Способ поверки дифракционных измерителей мер малых длин

(19) 111) 12 Ы 499 01 В 11/Ог . ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ АВТОРСКОМУ СВИДЕ СТВУ(2 (2 (4 ия - повышение точности изв путем устраненнных с определе дительности повер погрешностей, свя м положения краев элементов е котоачеств емую щ зера 1 змер щ Т и 11 алои длины, вльзуют регулирют излучение л мер и исп правл По ели, льно изменяя его в канал едова счет меряю мы 3 путем счетах полос и отслежи т ания димощьюо соотго пара ного максимума срующего блока 4. Эт изменению волно ченных значении со значениями олучен удят о ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ 1) 3783432/24-282) 02.07.846) 07.02.87. Бюл. У 571) Сибирский государственный нчно-исследовательский институтологии72) В.Д.Лизунов и В.М.Весельев53) 531.711(088,8)56) Метрология, 1979, В 4, с.1.8Яо 1 дд Ясаке ТесЬпо 1 ору, 1976,19,4, р.55-61.(54) СПОСОБ ПОВЕРКИ ДИФРАКЦИОННЫХИЗМЕРИТЕЛЕЙ МЕР МАЛЫХ ДЛИН(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для поверки градуировки измерителей малых длин. Цель изобретенои сис ренцион фракцио регистри ветству метра, П о результатам сравнения п ми при аттестации меры 2,погрешности измерителя. 2 илСпособ относится к измерительнойтехнике и может быть использован дляповерки или градуировки измерителеймер малых длин.Цель изобретения - повышение точности и производительности поверкиза счет устранения погрешностей, связанных с определением положения краевэлементов.На фиг.1 изображена функциональная ."1 йсхема устройства для реализации способа; на фиг.2 - конструкция многозначной меры малой длины.Устройство для реализации способасодержит когерентный источник излучения, например Не-Ие лазер 1, многозначную меру 2 малой длины, отсчетнуюсистему 3, регистрирующий блок 4,лазерный измеритель 5 перемещенийс цифровым электронным блоком 6 индикации,Конструкция меры 2 малой длинысостоит из корпуса 7, на торцах которого крепятся плоские пружины 8 припомощи стопорных колец 9 и цилиндрических стаканов 10, Центры плоскихпружин 8 жестко связаны с рамкой 11,на которой крепится подвижный нож 12,а неподвижный нож 13 крепится на выступе 14 корпуса 7 регулируемой щели.Юстировка и крепление ножей 12 осуществляется с помощью плоских планок15 и винтов 16. Между плоским упором17 рамки 11 с одной стороны и сферическим упором дифференциального мик ровинта 18 устанавливаются последовательно концевые меры 19 с разныминоминальными значениями, при этомрамка 11 с другой стороны жестко сое 40динена с корпусом уголкового отражателя 20 посредством тяги 21. Для смеъны концевых мер длины или установкипроизвольного размера щели рамка 11с уголковым отражателем 20 отводитсяог концевой меры 2 длины при помаши45электромагнитной системы 22.Способ поверки дифракцнонного из.мерителя осуществляется следующим образом. 50Излучение Не-Юе лазера 1 направляется на многозначную меру 2 малой длины, в качестве которой используется регулируемая щель в сочетании с уголковым отражателем 20, и дифрагирует на ш максимумов и минимумов. Первоначально устанавливается произвольный размер Й щели в заданном диапазоне, например, с помощью концевой меры 19 длины и дифференциального микровинта 18 или электромагнитной системы 22, измеряется волновой параметр 1 с помощью регистрируемого блока 4 и отсчетной системы 3, измерителя 5 и блока 6 индикации по второму каналу, а размер Йо щели определяется по формуле(1)о 1 ф где шЬ в известн волновые параметры; ш - порядок дифракционногомаксимума или минимума;- длина волны Не-Юе лазера; Ь - базовая длина - расстояние между объектом измерения и плоскостью изображения дифракционной картины, расположенной в области регистрирующей системы; Й, - произвольный размер щели. Последующее изменение размера щели измеряется по обоим каналам отсчетной системы 3, Перемещение уголкового отражателя 20 в первом канале 1 соответствует изменению Ы размера щели измерителя 5 в абсолютных значениях единицы длины путем счета числа интерференциальных полос Ьй =М где2 1 - длина волны Не-Не лазера 1, М - число полос.Перемещение уголкового отражателя 20 во втором канале 11 при автоматическом отслеживании центра дифракционного максимума с помощью регистрирующего блока 4 соответствует изменению волнового параметра д 1, которое связано с изменением размера щели первого канала 1 следующим выражвнием; ш 1 Ь +1, шд Ь +1о где 1,: =, +Ф 1 (3) - волновой параметр при последующем изменении размера щели. Используя выражение (3), формулу (2) можно преобразовать шАг ай= ----- (Г +ь 1) 1 +1 1,( +а)ооСоставитель В.КлимоваРедактор А.Ворович Техред И.Попович Корректор С.Черни Заказ 7796/37 Тираж 700 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035 Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул,Проектная, 4 последующем изменении размера щели, обрабатывается электронным блоком 6 и по результатам измерения определяется погрешность дифракционного измерителя мер малых длин. 5Сравнение последовательного ряда разностей мер малых длин проводится для заданного диапазона измерений мер малых длин, например 1-250 мкм , с определенной дискретностью 1-10 мкм, 10 используя набор концевых мер длины соответствующего класса точности, или плавным изменением размера щели при помощи электромагнитной системы.15 Способ поверки дифракционных измерителей мер малых длин, заключающийся в том, что на измерителе с помощью эталонной меры регистрируют волновые параметры дифракционной картины, по которым рассчитывают размеры меры, сравнивают полученные резулвтаты с результатами, полученными приаттестации меры,и определяют погрешность измерителя, о т л и ч а ю -щ и й с я тем, что, с целью повышения точности и производительностиповерки, в качестве эталонной мерыиспользуют регулируемую щель, поволновым параметрам дифракционнойкартины устанавливают начальное значение меры, последовательно изменяютразмер меры и одновременно с волновыми параметрами дифракционной картины регистрируют число интерференционных полос, соответствующих изменению размеров меры, а размеры мерырассчитывают одновременно по волновым параметрам меры и подсчитываемомучислу интерференционных полос и порезультатам сравнения полученных значений со значениями, полученными приаттестации меры, судят о погрешностиизмерителя.