Молекулярный вакуумный насос

(504 Р 041) 1 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР по делАм изоБРетений и ОтнРыти ОПИСАНИЕ К АВТОРСКОМУ СВ ТЕНИЯ ЕТЕЛЬСТВУ-0 вых еще в к к енные на аждой ступез материак Бюл. Ф 3 .Э.БаумаН.К.Ни е нные стинами 6 очности м а ьшим, че ины 6 к У а 2. Плас ыми стенк 8( (56) Дэшман С, умной техники. (54) МОЛЕКУЛЯР (57) Изобретени ной технике и п качные характер сить технологич ния. Статорные ми пазо новы ва964 с 3. Вследствие наличия статорны и обеспечения минимальных з зоне размещения перегородок тельно снижаются обратные п Кроме того, отпадает необхо прецизионной сборки насоса чением минимальных зазоров. х дис 1 И НАСОС оров вначиетечкимость ся к вакуумулучшить от соса и повы обеспе3 ил. зготовлереплены на(21) 4060083/ (22) 24.04.86 (46) 15.10.87 (71) МВТУ им, (72) Е,С.фрол и М,Т.Попов (53) 621.527,СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИ х 088. 8)НаучныеМ.: Мир,НЫЙ ВАКУУМе относиозволяетистики нность егдиски 5 орпусеи разь ах 3. Перегород орпусе и размещ и, снабжены пл а с пределом п материала рот актируют с боки внешней пов рхностью ротора44950 2ротором 2 и получают импульс в направлении откачки. Они переносятсявдоль канала, образованного ротором 52 и статорными дисками 5 до пластины 6 в этой ступени. ереэ отверстиемолекулы газа попадают в следующуюступень и далее на сторону нагнетания насоса. Вследствие наличия ста О торных дисков, отделяющих ступенидруг от друга, а также обеспеченияминимальных зазоров в зоне размещения перегородок 4 обратные перетечкизначительно снижаются, что приводит 15 к улучшению откачных характеристикнасоса. Кроме того, отсутствие необходимости прецизионной сборки насосас обеспечением минимальных зазоровупрощает процесс сборки, 20Формула изобретения Молекулярный вакуумный насос содержит корпус 1, установленный в нем по оси ротор 2 с кольцевыми пазами 3 на боковой поверхности, разделяющими ротор 2 на ряд ступеней, и размещенные в каждой ступени перегородки 4, закрепленные на корпусе 1. Насос дополнительно содержит стопорные диски 5, закрепленные на корпусе 1 и разме. щенные в кольцевых пазах 3, а перегородки 4 снабжены пластинами 6, контактирующими с боковыми стенками пазов 3 и внешней поверхностью ротора 2 и выполненными из материала с пределом прочности меньшим, чем у материала ротора. В статорных дисках 6 между соседними перегородками выполнены отверстия 7, сообщающие отдельные ступени между собой.Насос работает следующим образом.После сборки насоса при плотном контакте пластин 6 с ротором 2 последний проворачивают, что приводит к образованию микрозазора вследствие истирания менее прочного материала пластины 6. При работе насоса молекулы газа, попадающие в первую ступень, взаимодействуют с быстровращающимся 1 13Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов.Целью изобретения является улучшение откачных характеристик насоса и повьппение технологичности его изготовления.Еа фиг. представлен предлагаемый насос, поперечный разрез; на фиг.2 то же, продольный разрез; на фиг,3 - сечение А-А на фиг.1. Молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус, установленный в нем 25 по оси ротор с кольцевыми пазами набоковой поверхности, разделяющими ротор на ряд ступеней, и размещенныев каждой ступени перегородки, закрепленные на корпусе, о т л и ч а ю - ЗО щ и й с я тем, что, с целью улучшения откачньгх характеристик и повышения технологичности изготовления,насос дополнительно содержит статорные диски, закрепленные на корпусе 35 и размещенные в кольцевых пазах, аперегородки снабжены пластинами, контактирующими с боковыми стенками пазов и внешней поверхностью ротора ивыполненными иэ материала с пределомпрочности меньшим, чем у материаларотора.1344950 Составитель В.Кряковкинедактор Т.Парфенова Техред И Попович Кч . орректор Л.Патай аказ 490 роизводственно-полиграфическое предприяти У.е, г. жгород, ул. Проектная, 4 ТиражВНИИПИ Госудапо делам и113035, Москв 570ственного комиобретений и отЖ, Раушск Подписноета СССРрытийя наб., д, 4/