Вторично-эмиссионная электронная пушка

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ, Полушая пушка 3, М 2,О Н Н АЯ шая каой плаз- содер- выводОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(56) Нечаев А. А., Персианцев И, Гкин В. М. и др. Газовая электроннс плазменным анодом, - ПТЭ, 198с. 156.Патент США3970892, кл. 3151976,(54) (57) ВТОРИЧНО-ЭМИССИЭЛЕКТРОННАЯ ПУШКА, содержтод. сетчатый анод, камеру прианодмы с устройством для ее созданижащим ненакаливаемые электроды ЯО 1210157 А ное устройство, от.гичающаяся тем, что, с целью повышения энергии и увеличения апертуры пучка хскорсццых электронов цри сохранении одцоро ности распределения плотности тока цо плоцгадц, устройство для создания приацодцой плазмы выполнено в виде двух источников заряженных частиц, установленных встречно вдоль противоположныхстено камеры, каждьй источник содержи г систему цз трех параллельных плоских протяженных электродов, перцецдцкулярцых плоскости сетчатого анода, два ближайцгик к оси пучка ускоренных электронов электрода выполнены сетчатыми, а третий -- сплогццым, в промежутке между крайними электродами установлены постоянныс магнить с перпендикулярным плоскости электродов направлением магнитного поля.Изобретение относится к сил ьцоточ)пй электронике, в частности к электронным пу)цкам с большой апертурой эле)егроцного цуцка, и может быть использовано при элскгроиоциздционцом способе накачки гдзовыс 3 Р 0 Б .Пл)ю изобретения является цоыц)сцие энергии пуцка ускоренны.х электронов и уве)ицецие апертуры элсктронно)о пучка при соранении одцоро,п)ости рдсцрд(.ления 1 лоти(стц го)ха по плонсген.Нд фиг.1 показана втори 1)10-эъ) иссцонцдя элсктроццдя пушка, р;)зрез; ца фиг.2 - сечение Л А цд фиг1 атое 1 с помощью Высоковольтного изо- .5 Г) орс) 2 уесацОВЛЕИ ВаК уМНОй Кссрс 3, К ко)ор(Й цристыковзнс 1 кдм(.рд 4 д,1 я Образо В сп Ц 1 51 Ц Р И Д Ц 0Ц 0 И П Г 1 3 3 М 1, В С Р Х Н 10 1 О С Т С Н К Д котороц обрс 1:)ОВзнд ст)зтх зцоОм 5, д НЦЖЦ 5151 ЕЗЫВОДЦЫМ УСТРОР)СТЕ)ОМ )Э, ПР(.,ЕСТЗ 15 ПОЩИМ СОООИ 1 ОНКЮ Х)СТЗЛЛИЧЕСК 1( (1)О; ьм, 1 Ол,есржиВзем 1 О опорной )С)11 ткой. УстройТе)о;еля создания црианодной плдзмь) В Ы ц ОГ ц С ц 0 Б И;ЕС,Е В М Х И С Т ОЧ ц И и О Е) 7 3 с р 51- жеццых частиц, устацовлецны вдоль оокоВь): стенок кдмр)1 4. Истоце Нк 7 00 рдзовдц с )атыми электродами 8 и 9, с)лошцым электродом О ц постояцпымц магнитами 1. Длины электро сов соответствует размеру сетцдтого анода 5, размеры которого опрсделяются треоуемым ссчецисм пучка ускорен- НЫХ ЭЛКТРОЦОБ. ДЛ 51 ПОДЗЧИ Нсх(ПРЯЖНИ 51 ца электрод 8 цз стенках камеры 7 уста. нолены проходные изоляторы2. Требуемое .аленце в электронной пушке задается с ПОХ 10 ИЕЫО Вс)КМуМНОГО НЗСОСЗ 13 И НЗТСКЗ- г(.151 14.Устройство работает следующим образом, С., помощью вакуумного насоса3 и цатекатсля 14 в камера 3 и 4 электронной пушки заддется рабочее давление ца уровне 10 1 О торр. При подаче положительного напряжения ца сетцатый электрод 8 цс.рсз проодной изолятор 12 образующиеся в промежутке между находящимися под земляным потцциалом электродами 9 и 1 О электроны совершают колебательныс движения, прохо:Ея церез сетчатый электрод 8. На своем пути электроды иси)цзируют молекулы раооцего ГЗЗД, с 1 ООРс)ЗОВЗВПИ(.С 51 В ИРОМЖтк 1 ЕЖ- . эзектродс)ми 9 и 1 О ионы сквозь с(ч)ть)и электрод 8 вылетают в камеру 4, приобретая энергик), обусловленцук потенциалом электрода 8. В слуцае подачи отрццдтельноп цзпр 5 ж(.ция нз сэ,екро е 8 Б кзмерм 4 Вь.Та)от электроны. Величина потенциала электрода 8 выбирается Б зависимости от давления газа таким образом, цго длина 5свободного пробега, )сцрирусмого истоцникох) г)снто)нОГО ич)ед заряженных частиц, :)рсвыпает пси)ерецпый размер камеры 4.И(.нльзование дву. источников заряженЦЫХ ЗСТИ)Е, СОЗДДЮ 1 ЦИХ ВСТРЕсц 1 ЫЕ ПМЧКИ, Цов)ццсс)ЕТ ЭффтиНОСТЬ ИОЦИЗЗЦИИ ОСТЗТОЧ ного газа, цозволяег увеличить ооласть,за)ятук прианодцой лаз ой. При выборе ржпмд работы с длиной пробега зарякенцых частиц боль)е поперечного размера камеры 4 частицыеостигепие противополож- НОГО Иссоц цика, ОТрд Жд)ОТС 51 ОТ ЭЛ(.)ЕТродд 8 15и возвращаются в камер. Таким образом, Дзжс при пи:)ком,авлсции рабочего газа КОЦ)пптРаЦЦЯ ПРИаЦОДЦОЙ ПисЗМ ДОСтатОЦ 1 0 Б Е Д И К З)О С: помо)цыо постоянных мзЧ)итов 11 иэлктродов 9 и 10, которые ис:)ользуются в КДЧССтВС Магцит(ШРОВО;ЕОВ, В ПРОМЕжУтКЕ 1 к еу ничп создается постоянное магнитное цол(. е, пзправленнос перпендикулярно плоскости электродов обозначепо стрел)(о)е. Наличие магнитного поля обе(з)ециает стойцпвое горение разряда Б широком диа- П 3 3 0 Ц Е И 3 М (. Ц СЦ И 5( )с) ВЛ (.Ц И 5), Е( ПГ ОТ Ь;Е 0 В ЫСОКО 0 ВЗКУММс, НОСКО.)ЪКМ ЭГСКТРОЦЫ В ЭТОМ СЛЦс)Е ДВИЖМТСЯ Цо БИНТОВОЙ .)ИЦИИ ВДО,)Ь силовых линий магнитного поля, набирая большие эффективные .",ц ы свободного пробеги. 110 д действием ооразованцых источников 7 заряженцы частиц в камере 4 образуется слой приацодцой плазмы. Через отверстия в ссгцатом аноде 5 в камеру 3 из прианодной плазмы вытягиваются ионы, которые, пройдя ускоряюпеук разность потен)шзло, оомбардируют кдтод 1, вызывая эмиссию вторичных электронов. Вторичные э,)ектроны ускоря)отея в направлении сетчатого анода 5, приобретают энергию, опреде ляемую потенциалом като ез 1, через отверстия Б сетцдтом диоде 5 проходят через камсру 4 и затем через устройство 6 выво- .51 с 51 ц;) элктроннГ)1( ц ики. ПлОтнОсть тйки)уцкд коренных электронов определяется 45коцпецтрациец цриацодной плазмы, зависяей от ддлеця рабочего газа и параметро источника 7, расстоянием между катодом 1 И СЕТ )сТЫМ ДНОДОМ 0 И ЕспРЯЖЕ НИС М НД кдт(де 1.Редактор О.ЮрковецкаяЗаказ 524/56 Составитель С. Доценко Техред И. Верее Корректор .А. Зимокосов Тираж 644 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4