Термометр сопротивления
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1221510
Авторы: Алексеенко, Забродский, Ильин, Левин, Тимофеев
Текст
.И, Лев ехнически им. А.ф. Алексеен Ильин, В Забродсни М.П.Т 88,8)емния /Подперев, с245,и др. Высоый термопр ед. Г.Хегл. М.: Мир, 1972, с.Комов А.Н. ный прецизион тель иэ карби различного на всесоюзной на "Температура котемператур еобраэовадля датчикотеэ,докл,ренциив, 1984,а кремни начения, учной кон84", Ль азота легир т. 1, с, 60,ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(57) Изобретение может быть использовано при измерении сверхнизких температур в условиях воздействия внеш- него магнитного поля, Целью изобретения является повышение точности измерения в области низких температур. Для этого термочувствительный элемент выполнен из карбида кремния кристаллической формы типа 6 Н и легирован азотом в концентрации 5 10 -159-7 10 см . Легирование осуществляется из газовой фазы в процессе роста кристалла карбида кремния при контролируемом парциональном давленииопределяемом выбором уровняования. 2 ил 1 табл,246 2,7 3,3 0,29 9,0 0,1 Изобретение относится к термомет.рии, я именно к измерению сверхнизких температур от нескольких десятков до менее одного градуса Кельвиця в условиях воздействия внешнегомягцитцого поля,Целью изобретения является повышение точности измерения в областинизких температур,На фиг. 1 приведены погрешностиизмерения температуры с помощью германиевого (кривая 1) и карбидкремниевых (кривые 2, 3 и 4) термометров сопротивления в магнитном полеВ - 2,5 Т; ца фиг,2 - зависимость уровня легирования карбида кремния отпярциального давления азота в печипри 2050 С.Изготовление термочувствительного элемента термометра сопротивления осуществляется следующим образомВыращивают кристалл карбида кремния в политипной модификации 6 Н сублимационным методом при 2050 С. Леогировацие азотом осуществляется впроцессе роста из газовой фазы приконтролируемом парциальном давленииазота 8 10- 210 мм рт,ст., которсе определяется выбором уровня Из данных таблицы видно, что образец 1 с концентрацией 3 10 смпри 4,2 К имеет сопротивление 10 Ом, что затрудняет точное измерение температуры, а образец 5 с концентрацией азота 9 10 см(что превышает верх 9нцй рекомендованный предел) при 4,2 К имеет величину температурного коэффициента сопротивления ( ТКС ) 21510 2легировация, Выбор легирующей примеси азота и карбида кремния политипной модификации 6 Н определяется тем, что именно в данном политипе примесь азота дает достаточный глубокий уровень Ес - 0,1 эВ. Волновая функция электрона на таком уровне локализована в малой области с характерньв размером в несколько ангстрем, 1 О поэтому оца будет слабо деформироваться под влиянием внешнего магнит-, ного поля,что приводит к незначительным изменениям величины сопротивления в магнитном поле и повышению точности 15 измерения, Концентрация азота, определенная при комнатной температуре из холловских измерений, составила 6 10 - 7 10 см з в зависимости от8 -9парциального давления азота. При этом 20 для получения кристалла с заданнымуровнем легирования использована зависимость фиг, 2. Чувствительный элемент термометра сопротивления изготавливался в виде параллепипеда с разме рами 6 х 2 х 0,5 мм. Метрологические характеристики термометров, изготовленных с различной степенью легирования чувствительного элемента, представлены в таблице. равную 2 1 ОК , т. е, такой слабочувствительный элемент не подходит для термометра сопротивления. Формула изобретения Термометр сопротивления, содержащий термочувствительцьй элемент, вы3 1221510 аполненный из карбида кремния, о т л и- тельный элемент выполнен из карбидач а ю щ и й с я тем, что, с целью кремния кристаллической формы типаповышения точности измерения в облас Н и легирован азотом в концентрации18 19ти низких температур, термочувстви - 7 10 см,юТ,к РО Юф 0 дф д 7 д н ре. ет, оставитель А. Терекехред О.Гортвай емеш ректор А. Фере акто 1 одписно илиал ППП "Патент",жгород, ул. Проектна Заказ 1603/47 ВНИИПИ Госу по делам 113035, Моск
СмотретьЗаявка
3801604, 15.10.1984
ОРДЕНА ЛЕНИНА ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. А. Ф. ИОФФЕ
АЛЕКСЕЕНКО МАРГАРИТА ВАСИЛЬЕВНА, ЗАБРОДСКИЙ АНДРЕЙ ГЕОРГИЕВИЧ, ИЛЬИН ВЛАДИМИР АЛЕКСЕЕВИЧ, ЛЕВИН ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ, ТИМОФЕЕВ МИХАИЛ ПЕТРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01K 7/16
Метки: сопротивления, термометр
Опубликовано: 30.03.1986
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1221510-termometr-soprotivleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Термометр сопротивления</a>
Предыдущий патент: Способ измерения температуры
Следующий патент: Способ определения энергии остаточных напряжений
Случайный патент: Способ изготовления баритовой бумаги для фотографии