАЕВ СЕРГЕЙ ВЛАДИМИРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01R 33/07
Метки: заряда, области, пространственного, холла, эдс
Опубликовано: 28.02.1988
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1377787-ustrojjstvo-dlya-izmereniya-ehds-kholla-v-oblasti-prostranstvennogo-zaryada.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для измерения эдс холла в области пространственного заряда</a>
Образец для зондовых измерений удельной проводимости и эдс холла
Номер патента: 1468325
Опубликовано: 15.10.1991
Авторы: Байрамов, Веденеев, Ждан, Клочкова, Свешникова
МПК: H01L 21/66
Метки: зондовых, измерений, образец, проводимости, удельной, холла, эдс
...геометрические размеры которого з = 2 мм, а = 10 мм, Ь = 2 мм, с = 2 мм, Затем образец отмывают в трихлорэтилене, его поверхность освежают под равливанием в смеси 3:1 азотной и плавиковой кислот. Контакты наносят азидным способом, т.е. берут навеску 2 мг азида серебра и импульсом. электрической энергии иницлируют взрывное направленное разложение навески.Если потенциальные контакты расположены на боковых поверхностях выступов (см, чертеж), то плоскость каждого из потенциальных контактов 1 - 4 практически перпендикулярна электрическому полю в образце и. следовательно, шунтирование-а" Составитель И,ПетровичГехред М,Мсргентал Редактор узнецова ректор С,Черни Тираж Подписное царственного комите 1 а по изобоетениям и открытия 113035,...
Электрод для измерения естественного электрического поля земли
Номер патента: 598008
Опубликовано: 15.03.1978
МПК: G01V 3/02
Метки: естественного, земли, поля, электрического, электрод
...измерений естественного электрическогоч поля в наземных условиях, которая в зкапгтельнои степени определяется высокой идентичностью свойств покрытий применяемых электродов и длительным сроком сохранения имн постоянного электродного потенциала. Это достигается тем, что в предлагаемом электроде покрытие представляет собой основной хлорид свикца толикной не менее 0,01 мм,Покрытие получают в результате обработки свит цовых пластин переменным током 50 Гц в ванне с насыщеньь раствором химически чистого хлористого свинца, При этом сами пластины служат электродами, к которым прикладывают переменное напряжение. Размерпласпн определяется мощностью ис. точника переменного напряжения и может достигать тысяч квадратных...
Устройство для измерения эдс холла
Номер патента: 961501
Опубликовано: 23.01.1983
Авторы: Александров, Веденеев, Ждан, Маркин, Никитин, Тестов
МПК: H01L 21/66
...постоянный магнитзакреплен на валу, синхронный преобразователь частоты вращения вала в переменный ток выполнен в виде дискового обтюратора, по одну сторону которого1801 ффлуктуации раэностной частоты Я сос- тавляют 3 96размещен источник света, а но другуюфотоэлемент, подключенный к входу делителя частоты, выход которого под-.ключен через усилитель к токовым элек-тродам образца,На чертеже приведена схема предлагаемого устройства.Устройство для измерения ЭДС Холла исследуемого образца 1 содержитпостоянный магнит 2, дисковый обтюратор 3, источник света 4, фотоэлемент5, делитель частоты 6, усилитель 7,токовые электроды 8 образца, холловскиеэлектроды 9 образца, измерительный селективный усилитель 10.Устройство работает следуюшим образом.При...
Устройство для измерения эдс холла
Номер патента: 1115138
Опубликовано: 23.09.1984
Авторы: Александров, Базарный, Веденеев, Гуляев, Ждан
МПК: H01L 21/66
...последовательно соединенные умножитель 3 и делитель 4 частоты, ключ 5, выход которого через усилитель 6 подключен к ктоковым контакта образца 7, находящегося в переменном магнитном поле - в зазоре магнита 1, к холловым зондам образца подключен измерительный прибор 8, управляюгций вход ключа 5 соединен с выходом элемента 9 сравнения мгновенной фазы магнитного поля, связанного с валом 2 двига 10 15 20 25 30 35 40 45 теля, на управляющий вход элемента 9 сравнения подается заданное значание начальной фазы 5 О магнитного поля. Умножитель 3 частоты выполнен в виде дискового обтюратора 10, по одну сторону которого размещен источник 11 света, по другую - фтоприемник 12,Устройство работает следующим образом.Образец 7 находится в переменном...
Способ измерения эдс холла
Номер патента: 1234794
Опубликовано: 30.05.1986
Авторы: Воллернер, Смирнов, Фойда, Чигирин
МПК: G01R 33/07
...10 через избирательный усилитель 5 соединен с вторымвходом синхронного детектора 11,Выход преобразователя 12 напряжение.-код соединен с цифровым индикатором 13,Способ осуществляется следующимобразом.Датчик Холла помещают в магнитное поле и подают ток питания на токовые электроды датчика, На выходедатчика (холловских электродах) наводится напряжение переменного то.ка, его усиливают усилителем 2, выделяют избирательным усилителем 4 и,преобразовав его в сигнал постоянного тока амплитудным детектором 6, подают на сумматор 7, На выходе сумматора Формируется измеритель-, ный сигнал, который поступает на преобразователь 12 напряжение-код. Кроме того, .выходной сигнал сумматора (измерительный сигнал) после преобразования модулятором 8 в...
Предыдущий патент: Устройство для контроля цифровых узлов
Следующий патент: Устройство для измерения потерь на перемагничивание магнитных материалов
Случайный патент: Электрод для электрохимической обработки металлических поверхностей