Смотровое устройство для вакуумных установок

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН др 4 Г 27 0 21/02 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(1) Специальное проектно-конструкторское и технологическое бюро электротермического оборудования Саратовского завода электротермического оборудования(54) (57) 1. СМОТРОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК, содержащее встроенный в стенку вакуумной установки тубус со смотровым стеклом, за,ЯО 1245842 А 1 щитный экран, установленный перед смотровым стеклом в тубусе, и механизм поворота защитного экрана, отличающееся тем, что, с целью увеличения угла обзора, улучшения защиты смотрового стекла от напыления и повышения надежности работы, защитный экран выполнен по форме внутренней поверхности тубуса и закреплен внутри тубуса на шарнирах, а механизм поворота экрана выполнен в виде охватывающего тубус соленоида с ферромагнитным сердечником, смещенным относительно точки крепления экрана вдоль оси смотрового устройства в сторону поворота экрана.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что соленоид выполнен с увеличивающимся в направлении к смотровому стеклу числом витков.3. Устройство по пп. 1 и 2, отличающееся тем, что оно снабжено ограничителем поворота защитного экрана, выполненным в виде упора, установленного в тубусе со стороны, противоположной точке крепления экрана.1Изобретение относится к вакуумной техникее.Целью изобретения является увеличение угла обзора, улучшение защиты смотрового стекла от напыления и повышение надежности работы смотрового устройства.На фиг. 1 показано смотровое устройство, при закрытом положении защитного экрана, продольное сечение; на фиг. 2 - сечение А - А на фиг. 1; на фиг. 3 - смотровое устройство при открытом положении за щитного экрана, продольное сечение; на фиг. 4 - сечение Б - Б на фиг. 3.Смотровое устройство содержит тубус 1 из немагнитной стали, смотровое стекло 2 с вакуумным уплотнителем 3 и гайкой 4, с помощью которой оно крепится к тубусу 1, поворотный защитный экран 5 из ферромагнитного материала, выполненный изогнутым по форме внутренней поверхности тубуса 1 и подвешенный в тубусе 1 на шарнирных петлях 6, и механизм поворота экрана, выполненный в виде охватывающего тубуссоленоида 7 с ферромагнитным сердечником 8, смещенным относительно точки подвеса экрана 5 вдоль оси смотрового устройства в сторону поворота экрана (вле во по фиг. 1). Защитный экран 5 установлен в тубусе 1 с минимальным зазором благодаря приданию ему изогнутой формы и подвеске в корпусе на шарнирных петлях.Соленоид 7 выполнен с увеличивающимся в направлении к смотровому стеклу 2 чис- Зо лом витков. Со стороны, противоположной точке подвеса экрана 5 в тубусе 1, имеется упор 9, ограничивающий угол поворота экрана.В периоды между наблюдениями защит- З 5 ный экран 5 находится в положении, показанном на фиг. 1 и 2. В этом положении он располагается поперек отверстия в тубусе 1 и благодаря малому зазору между ним и тубусом весьма эффективно защищает смотровое стекло 2 от напыления.Для проведения наблюдения включается соленоид 7 и защитный экран 5 под действием образовавшегося при этом магнитного поля поворачивается на шарнирных петлях 6 в положение, показанное на фиг. 3 и 4. Благодаря изогнутой форме защитный экран 5 располагается при этом непосредственно у стенки тубуса 1 и не мешает наблюдению. В процессе наблюдения соленоид 7 остается включенным, выполняя совместно с ферромагнитным сердечником 8 функцию магнитной защелки, удерживающей защитный экран 5 у стенки тубуса 1 и обеспечивая защиту смотрового стекла 2 от напыления электрическими заряженными частицами. Электрически заряженные частицы отражаются магнитным полем соленоида, которое, благодаря выполнению последнего с увеличивающимся в направлении к смотровому стеклу 2 числом витков, имеет пробочную конфигурацию и по отношению к заряженным частицам является магнитным зеркалом.По окончании наблюдения соленоидотключается, а защитный экран 5 под действием собственной массы поворачивается на шарнирных петлях 6 до соприкосновения с упором 9, т. е. возвращается в первоначальное положение.Устройство имеет большой угол обзора, так как в нем в поле зрения наблюдателя отсутствуют какие-либо детали, мешающие наблюдению. Благодаря меньшему зазору между защитным экраном и корпусом, а также обеспечению защиты смотрового стекла в период наблюдения от напыления заряженными частицами, оно превосходит известное устройство по защищенности смотрового стекла от напыления. Отсутствие в конструкции предлагаемого смотрового устройства подвижных элементов, подлежащих уплотненик, обеспечивает ему большую надежность герметизации.1245842 Б - Б Редактор А. ШандорЗаказ 3982/29 Составитель С. Дзигоев Техред И. Верес Корректор А. Обручар Тираж 56 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4