Инструмент для гидродинамического полирования плоских деталей

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 19) 11 114 В 24 04 // В 24 Р 17/00 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ 1-К /х,ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ АВТОРСКОМУ С 8 ИДЕТЕЛЬСТВУ В(54) (57) ИНСТРУМЕНТ ДЛЯ ГИДРОДИНАМИЧЕСКОГО ПОЛИРОВАНИЯ ПЛОСКИХ Да,ТАЛЕЙ, выполненный в виде диска, нарабочей торцовой поверхности которого выполнены радиальные канавки,расположенные между плоскими гориастками, о т л и - я тем, что, с целью иэводительности обраеспечения увеличения ствия абраэивных час поверхностью обраали, канавки выполнеокрумном направлеобраэующая профиля описана кривой эонтальнымн учающийповьппения прботки путем оугла вэаимодестиц суспенэиибатываемой дены вогнутыминин, при этокакдой канавк глубина канавки;текущая координата щириныканавки при 0(хбВ;коэффициент пропорционалности, 1 с 0,424 10 -0,37;ширина канавки.1252141 2разом, возрастает производительностьобработки,При 1 ( 0,424 10тонкий слой суспензии между инструментом и обрабатываемой деталью теряет свою сплошность,в результате чего значительно снижается производительность обработки иухудшается качество обрабатываемойповерхности. При0,37 существен"но падает гидродинамическое давлениев области канавки, н результате чегообрабатываемая поверхность детали начинает контактировать с рабочей поверхностью инструмента, что приводит5 к повреждению обрабатываемой поверхности детали, появлению царапин ипрежпевременному износу инструмента,Инструмент работает следующим образом,20 При вращении инструмента в объемеабразивной суспензии к нему подводят плоскую деталь, которая. такжеможет совершать плоскопяраллельноедвижение, При этом за счет иабегаю 25 щего потока суспензии в канавках инструмента в зоне обработки возникаютскачки гидродинамического давления,благ даря которым деталь "плавает"над рабочей поверхностью инструментас некоторым очень маленьким зазором.Благодаря активному току суспензии взазоре между инструментом и деталью, абразивные частицы сталкиваютсяс поверхностью детали, в результатечего происходит ее разрушение и удаление необходимого припуска. Изобретение относится к металлообработке, касается полированияплоских заготовок и может быть использовано при обработке попупроводниковых пластин. 5Целью изобретения является повышение производительности обработкипутем увеличения угла взаимодействия абразивных частиц суспензии споверхностью обрабатываемой детали. ОНя фиг, 1 показан инструмент,вид с торца; ня фиг, 2 - сечение А-Ана фиг, 1,Инструментвыполнен в виде диска, на рабочей торцовой поверхности которого имеются радиальные канавки 2, расположенные между плоскими горизонтальными участками 3. В окружном направлении (кольцевом сечении) А-А канавки выполнены вогнутыми, а образующая профиля каждой канавки описана кривой Ь=1 х В - ширина канавки.Особенностью канавки, образующая профиля которой выполнена по кривой вида Ь=1 Гх х, является то, что в точке контакта образующей с плоским горизонтальным участком касательная, проведенная к образующей, составляет с плоским горизонтальным участкомиинструмента угол 90 , Поэтому вектор скорости абразивных частичек суспен 40 зии, скользящих прн обработке вдоль поверхности канавки по криволинейной траектории, постепенно изменяет свое направление и на выходе частичек иэ области канавки совпадает с касатель 45 ной, Таким образом, направление вектора скорости абразивных частичек составляет угол с плоским горизонтальным участком инструмента, равный 90 . А так кяк поверхность обрабатываемой детали :;яраллельня плоскому горизонтальному участку инструмента, то,следовате; эно, вектор скорости сос 1 авляет , .гй 1 якже угол, равныйо90 . Поэтому значительно большая 55 часть кинетической энергии абразивных частиц эятря:ивяется ня разрушение поверхности -,ягэтовкп, и, таким обтах 1+Гя 1 пгде Ь - глубина канавки;х - текущая координата шириныканавки при 0(х(В;коэффициент пропорциональности, 1=0,42410 -0,37 Образующую профиля канавки можнотакже описать в полярных координагде В - ширина канавки;Г - радиус вектора;дч - текущий угол (=0-90 );эксцентриситет образующейВ1 --- -1 где Ь - глубиФ ЯМехона канавки при Ч=90При 1=0, т,е, когда В =Ь , образующая представляет собой часть окружности; при 011, т,е. когда 1 сЬС 2 Ь , образующая представляет собой часть эллипса, при 11, т,е, когда 8211, образующая представляет собой гиперболу, образующие профиля канавок также обеспечивают движение абразивных частиц на