Устройство для измерения эдс холла

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ОП ИСАНИ ЕИЗОВЕЕтЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ и 961501/сс присоединением заявки М РкударстеаивЯ кемитет ССВР ао делен кзфбретенкЯ и втерыткЯ(231 Приорнтет Опубликовано 23.01.83, Бюллетень М 3 Дата опубликования описания 23.01.83(72) Авторы изобретения А, Л. Александров, А. С, Веденеев, А. Г. ЖдаЦ-Юх-В Крркин,Н. Е. Никитин и В. Г. Тестов 1срьсОрдена Трудового Красного Знамени институ радиотехникии электроники АН СССР(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЭДС ХОЛЛА 1Изобретение относится к полулроводниковой технике и может быть использовано для контроля параметров полупроводниковых материалов,Известно устройство для измеренияЭДС Холла, содержащее источник питакшего напряжения, электромагнит, и пре, образователь частоты, состоящий из умножнтеля, делителя и усилителя, выходкоторого соединен с токовыми электродами образца1 3 .Недостатком этого устройства является низкая чувствительность и точность,обусловленные нестабильностью разнос тной частоты, на которой производитсяизмерение ЭДС Холла.Известно также устройство для измерения ЭДС Холла, содержащее постоянный магнит, синхронный преобразовательчастоты вращения вала в переменный 20ток, выход которого подключен к токовым электродам образца, измерительныйселективный усилитель, настроенный начастоту ЭДС Холла, вход которого под 2ключен к холловским электродам обраэ,ца 2 ,Недостатком этого устройства является низкая чувствительность и точность,обусловленные нестабильностью поддержания разностной частоты, на которойпроизводится измерение ЭДС Холла.Целью изобретения является повышение чувствительности и точности измерений ЭДС Холла,Это достигается тем, что в известномустройстве для измерения ЭДС Холла, ссодержащем постоянный магнит, синхронный преобразователь частоты вращениявала, в переменньш ток, выход которогоподключен к токовым электродам образца, измерительный селективный усилитель,настроенный на частоту ЭДС Холла, входкоторого подключен к холловским электродам образца, постоянный магнитзакреплен на валу, синхронный преобразователь частоты вращения вала в переменный ток выполнен в виде дискового обтюратора, по одну сторону которого1801 ффлуктуации раэностной частоты Я сос- тавляют 3 96размещен источник света, а но другуюфотоэлемент, подключенный к входу делителя частоты, выход которого под-.ключен через усилитель к токовым элек-тродам образца,На чертеже приведена схема предлагаемого устройства.Устройство для измерения ЭДС Холла исследуемого образца 1 содержитпостоянный магнит 2, дисковый обтюратор 3, источник света 4, фотоэлемент5, делитель частоты 6, усилитель 7,токовые электроды 8 образца, холловскиеэлектроды 9 образца, измерительный селективный усилитель 10.Устройство работает следуюшим образом.При вращении постоянного магнита 2.с частотой ы,образец 1 находится в пе-Фременном магнитном поле. Жестко за-,крепленный на валу дисковый обтюратор3 вращается также с частотой щприэтом луч света от источника 4 йрерывается и Щ,1 ф разу Где 11число ОТВерстий в дисковом обтюраторе. Модулирсванный световой сигнал поступает нафотоэлемент 5, с выхода которого электрические сигналы поступают на входделителя частоты 6. Сигнал после деления частоты враз имеет частотуГШ= - и 1 и поступает на вход усилителя,с выхода которого напряжение подаетсяна токовые электроды 8 образца. ЭДСХолла с холловских электродов 9 образцапоступает на вход усилителя 10, настроенного на частотуЯ=а- ш,"ф О, ; 1 ф,Устройство позволяет измерять малыезначения ЭДС Холла в компенсированныхполупроводниках, а также в металлах сповышенной точностью.формула изобретения10Устройство для измерения ЭДС Холла, содержащее постоянный магнит, синхронный преобразователь частоты вращения вала в пережженный ток, выход которого подключен к токовым электродам15образца, измерительный селективныйусилитель, настроенный на частоту ЭДСХолла, вход которого подключен к холловским электродам образца о т л и ч аю ш е е с я тем, что, с целью повышения20 .чувствительности и точности постоянныймагнит закреплен на валу, синхронныйпреобразователь частоты вращения валав переменный ток. выполнен в виде дио 25кового обтюратора, по одну сторону которого размещен источник света, а подругую - фотоэлемент, подключенный квходу делителя частоты, выход которогоподключен через усилитель к токовымэлектродам образца.Источники информации,30принигые во внимание при экспертизе1. Кучно Е, В, Методы исследованияэффекта Холла. М., Сов, радио. 1974,с. 169-171.352, Ковтонюк Н. ф.и Концевой Ю. А.Измерения параметров полупроводниковыхматериалов. М Металлургия, 1970,с. 138-139, 167-168.Составитель Л. СмирновРедактор О. Филиппова Техред .Е.Харитончик Коррек Билак ное 113 набд. атентф, г. Ужгород, ул. Проектная лиал ППП каз 10796/8 ВНИИПИ по дел