Устройство для измерения сдвига фазы световой волны при многократно нарушенном полном внутреннем отражении

ОЮЗ СОВЕТСКИХОЦИАЛИСТИЧЕСНИЕСПУБЛИН 19) ( ф) 16 4(51) О 01 Ю 3/2 ТЕН енныи униФиг.ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ ОПИСАНИЕ ИЭОБР К АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Таджикский государств верситет им. В.И.Ленина(56) 1, Харрик Н, Спектроскопия внутреннего отражения.М.,1970,с.183,2, Морозов В.Н. Теоретическое исследование возможностей эллипсометрических методов в спектроскопии НПВО. - В кн.: Современные проблемы эллипсометрии. Новосибирск, "Наука", 1980, с. 76.(54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СДВИГА ФАЗЫ СВЕТОВОЙ ВОЛНЫ ПРИ МНОГОКРАТНО НАРУШЕННОМ ПОЛНОМ ВНУТРЕННЕМ ОТРАЖЕНИИ, состоящее из осветителя,поляризатора, элемента многократнонарушенного полного внутреннего отра"жения в виде прямой призмы, в основа"нии которой лежит параллелограмм, абоковые грани, предназначенные длянанесения исследуемого объекта, попарно параллельны, о т л и ч а ю -щ е е с я тем, что, с целью осуществления раздельных измерений сдвиговфазы для параллельной и перпендикулярной составляющих линейно поляризованного света, элемент многократнонарушенного полного внутреннего отражения размещен внутри двухлучевогоинтерферометра Жамена на пути проходящих через него обоих пучков интер- Яферометра, а участки, предназначенные для нанесения исследуемого объек- ЦДта и свободные, чередуются,163161 гМежду пластинами 1 и 2 интерферометра Жамена введен элемент МНПВОв виде прямой призмы 3, в основании. которой лежит параллелограмм, боковыеграни которого попарно параллельны.Исследуемые слои 4 наносятся на боковые грани призмы. Поляризатор 5 .позволяет устанавливать либо перпендикулярную, либо параллельную поляризацию линейно поляризованного света. Поляризатор 5 формирует нужноенаправление линейной поляризациисветовой волны, идущей от источникавета. С помощью пластины 1 интерферометра линейной поляризованное излучение расщеппяется на два луча, которые попадают в элемент МНПВО 3.Один из лучей отражается от границы призма - воздуха, а другой - отграницы призма - объект - воздух.Сначала фиксируется интерференционная картина, когда .в интерферометрпомещен элемент МНПВО без измеряемогообъекта, а затем тот же элемент МНПВОс нанесенным объектом измерений. Вычисление искомого сдвига фаз ведутпо формуле И,нИзобретение относится к устройствам для измерения величин, характеризующих оптические свойства вещества.Известно устройство для измерения разности сдвигов фаз перпендикулярной и параллельной компоненты поля" ризованного света 1).Недостатком устроОства является невозможность получения абсолютных значений сдвига фазы при отражении О каждой из компонент перпендикулярно и параллельно поляризованного света,Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату кпредлагаемому является устройство для 5измерения сдвигов фазы световой волны при многократно нарушенном полномвнутреннем отражении (МНПВО), состоя-щее из осветителя, поляризатора,элемента МНПВО в виде прямой призмы, в 20основании которой лежит параллелограмм, а боковые грани, предназначенные для нанесения объекта, попарно параллельны 2,Недостатком известного устройства 25является невозможность осуществленияраздельных измерений сдвигов фазыдля параллельной и перпендикулярнойсоставляющих линейно поляризованно. го света.Цель изобретения - осуществлениераздельных измерений сдвигов фазыдля параллельной и перпендикулярнойсоставляющих линейно поляризованногосвета.Эта цель достигается тем, что в35устройстве для измерения сдвигов фазы световой волны при многократно на.рушенном полном внутреннем отражении состоящем из осветителя поляУ40ризатора, элемента многократно нарушенного полного внутреннего отражения в виде прямой призмы в основании которой лежит параллелограмм, абоковые грани, предназначенные длянанесения объекта, попарно параллельны 7 элемент многократно нарушенногополного внутреннего отражения размещен внутри двухлучевого интерферометра Жамена на пути проходящих черезнего обоих пучков интерферометра, аучастки, предназначенные для нанесения исследуемого объекта и свободные,чередуются,На чертеже изображено устройстводля измерения сдвига фазы световойволны при МНПВО,сдвиг фазы при отражении от объекта для перпендикулярной и параллельной компоненты света;сдвиг фазы при отражении на границе элемент МНПВО - воздух;смещение интерференционной картины от элемента МНПВО с объектом измерения и без объекта измерения1ширина полосы. Эффе ктивы о ст ь пр едла гаемо го устройства по сравнению с известным определяется тем, что.оно дает возможность измерять величины сдвига фазпри отражении от тонкой пленки, нанесенной на прозрачную подложку, вотдельности для перпендикулярной 9,и параллельной б и поляризаций, Этодает большую информацию об оптическихсвойствах тонких пленок, в частностиоб их анизотропии, Расширяются воз-можности применения методов контролятехнологии нанесений пленок на различные подложки,Подписноежоиитета СССРи открытийушская наб., д. 4/5 ЭЮ Филиоектная,актор Т.Кугрыш Тираа 897 Государственного елаи изобретений Москва, Ж, Ра