Образец для зондовых измерений удельной проводимости и эдс холла

(55 Н 01 1. 21/б фщ 43 ОБРЕТгКЯКОМУ СВИДЕТЕЛЬСВ ГВУ АЕТд лектрани А ги ан ания эффек, располвыступо7,длинатупов, их На чертеонтакты 1 -Оверхностяонтакты 6 иысота 6 выс ачены потенциальные оженные на боковых в образца 5. токовыеи ширина Ь образца, ширина з и расстояГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(72) М,А,Байрамов, А С,ВеденееА, М, Кл очко ва и И Н, Свешников(56) ,учис Е,В, Методы исследовта Холла - М Со,от кое радио6 Заявка Япони."1 55-",7499хл, с Е. 21 Я 6, 1, с Л,5 снч-Бруевич В.ЛКалашФизика полупрсэод,иков, -1977:, 221,Изобретение относится к метрологии электрофизических характеристик твердых тел и может бьть использовано для определения качества материалов, применяемых в твердотельной электронике, при исследовании фундаментальных свойств полупроводников, а также для контроля технологии производства полупроводников и полупроводниковых приборо,Целью изобретения является повышение точности измерений удельной проводимости и ЭДС Холла за счет устранения влияния конечности размеров контактов,На чертеже показана конфигурация об(5:;,) ОБРАЗЕЦ ДЛЯ ЗОНДОЯЫХ ИЗМЕРЕНь "Я УЛЕЛЬНОЙ ПРОВОДИМОСТИ И ЭДС ХСЛ ,А(57) Изобретение касается определения кинети вских характеристик твердых тел и можст ыть использовано для определения качества материалов, применяемых в твердотельной электротехнике, при исследовании фундаментальных свойств полупровод-:.,ков и полупроводниковых прибопов, Пель - пов; шение точности измерений удельной проводимости и ЭДС Холла за счет устранения влияния конечности размеров контактов, В образце для зондовых измерений проводимости и ЭДС Холла потенциальные контакты наносятся на боковые поверхности выступов образца. 1 ил. ние с между боковыми повеохностями выступов,П р и м е р. Из кремния Я с концентрацией носителей и =10 см согласночер 16 -3тежу вырезают Образец, геометрические размеры которого з = 2 мм, а = 10 мм, Ь = 2 мм, с = 2 мм, Затем образец отмывают в трихлорэтилене, его поверхность освежают под равливанием в смеси 3:1 азотной и плавиковой кислот. Контакты наносят азидным способом, т.е. берут навеску 2 мг азида серебра и импульсом. электрической энергии иницлируют взрывное направленное разложение навески.Если потенциальные контакты расположены на боковых поверхностях выступов (см, чертеж), то плоскость каждого из потенциальных контактов 1 - 4 практически перпендикулярна электрическому полю в образце и. следовательно, шунтирование-а" Составитель И,ПетровичГехред М,Мсргентал Редактор узнецова ректор С,Черни Тираж Подписное царственного комите 1 а по изобоетениям и открытия 113035, Москва, Ж. Раушская наб 45аз 4593 ВНИИПИ и ГКНТ СССР Производственно-издательский комби гт "Г 1 атен.", г, Ужгород, ул.Гагарина, 1 этого поля мало, В данном случае шунтирование электрического поля в образце происходит лишь вблизи контакта, в области пространственного заряда, которая проникает в глубь выступа образца перпендику лярно плоскости контакта) на длину 1, рассчитываемую по формуле;,где е- относительная диэлектрическая проницаемость материала образца,М - постоянная Больцмана;15Т - абсолютная температура образца;и - концентрация носителей заряда в кремнии,о - элементарный заряд,Для типичных образцов с параметрамии = 10 см, г= 10, Т = 300 К 10 см8=5 10 см. Поскольку по приведенной выше оценке 1 составляет 10 см, то следовательно, точность измерений не лимитируется размером с, а определяется точностью вырезания образца и обеспечением параллельности боковых поверхностей выступов и составляет 10 ь,Далее на тот же образец наносят контакты согласно прототипу, т,е. на торцы выступов, Измеренная при этом нанесении контактов электропроводность сГ отличается от ранее полученного результата примерно на 40%, Это отличие оказывается порядка расчетной оценки погрешности д измерения величины О,Использование предлагаемого образца для зондовых измерений удельной проводимости и ЗДС Холла позволяет повысить точность измерений (до 1;) за счет устранения шунтирующего действия контактов и снизить шумы.Формула изобретения Образец для зондовых измерений удельной проводимости и ЗДС Холла, содержащий токовые контакты и расположенные на выступах образца потенциальные контакты, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерений за счет устранения влияния конечности размеров контактов, потенциальные контакты разь: ещены на боковых поверхностях вью-упов только со стороны токовых конта,гов образца,