Интерферометр

СОЮЗ СОНЕТСНИХааиа 3 МОПВеремРЕСПУБЛИК А 1 С 01 В 9 02 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕп. УДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕ СССРДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ВТОРСНОМУСВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Ленинградский институт точноймеханики и оптики и Научно-производственное объединение "Всесоюзныйнаучно-исследовательский институтметрологии им. Д.И.Менделеева"(57) Изобретение относится к измерительной технике. Устройство позволяетрасширить диапазон измеряемых перемещений путем изменения оптическихдлин путей в плечах интерферометраи уменьшения величины перемещенияавтоколлимационных зеркал. При перемещении автоколлимационных зеркали 8 с двумя параллельными отражающими гранями в плоскости, перепендикулярной оптическим осям плечей интерферометра, между оптически связаннымиуголковыми отражателями 3 и 5 и 4 и 6соответственно происходит частичноеперекрывание светового потока в плечах интерферометра, что приводит кизменению оптических длин путей.1 з ф-лы, 1 илИзобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным измерителям линейных угловых перемещений.Цель изобретения - расширение диапазона измеряемых перемещений - достигается путем изменения числа прохождений светового пучкамежду угловыми отражателями, что изменяет оптические длины путей в плечах интерферометра и чувствительность измерений.На чертеже представлена оптическая схема интерферометра.Интерферометр содержит источник монохроматического излучения, расположенные последовательно по ходу излучения светоделитель 2, двугранные 90-градусные отражатели 3 и 4, предназначенные для установки на объект, двугранные 90-градусные отражатели 5 и 6, расположенные напротив отражателей 3 и 4 таким образом, что вершина каждого отражателя 5 и 6 смещена вдоль оптической оси источника относительно отражателей 3 и 4 соответственно, светоделительная поверхность светоделителя 2 совмещена с отражающей поверхностью отражателя 5, два автоколлимационных зеркала 7 и 8, расположенных соответственно между отражателями 3 и 4 и отражателями 5 и 6 с возможностью перемещения в плоскости, перпендикулярной оптическим осям плечей интерферометра, и фотоэлектрический приемник 9.Интерферометр работает следующим образом.Световой поток от источника 1 направляется на светоделитель 2, который разделяет его на два пучка и направляет в два плеча интерферометра (на пары отражателей 3,5 и 4,6). Отраженный от пластины 2 пучок попадает на пару отражателей 5 и 3, от которых попеременно отражается до тех пор, пока не приблизится к вершине отражателя 6 настолько, что попадет на ту же грань отражателя 5, от которой последний раз отразился в сторону отражателя 3. При этом происходит изменение направления распространения пучка на противоположное и пучок проходит в обратном направлении тот же путь между отражателями 3 и 5, приб" лижаясь к .краям гипотенузных граней отражателей 3 и 5, пока не выйдет эа пределы отражателя 3. Выходящий пучок5 10 5 20 25 попадает на автоколлимационное зеркало 7 и отражается в обратном направлении. Пройдя прежний путь в пространстве между парой отражателей 3 и 5,пучок возвращается к светоделителю 2,где происходит интерференция со световым потоком, прошедшим аналогичныйпуть в плече, содержащем отражатели4 и 6. Результирующее световое излучение воспринимается фотоэлектрическим приемником 9.При перемещении автоколлимационных зеркал 7 и 8 в плоскости, перпендикулярной оптическим осям плечейинтерферометра, происходит изменениечувствительности интерферометра ирасширение диапазона измеряемых перемещений.По изменениям фототока приемника 9осуществляется измерение разностиоптической длины плечей интерферометра характеризующей угловое илилинейное перемещения объекта,формула изобретения1. Интерферометр для измерения углового положения объекта, содержащий источник монохроматического излучения и расположенные последовательно по ходу излучения светоделитель, четыре двугранных 90-градусных отражателя, первый и второй из кото 35 40 45 50 55 рых расположены напротив предназначенных для установки на объект третьего и четвертого отражателей таким образом, что вершина соответственно первого и второго отражателей смещена вдоль оптической оси источника относительно вершины третьего и четвертого отражателей, фотоэлектрический приемник и два автоколлимационных зеркала, а светоделитель расположен таким образом, что его светоделительная поверхность совмещена с отражающей поверхностью первого отражателя, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения диапа-, зона измеряемых перемещений, автоколлимационные .зеркала установлены соответственно между первым и третьим, вторым и четвертым отражателями с возможностью перемещения в плоскости, перпендикулярной оптическим осям плечей интерферометра.2. Интерферометр по п.1, о т л и - ч а ю щ и й с я тем, что автоколлимационные зеркала выполнены с двумя отражающими параллельными гранями,