Пелихова

Номер патента: 1339100

Опубликовано: 23.09.1987

Авторы: Аржаникова, Пелихова

МПК: C03C 15/00

Метки: кварца, раствор, стекла

...р и м е р 1. Состав ингредиентов, г/л:Кислота фтористоводородная 15Аммоний фтористыйкислый 4Спирт изопропиловый 225Кислота уксусная 1,5Краситель метилецовый голубой 0,005Вода 754,495Для стеклянных подложек время обработки 2 мин при Т=18-25 С, Шероховатость поверхности до обработки0,1 мкм ( ч 1 1); после обработки0,1 мкм( ч 11),Для кварцевых подложек время обработки 3 мин при Т=8-25 С, Шероховатость поверхности до обработки0,025 мкм ( ч 13); после обработки0,25 мкм ( ч 13) .П р и м е р 2. Состав ингредиентов, г/л:Кислота фтористоводородная 10Аммоний фтористыйкислый 3Спирт иэопропиловый 200Кислота уксусная 1Краситель метиленовый голубой 0,001Вода 785,999Для стеклянных подложек времяобработки 3 мин при Т=18-25 С, Шероховатость...

Номер патента: 1249071

Опубликовано: 07.08.1986

Авторы: Аржанникова, Лонщаков, Пелихова

МПК: C23G 1/02

Метки: раствор, резистивных

...щавелевая 150Изопропиловый спирт 50Средство "Прогресс" 5Длительность снятия продуктов1 О фотолитографической обработки с тонкопленочных резисторов составляет7 с, с фольговых - 3 мин при 1825 С.При уменьшении содержания щаве 15 левой кислоты менее 80 г/л эффективность удаления продуктов фотолитографической обработки уменьшается,так как концентрация ее недостаточна для перевода всех нерастворимых,преимушественно неорганических продуктов, в растворимые.При повышении концентрации щавелевой кислоты более 150 г/л начинается перенасыщение раствора с выпадением твердого кристаллического осадка. При концентрации изопропиловогоспирта менее 5 г/л эффективностьудаления преимущественно органических продуктов фотолитографическойЗО обработки...

Номер патента: 1177333

Опубликовано: 07.09.1985

Авторы: Головин, Гончаров, Малевич, Пелихова, Старовойт, Шейхет

МПК: C10B 57/00

Метки: бинарных, количественного, компонентов, смесях, соотношения, угольных

...индивидуальных углеймарок Г и Ж с повышением температурынагрева с целью установления температуры дифференциации бинарной смеси,Таблица 1 Удельное электросопротивление, мОмдля угля марки/3- 100% Температуранагреваугля, С Г )К 114 400 20,0 17,5 94,7 18,0 450 19,0 166 20,0 12,0 500 15,0 87,5 8,0 550 1875 15,0 600 0,8 1000 1,0 650 10,0 Способ осуществляется следующимобразом,Образец бинарной смеси, в которомнеобходимо установить содержаниеиндивидуальных компонентов, подвергают сушка до постоянного содержаниявлаги, измельчают до 0,25 мм и нагре.вают в фарфоровом тигле в муфеле илистандартном дилатометре ИГИ-ДМетИ до 600-650 С в течение 10-20 мин.После нагрева образец бинарнойсмеси извлекают из тигля (трубки,измельчают до...

Номер патента: 954517

Опубликовано: 30.08.1982

Авторы: Лонщаков, Пелихова

МПК: C23F 1/02

Метки: нихрома, раствор, травления

...ный лодтрав каждой схемы Выход годных составил 0 Выход год- Боковое под-. ных 97,5 травливание1-2 мкм 3 Предлагаемый ТемператураНС 1 (Й,19 60 дС800 г/л Время выдержки 14 с Спирт изопролиловый до1 л П р и м е р 1. Для травления нихрома в "окнахф фоторезиста берут раствор, содержащий компоненты в следующих соотношениях, жл:Кислота соляная(уд.вес 1,19 г/см) 600 5Спирт изолропиловый 400В полученный раствор погружают кассету с подложками с нанесенным, проявленным и задубленным фоторезис О том. Длительность процесса травления в таком растворе составляет 30 с лри 60 С.Контроль готовности подложек, т.е. Определение окончания процесса 15 травления, осуществляется визуально. Качество травления определяется с помощью микроскопа:исчезает...

Номер патента: 834248

Опубликовано: 30.05.1981

Авторы: Волошин, Лонщаков, Пелихова, Семенов, Тараненко, Федулова

МПК: C23F 1/00

Метки: воль-фрамовых, раствор, химической

...образом. Поверхность послеобработки становится стело-серой.При введении в раствор изопропилового спирта в количестве, меньшем240 г/л, скорость очистки поверхности снижается, а большем 350 г/лповышается незначительно.Предлагаемый раствор для одновременного обезжиривания и травленияпрост в приготовлении, не требуетсложного оборудования, специальнойвентиляции и очистных сооруженийпри его применении, обеспечиваетповышение скорости очистки поверхности вольфрамовых изделий.Таким образом, повышается эффективность раствора за счет сокращениявремени очистки и снижения трудоемкости процесса, уменьшается расходхимикатов, а также повышается куль 25 тура производства.Экономия от очистки 4000 шт. испарителей в предлагаемом...

Номер патента: 815073

Опубликовано: 23.03.1981

Авторы: Мирнов, Пелихова, Федулова

МПК: C23C 3/02

Метки: гидрофильностидиэлектрической, поверхности, придания, раствор

...количества хлорного железа в воде. Цвет раствора - темно-коричневый.П р и м е р . Для обработки органических (пластик АВС, мопрон, сополимзр САМ, стеклотекстолит, полиметилметакрилат), и неорганических (стекло, ситалл, Феррит) материалов приготавливают раствор, содержащий:Хлорное железо 250Вода, л До 1Процесс обработки проводят при 18 С в течение времени (мин), кото-. рое различно для разных материалов:Пластик АБС 3Сополимер САМ5Мопрон 8Стеклотекстолит 8Полиметилметакрилат 15Стекло 3Ситалл 3Феррит бПосле обработки,в данном растворе поверхность промывают, активируют в совмещенном сенс-активирующем растворе, промывают и погружают в раствор для нанесения химических покрытий.При комнатной температуре за указанное время поверхность...