Доводочный станок

(19 4 В 24 В 37 ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМ О ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИИ ЕТ СССРОТНРЫТИИ ИДЕТЕЛЬСТ АВТОРСНО роиство расбой и верхв виде обой У 45БауманаК,Ф,Скворцов,рман, В,Д.Соколо пружин и де закреплена пружины уст контакта со штоком демп 8. 8)детельство СССР4 В 37/04, 1984. ментом. танок п я тем м п.1, отличчто демпфер выстереэйсным. щий нен к НЬЙ СТАНОКний диск,льцевым г Станок по содер- аншайоитель. ичаюй элемент п.1, отл что верхни рабочего п.3, о т что демпФ й е нтом и успо троенное влич ающ ска ен в виде Станок по с я тем, сляным,выпол иловуи й а полщ и елью повышени нен м окоительное ус САНИЕ ИЗОБРЕТЕН(21) 3888849 /25-0 (2 й) 26.03.85 (46) 07,12,86.Бюп (71) МВТУ им, Н.Э (72) Ю,И,Нестеров В.П.Жалнин, Е.М.Н и Б.С.Смольянинов (53) 621.923.5 (О (56) Авторское св Мф 1201110, кл. В(54) (57) 1. ДОВОДОЧ жащий станину, ниж бу с верхним элем ное устройство, в цепь станка, о т с я тем, что, с чества доводки, у оложено между планшай ним элементом и выполнен мы с системой плоских мп 4 ера, при этом обойма на планшайбе, а плоские ановлены с возможностью смонтированным в обойм фера, связанным с верх10 15 20 25 30 35 40 45 50 Изобретение относится к абразив.ной обработке и может быть использовано для доводки и полирования полупроводниковых монокристаллическихпластин большого диаметра.Целью изобретения является повышение качества обработки за счет подавления вибраций в силовой цепистанок - инструмент - абразивнаяпрослойка - заготовка, что ведет кувеличению процента выхода годныхдеталей.На фиг.1 схематично изображен станок для двусторонней доводки; нафиг. 2 - то же, для односторонней доводки.На поворотной консоли 1 станкасмонтирована пиноль 2 с планшайбой 3,на которой закреплено успокоительное устройство, выполненное в видеобоймы 4 с плоскими пружинами 5 идемпфера.В случае двусторонней обработкииспользуется масляный демпфер, состоящий из плунжера 6 и штока 7, связанного с верхним рабочим диском 8,установленным на обрабатываемых деталях 9, размещенных в сепараторена нижнем диске 10.В случае односторонней доводки используется кольцевой гистерезисныйдемпфер, имеющий ступенчатый штокшпильку 11, связанный с планом 12 длякрепления деталей, и гайку 13 предварительного натяга,Обойма 4 успоконтеля с плоскимипружинами 5 закреплена на планшайбе3, при этом плоские пружины 5 контактируют со штоком 7 плунжера 6 масляного демпфера или со ступенчатымштоком-шпилькой 11 кольцевого демпфера. Штоки демпферов служат валамидля привода верхнего диска 8 илиплана 12,Станок работает следукнпим образом.Обрабатываемые детали 9 устанавливаются в сепараторе на нижнийдиск 10 станка или наклеиваютсяна план 12 в случае односторонней обработки. После этого при двусторонней доводке опускается верхний диск 8 и к нему прикладывается рабочая нагрузка от пиноли 2 станка, в случае односторонней обработки доводка осуществляется либо под собственным весом деталей 9 и плана 12, либо на план 12 может устанавливаться дополнительный груз, Далее в рабочую зону подается абразивная суспензия, а дискам 8 и 10, сепаратору и плану 12 с деталями сообщаются от привода станка вращательные движения вокруг собственных осей.В процессе обработки из-за износа рабочей поверхности дисков в силовой цепи станка возникает кинематическое возбуждение, которое гасит успокоитель в результате поглощения им энергии кинематического возбуждения. Эффективность успокоителя зависит от коэффициента жесткости К плосской пружины и коэффициента демпфирования С демпфера успокоителя, которые выбраны такими, что максимальная отрицательная действительная часть первой резонансной петли комплексной частотной характеристики композиционной динамической системы станка равна максимальной отрицательной действительной части второй резонансной петли, обусловленной резонансом успокоителяУспокоитель с параметрами К и С , удовлетворяющий указанному условию, обеспечивает устойчивость тех-. нологической системы доводочный станок - процесс абразивного изнашивания в достаточно широком диапазоне частот (5 - 500 Гц). Любое кинематическое возбуждение, возникающее в силовой цепи с частотой из указанного частотного диапазона, подавляется за счет того, что вся энергия кинематического возбуждения поглощается успокоителем, если указанное требование к параметрам К и С успое с коителя выполнены.В.противном случае не вся энергия кинематического возбуждения поглощается успокоителем, а следовательно, на некоторых частотах из частотного диапазона 5-500 Гц имеет место кинематическое возбуждение, котороеможет привести, например, к снижениюкачества обработки или поломке заготовки.1274914 Составитель А. ТекРед .И. Попов ов Редактор И.Николайчук РРектоР Г, Решетник акаэ сное 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная, 4 22/14 Тираж 740 ВНШ 1 ПИ Государственного комит по делам изобретений и о 113035, Иосква, Ж-З 5, Рауюск