Интерферометр для контроля цилиндрических поверхностей

,801359 бб А 1 а) 4 С 01 В 9/02 11/24 ОЛИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСИОМУ С 8 ИДЕ П.:ЛЬСТВУ М ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(56) Лукин А,В., Мустафин К.С., Рафиков Р.А. Контроль профиля асферических поверхностей с помощью одномерных искусственных голограмм. ОМП, 1973, У 6, с. 67.Авторское свидетельство СССР У 355489, кл, С 01 В 9/02, 1970.(54) ИНТЕРФЕРОЮТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЦИЛИНДРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ(57) Изобретение относится к измери-,тельной технике. Цель изобретения -обеспечение контроля протяженных цилиндрических поверхностей с размеромцилиндрической образующей до 400 мм.Пучок лучей от монохроматическогоисточника 1 света проходит через поляроид 2, регулирующий интенсивностьпучка света. Цилиндрической телескопической системой 3 сечение пучкасвета преобразуется в продолговатое.135 Далее пучок лучей преломляется зеркалом 4 и цилиндрической линзой 5 собирается в плоскости щелевой диафрагмы 6. Цилиндрический объектив 7 формирует параллельный пучок и свето- делителем 8 преломляется к второму цилиндрическому объективу 9, формирующему предметную светящуюся линию, За цилиндрическим объективом 9 расположена концентрическая цилиндрическая линза 10 выпуклой поверхностью к светоделителю 8. Вогнутая сторона концентрической цилиндрической линзы 10 является эталонной поверхностью интерферометра, Ось эталонной цилинд 9663рической поверхности интерферометра совмещается с предметной светящейся линией. Далее цилиндрический волно" вой фронт падает на проверяемую деталь 12. Пучки, отраженные от проверяемой детали 12 и от эталонной поверхности, при совмещении интерферируют. Интерференционная картина наблюдается или фиксируется с помощью регистратора 11 интерференционной картины. Для выравнивания интерферирующих пучков по интенсивности. на эталонную поверхность наносится покрытие с необходимым коэффициентом отражения. 2 ил, Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля цилиндрических поверхностей,5 Цель изобретения - обеспечение контроля протяженных цилиндрических поверхностей с размером цилиндрической образующей до 400 мм.10На фиг. 1 изображена принципиальная схема интерферометра для контроля цилиндрических поверхностей; на фиг. 2 - вид А на фиг.Интерферометр содержит последовательно установленные монохроматический источник 1 света, поляроид 2,цилиндрическую телескопическую систему 3., зеркало 4, цилиндрическую линзу 5, щелевую диафрагму 6, цилиндрический объектив 7, светоделитель 8, второй цилиндрический объектив 9 и концентрическую цилиндрическую линзу 10, регистратор 11 интерференционной картины. 25Интерферометр работает следующим образом.Пучок лучей от монохроматического источника 1 света проходит через поляроид 2, регулирующий интенсивность пучка света. С помощью цилиндрической телескопической системы 3 сечение пучка света преобразуется в продолговатое, Далее нучок лучей преломляется зеркалом 4 и с помощью цилиндри 2ческой линзы 5 собирается в плоскости щелевой диафрагмы 6. Цилиндрический объектив 7 формирует параллельный пучок, который светоделителем 8 преломляется к второму цилиндрическому объективу 9, формирующему предметную светящуюся линию. За вторым цилиндрическим объективом 9 располочжена концентрическая цилиндрическая линза 10 выпуклой поверхностью к светоделителю 8. Вогнутая сторона концентрической цилиндрической .линзы 10 является эталонной поверхностью интерферометра. Ось эталонной цилиндрической поверхности интерферометра совмещается с предметной светящейся линией. Далее цилиндрический,волновой.фронт падает на проверяемую де-. таль 12, Пучки, отраженный от проверяемой детали 12 и от эталонной поверхности, при совмещении интерферируют. Интерференционная картина наблюдается или фиксируется с помощью регистратора 11 интерференционной, картины. Для выравнивания интерферирующих пучков по интенсивности на эталонную поверхность наносится покрытие с необходимым коэффициентом отражения. Введение за монохроматическим источником 1 света поляроида 2 позволяет регулировать яркость интерференционной картины, что улучшает усСоставитель Л,ЛобзовРедактор Э,Слиган Техред М.Дидык ектор М,М мишине по делам изобретений113035, Москва, Ж, Р Заказ 6146/44 Тираж 677 Подписное ВНИИПИ Государственног ССР о комитета С и открытийушская наб.; 5 Проектная,оизводственно-полиграфическое предприятие, г. Ужг з13 ловия работы, например при наблюдении глазом, позволяет ослабить яркость интрференционной картины, а при фотографировании-повысить. Расположение за поляроидом 2 цилиндрической телескопической системы 3, а за цилиндрической линзой 5 щелевой диафрагмы 6 обеспечивает получение протяженного промежуточного изображения источника 1 света, равномерного по интенсивности по всей длине, свободного от рассеянного света и бликов. Введение за щелевой диафрагмой 6 цилиндрического объектива 7, эа светоделителем 8 - второго цилиндрического объектива 9 позволяет сформировать предметную светящуюся "линию" с требуемым увеличением без потерь света. 59663 4формула изобретенияИнтерферометр для контроля цилиндрических поверхностей, содержащий последовательно установленные монохроматическии источник света, зеркало,цилиндрическую линзу, светоделительи регистрирующий блок, о т л и ч аю щ и й с я тем, что, с целью обеспечения контроля протяженных цилиндрических поверхностей с размером цилиндрической образующей до 400 мм,он снабжен поляроидом и цилиндрической телескопической системой, последовательно установленными между ис- .5точником света и зеркалом, щелевойдиафрагмой и цилиндрическим объективом, последовательно установленными между цилиндрической линзой исветоделителем, и последовательноустановленными за светоделителем вторым цилиндрическим объективом,и концентрической линзой, вогнутая поверхность которой является эталонной,а выпуклая обращена к светоделителю,