Тензопреобразователь давления
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
А 9 04 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯение относится к измериике и позволяет уменьшиизмерения. На мембранеалла сапфира размещенвноплечий мост, образоюл. В 32 в, А.Г.Здрок, .Смыслов и М,В.Су ть1)3537319,анный тен очувствительными злеме Интегральные тензо- И.; Энергоатомиздат в снимается соответств давления сигнал. 2 ил ных элемент щий значению фие ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРИ ДКЛШ ЮЭЮНМй И ОтРПЮ АВТОРСКОМУ СВИД,ЕТЕЛЬС(54) ТЕНЗОПР (57) Изобре тельной тех погрешность иэ монокрис замкнутый р Одна пара этих элементов ещена по окружности нулеой деформации мембраны. и К 4 имеют зубчатУю форенной формой огибающей стка. При воздействии навления с тензочувствитель 4 К, и К раэ вой радиаль Элементы К му с определ каждого леп мембрану даИзобретение относится к устройствам для измерения давления с помощью тенэочувствительных элементов,Целью изобретения является уменьшение погрешности измеренияНа фиг,1 изображен предлагаемый тензопреобразователь; на фиг,2 - разрез А-А на фиг.1.На круглой мембране 1 с плоской утоньшенной рабочей частью 2, выполненной из монокристалла сапфира в плоскости (0001), расположен замкнутый полный равноплечий тенэомост,образованный резисторами К, - К 4 и соединенными их уширениями 3, сформированными из эпитаксиального однородного кремния, выращенного плоскостью (111), причем пара одинаковых тангенциальных тензорезисторов К, и К расположена по дуге окружности, где радиальные деформации равны нулю, т.е. по окружности с радиусом 0,54 г, тензорезисторы К и К имеют зубчатую форму, огибающая каждого лепестка которой характеризуется формулойгде Ос - угол между радиусом-вектором точки и касательной вэтой точке;г - относительный Радиус-вектор(модуль радиуса-вектора, отнесенный к радиусу рабочейчасти мембраны); К ,К, - коэффициенты продольной ипоперечной тензочувствительности полупроводника соответственно.Толщина, ширина и длина средней линии всех тензорезисторов одинаковы, следовательно, их номинальные сопротивления также одинаковы.На уширениях 3 выполнены омические контакты .4, расположенные вне прямых, соединяющих концы смежных тенэорезисторов, Удалением части соответствующего уширения 3 достигается точное равенство сопротивлений всех плеч тензомоста при номинальном значении сопротивлений тензорезисторов. На изотропной поверхности мембраны обе пары тензорезисторов распо лагаются симметрично относительноосей 5 и б. В данном случае лучи 7тензорезисторов К и К расположенына площади, ограниченной окружностями радиусом 0,75 г и О,В 5 г.Очевидно, что подобный рисунок бу;дет иметь диффузионный и приклеиваемый тензорезисторы, в том числе ме таллический, если они выполнены изматериалов, изотропных по механическим и пьезорезистивным свойствам,и размещены на мембране с плоскойутоньшенной рабочей частью, изотроп,ной по механическим свойствам.Работа устройства осуществляетсяследующим образом. При действии давления на мембрану 1 с тензореэисторов К, - К 4 снимается сигнал, соответствующий значению давления. Формула изобретения 25Тензопреобразователь давления,содержащий упругую мембрану из монокристалла с тензочувствительными элементами иэ монокристалла полупроводника, соединенными в мостовую иэмерительную схему, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью уменьшенияпогрешности измерения, в нем тензочувствительные элементы одной парыпротивоположных плеч мостовой иэме рительной схемы размещены по окружности преимущественно с нулевой радиальной деформацией мембраны, а тензочувствительные элементы другой пары противоположных плеч имеют эубча тую форму, огибающая каждого лепестка которой характеризуется формулой 50 45с оз 2 к- ------- , -У1334049Составитель В.Казаков Редактор М,Циткина Техред М.Ходанич Корректор В.Гирняк Заказ 3957/41 . Тираж 776 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д,4/5 Производственно-полиграфическое предприятие,г.ужгород,ул.Проектная,4
СмотретьЗаявка
3943505, 16.08.1985
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ТЕПЛОЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ, МОСКОВСКИЙ ВЕЧЕРНИЙ МЕТАЛЛУРГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ, НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ ИНСТИТУТ АВТОТРАКТОРНОГО ЭЛЕКТРООБОРУДОВАНИЯ И АВТОПРИБОРОВ, ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5476
ЕВДОКИМОВ ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ, ЗДРОК АЛЕКСАНДР ГРИГОРЬЕВИЧ, БУШЛАНОВ ВЯЧЕСЛАВ ПАВЛОВИЧ, СМЫСЛОВ ИГОРЬ ИВАНОВИЧ, СУРОВИКОВ МИХАИЛ ВАСИЛЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01L 9/04
Метки: давления, тензопреобразователь
Опубликовано: 30.08.1987
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1334049-tenzopreobrazovatel-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Тензопреобразователь давления</a>
Устройство стабилизации гидростатического давления на упругую диэлектрическую мембрану
Номер патента: 1693065
Опубликовано: 23.11.1991
МПК: C12Q 3/00
Метки: гидростатического, давления, диэлектрическую, мембрану, стабилизации, упругую
...ограничения на регулируемый объем.На чертеже изображена блок-схема предлагаемого устройства,Устройство содержит ячейку 1, заполненную электролитом 2, который разделен на две части мембраной 3, С каждой частью электролита контактируют электроды 4. а в одной из частей электролита погружена нижняя часть поршня 5, Своей верхней частью поршень 5 соединен с блоком 6 вертикальных колебаний, функцию которого выполняет переменное сопротивление и электродинамическая акустическая головка (не показано), подвижная катушка которой соединена последовательно с переменным сопротивлением, причем выходом блока вертикальных колебаний является подвижная часть диффузора, а оставшиеся после соединения катушки с переменным сопротивлением их свободные концы...
Датчик давления
Номер патента: 1784847
Опубликовано: 30.12.1992
Автор: Белозубов
МПК: G01L 9/04
...функций. Аналогичные явления будут наблюдаться при использовании соотношения для "определения координат тензорезисторов, равноудалецных от5 10 20 30 ао 50 оси абсцисс, для окружных тензорезисто.ров,Корпус и упругий элемент выполнены из сплава 70 НХБМО, На поверхности мембраны и опорного основания нанесен диэлектрик 10 о виде структуры А 20 з - Я 02 толщиной 3 мкм. Тензорезисторы выполнены из сплава П 65 ХС с поверхностным сопротивлением 110 Ом/квадрат, Низкоомные перемцчки выполнены о виде структуры Ч-й толщиной 1,5 мкм,: Датчик работает следующим образом, Давление измеряемой среды воздействует йа мембрану, Под воздействием измеряемого давления на мембрану в ней возникают радиальные и тангенциальные напряжения, которые приводят к...
Устройство для измерения давления в камере с применением мембранной коробки
Номер патента: 63279
Опубликовано: 01.01.1944
Автор: Гольдбринг
МПК: G01L 7/10
Метки: давления, камере, коробки, мембранной, применением
...величина открытия клапана соседней коробки и т, д.На чертеже изображен схематически продольный разрез примерной формы выполнения предлагаемого устройства,Сжатый воздух из регулятора давления поступает через отверстие 9 в камеру постоянного давления 1, а из нее через калиброванное отверстие 3 - в камеру переменного давления коробки 2 с мембраной 5, Камера коробки 2 соединена трубкой с воспринимающим измеряемые смещения индикатором - штоком измерительного клапана 7. При закрытом клапане индикатора давление в камере коробки 2, по мере поступления воздуха через калиброванное отверстие, повышается, и мембрана 5, выпучиваясь, закрывает выходное для воздуха отверстие камеры следующеи коробки - 6 переменного давления куда воздух также поступает...
Упругая мембрана к манометрам и регуляторам давления
Номер патента: 70812
Опубликовано: 01.01.1948
Автор: Стрежнев
МПК: G01L 7/08
Метки: давления, манометрам, мембрана, регуляторам, упругая
...мембрана для манометров и регуляторов давления изображена на фиг, 1 и 2 в двух проекциях; на фиг, 3 и 4 показаны варианты выполнения мембраны.К пустотелому, кольцу 1, изготовленному из армированного полотна или другого эластичного материала, в экваториальной плоскости прикреплены с внутренней стороны - полотно мембраны 2, состоящее из двух гофрированных металлических пластин, и с внешней стороны - зажимное металлическое полотно 5,Полость кольца 1 заполнена сжатым воздухом или другим газом, пли же сообщена со средой, давление которой, подлежит регулированию, или измерению.Связь мембраны 2 с регулирующим устройством, или измерительным механизмом, осуществляется через упор 4, припаянный к полотну 2. 1, Упругая мембрана к манометрам и...
Мембранный кран управления для системы регулирования давления воздуха в шинах автомобиля
Номер патента: 135775
Опубликовано: 01.01.1961
МПК: B60C 23/00
Метки: автомобиля, воздуха, давления, кран, мембранный, системы, шинах
...штока 10 и устройства передачи движения на шкалу, состоящего из шестерни 11, стойки 12 и гайки 13,Обеспечение в системе заранее заданной величины давления осуществляется поворотом маховичка 9, что приводит к изменению натяга рабочей пружины 4. При этом усилие пружины через рабочую мембрану 3, выпускной клапан 6 и ш.ок 10 передается на впускной клапан 5, который пропускает воздух из полости А в полость Б, а из нее в шины автомобиля. Заданная величина давления фиксируется на градуированной шкале. Для увеличения в системе давления пружину 4 нужно подтянуть, а для уменьшения - ослабить. Кран обеспечивает автоматическое поддержание в системе заданного давления. Разгрузочная мембрана 7 служит для сглаживания пульсации давления в полости А...
Предыдущий патент: Устройство для косвенного контроля неравномерности воздушного зазора электрической машины
Следующий патент: Устройство для измерения давления веществ в трубопроводе
Случайный патент: Рабочий орган станка для продольной окорки лесоматериалов