Раствор для обработки изделий из стекла и кварца

.ЯО 51)4 С 0 5 00 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС(71) Московский авиационный технологический институт им, К,Э.Циолковскго(54) РАСТВОР ДЛЯ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙИЗ СТЕКЛА И КВАРЦА(57) Изобретение относится к электронике и .радиотехнике для очистки подложек из кварца и стекла перед нанесением различных видов покрытий иможет быть использовано в производстве СВЧ-микроэлектронных устройств ифотошаблонов, С целью очистки полированных изделий раствор для обработкиизделий включает, г/л: фтористоводородную кислоту 10-20; аммоний фторис"тый кислый 3-5; уксусную кислоту 1.-2;изопропиловый спирт 200-250; краситель метиленовый голубой 0,001-0,01;вода - остальное. Обработку ведут втечение 1-4 мин, при этом класс чистоты поверхности иэделий из стеклаи кварца сохраняется.1 1391(Изобретение относится к электронике и радиотехнике для очистки подложек из кварца и стекла перед нанесением различных видов покрытий и можетбыть использовано в производстве СВЧмикроэлектронных устройств и фотошаблонов.Целью изобретения является очистка полированных изделий,10Фтористоводородная кислота 1020 г/л и аммоний фтористый кислый3-5 г/л, взятые в таких соотношенияхпридают активные свойства поверхности стекла и кварца с поддержаниембуферных свойств раствора, т,е. поддержание заданного рН в определенныхпределах рН, 3-1,8, что обеспечива- .ет растворение окислов и неорганических загрязнений,Добавка иэопропилового спирта вколичестве 200-250 г/л служит длярастворения органических загрязненийи смягчения травящего действия фтористоводородной кислоты и ее соли - аммония фтористого кислого, т,е, сохранения микрорельефа поверхностиподложки без его изменения по отношению к исхоДномУ состоЯцик 1 (кваРЦа ч13, стекла 1111),30Уксусная кислота в количестве1/2 г/л в сочетании с красителемметиленовым голубым в количестве0,001-0,01 г/л придает активныесвойства поверхности стекла и кварца35с обеспечением адгезиоццых свойств)О поверхности к последующим металлическим покрытиям, наносимых например,при изготовлении металлизироваццыхфотошаблоцов н микросхем.11)Раствор готовится последовательным растворением в 0,5-0,5:1 водыфтористоводородцой кислоты, аммонияфтористого кислого, спирта изопропилового и красителя метилецового1голубого и тотько потом уксусцой кислоты с погчечу 11 и 1 добавтеццем водыдо 1 л,Цвет полученного раствор светлоголубой, 11 одложки погружают в раствор при комцатцсй температуре 1825 С , выдерживают ц цем в пределахс,1 - 4 м и 11 В .1;1 ц 11 Г 1 ме т и о т м л т е р и а ч а Пример 3, С50то в, г/л:Кислота фторцстоостав ицгредцен 20 водороднаяАммоций фтористый кислыйС 1 нрт иэоцроциловыйКислота уксусг 250 подложки,Затем промыв,11 ч сччала ц орячей воде в тецеци 1 3 1 иц, цочол 11 хо:1 оп - цо 1 ди т 11;111 а1111 япо ц те чепце 1-2 миц Ец 11"и кчс стватк поверхностей в дистиллированной воде. 11 рц качественной очистке подложкаполностью смачивается дистиллироваццой водой,П р и м е р 1. Состав ингредиентов, г/л:Кислота фтористоводородная 15Аммоний фтористыйкислый 4Спирт изопропиловый 225Кислота уксусная 1,5Краситель метилецовый голубой 0,005Вода 754,495Для стеклянных подложек время обработки 2 мин при Т=18-25 С, Шероховатость поверхности до обработки0,1 мкм ( ч 1 1); после обработки0,1 мкм( ч 11),Для кварцевых подложек время обработки 3 мин при Т=8-25 С, Шероховатость поверхности до обработки0,025 мкм ( ч 13); после обработки0,25 мкм ( ч 13) .П р и м е р 2. Состав ингредиентов, г/л:Кислота фтористоводородная 10Аммоний фтористыйкислый 3Спирт иэопропиловый 200Кислота уксусная 1Краситель метиленовый голубой 0,001Вода 785,999Для стеклянных подложек времяобработки 3 мин при Т=18-25 С, Шероховатость поверхности до обработки 0,1 мкм ( 11); после обработки0,1 мкм ( 11),Для кварцевых подложек время обработки 4 миц при Т=18-25 С. Шероховатость поверхности до обработки0,02 мкм ( с, 13); после обработки0,02 мкм (ч 13), ЦРОВОДЧЧ. 111 С1 Ц," Ц ця339 28 Аммоний фтористый кислыйУксусная кислотаИэопропиловый спиртКраситель метиленовый голубой Вода 3-51-2 200-250 0,001-0,0Остальное Составитель О.СамохинаТехред М.Ходанич Корректор В,Бутяга Редактор Г,Волкова Заказ 482/16 Тираж 427 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, )(-35, Раушская наб., д.4/51 ропзнопственно"полиграфическое предприятие, г,Ужгород, ул,ПР к тд, з,Краситель метиленовыйголубой 0,01Вода 722,99Для стеклянных подложек время обработки 1 мин при Т=18-25 С. Шероховатость поверхности до обработкиО, мкм (ч 1 ); после обработки0,1 мкм ( 7 111,Для кварцевых подложек время обработки 1,5 мин, при Т=18-25 С. Шерохо-Оватость поверхности до обработки0,024 мкм (А 3 ); после обработки0,025 мкм (ч 13 ),П р и м е р 4 (известный ) дляпрототипа, Состав ингредиентов, г/л: 5Кислота фтористоводородная 21,8Кислота уксуснаяАммоний фтористый кислый 18Вода 32,2Время обработки 3 мин при Т=18- о25 С, Шероховатость поверхностистекла до обработки 0,1 мкм; послеобработки 5,2 мкм,Шероховатость поверхности кварцадо обработки 0,02 мкм; после обработки 3,0 мкм,Время обработки 30 мин при Т=1825 С,Шероховатость поверхности кварцадо обработки 0,02 мкм; после обработки 31 мкм,Шероховатость поверхности стекла 35до обработки 0,1 мкм; после обработки 32 мкм,Использование предлагаемого раствора исключает нарушение исходногомикрорельефа В примерах 1 - 3 шероховатость поверхности для стекладо обработки 0,1 мкм ( ч 1); послеобработки 0,1 мкм ( ч 1); длякварца до обработки 0,02 мкм ( Ч 13);после обработки 0,02 мкм ( ч 13); 45В примере 4 при травлении шероховатость поверхности сильно увелиоо 4чивается - до 3,5 и 30 мкм в зависимости от времени обработки 330 мин,Предлагаемый раствор по сравнениюс известным сохраняет класс чистотыповерхностистекла и кварца, чтонеобходимо для изготовления фотошаблонов и микросхем,При этом исключены операции предварительного обезжиривания в органических растворителях и моющих составах при высокой температуре, что ведет к снижению трудоемкости.Кроме того, предлагаемый раствор эффективно очищает при комнатной температуре, что дополнительно ведет к снижению энергозатрат,Предлагаемый раствор стабилен, многоразового действия, регенерируется простым фильтрованием, что предусматривает его корректировку только на убыль состава,Формула и э о б р е т е н и я Раствор для обработки изделий из стекла и кварца, включающий фтористоводородную кислоту, аммоний фтористый кислый, уксусную кислоту и воду, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью очистки полированных изделий, он дополнительно содержит изопропиловый спирт и краситель метиленовый голубой при следующем соотношении компонентов, г/л:Фтористоводородная кислота