Способ защиты вакуумного объема от обратного потока паров масла

(19) (11) ЗОБРЕ ТЕЛЬСТВУ ИСАНИЕ НИ плане.СС 9,ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ И АВТОРСКОМУ СВИДЕ(71) Специальное конструкторскбюро вакуумных покрытий при ГоЛатвийской ССР(54)(57) СПОСОБ ЗАЗЦИТЫ ВАКУУМНОГООБЪЕМА ОТ ОБРАТНОГО ПОТОКА ПАРОВМАСЛА путем прокачки откачиваемогомеханическим насосом газа через сорбционную ловушку с одновременным охлаядением,последней, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения эффективности защиты, в качествесорбента ловушки используют аммиак,который подают в нее одновременнос прокачкой газа со скоростью, составляющей 0,01-0,02 от скорости откачкигаза механическим насосом,.а охлаждение ловушки производят до температуры не превышающей температуру конденсации аммиака.2 гобъема от обратного потока паров мас"ла путем прокачки откачиваемого механическим насосом газа через сорбционную ловушку с одновременным охлаждением последней, в качестве сорбента ловушки используют аммиак, который подаютв нее одновременно с прокачкой газасо скоростью, состачляющей 0,01-0,02от скорости откачки газа механическим насосом, а охлаждение ловушкипроизводят до температуры, не превьгшающей температуру конденсации аммиака.На чертеже изображена установка,реапизующая предлагаемый способ.Установка содержит объем 1, сое-,диненный через затвор 2 и охлаждаемуюсорбционную ловушку 3 с высоковакуумным 4 и форвакуумным 5 механическиминасосами. Откачиваемый объем 1 черезнатекатель 6 соединен с баллоном 1с аммиаком. Полость ловушки 3 черезнатекатель 8 соединена также с баллоном 7,Способ защиты вакуумного объемаот отработанного потока, парой маслазаключается в прокачке откачиваемого .механическим насосом 5 газа черезсорбционную ловушку 3 с одновременным охлаждением последней, В качествесорбента в ловушке 3 используют аммиак, который подают в нее одновременнос прокачкой газа со скоростью, составляющей 0,01-0,02 от скорости откачки .газа механическим насбсом 5, а охлаждение ловушки 3 производят до температуры, не превышающей температуруконденсации аммиака,Использование предлагаемого способа позволяет отказаться от загружаемого в ловушку сорбента, его нагревав процессе всего: цикла работы и ус-,транить пары воды в откачиваемомЬбъеме, тем самым упрощается технология получения вакуума и удешевляетсявесь процесс,Предлагаемый способ позволяетполучать безмасляный вакуум на любыхвакуумных установках с использованием. только одних серийно выпускаемых диффузионных насосов с охлаждаемой ловушкойе 1 116010Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для создания вакуума, свободного от паров масла.. Известен способ защиты вакуумного объема в высоковакуумиой установке, включающий откачку газа высоковакуумным и форвакууиным насосами с: масляным уплотнением через сорбцион" ную ловушку и подачу хладагента из пхлаждаемой ловушки на вход форва куумиого насоса О 3.Недостатком этого способа является повышенный расход хладагента за счет откачки его форвакуумным насосом и необходимость допалнитель" 1% ных коммуникаций для реализации способа. Кроме этого, указанный способ не исключает полностью попадание масла в камеру высоковакуумного насоса даже при наличии охлаждаемой 20 ловушки. Подача хладагента на вход форвакуумного насоса снижает скорость откачки.Наиболее близким к изобретению является способ защиты вакуумного 25 объема от обратного потока паров масла путем прокачки откачиваемого механическимнасосом газа через сорб. ционную ловушку с одновременным охлаждением последней. 30В качестве сорбента используют активированный уголь, который после предварительной регенерации нагревают до 130 С и поддерживают при этой ,температуре в течение всего времени35 работы. При этом пары масла активно поглощаются 2 .Недостатком этого способа является необходимость загрузки сорбента в ловушку, его нагрев в процессе всего цикла работы и периодическая регенерация, те. процесс получениябеэмасляного вакуума становится сложным н дорогостоящим. Кроме того, . указанный способ не позволяет устранять пары водЫ из откачиваемого объема.1 9Цель изобретения - повыюение эффек. тивности защиты50указанная цель достигается тем, что при способе защиты вакуумного1160102 Составитель О. ТишинаТехред Т.Дубинчак Корректор Я,Эрдейц Редактор О. ова Тираж 58 н За Государственноелам изобретени Иосква, Ж, Р 4 ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 и 3719/31 ВНИИ и 11303По комитета СССи открытийушская наб., д