Высоковакуумная ловушка диффузионного насоса

Номер патента: 1285217

Авторы: Башурин, Котельников, Резников

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК 801285 941 04 Р 9 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ г дьхпР Роды ДОО оды ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ ВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТ(7 ) Курский политехнический институт(54) ВЫСОКОВАКУУМНАЯ ЛОВУШКАДИФФУЗИОННОГО НАСОСА(7) Изобретение относится к вакуумнойтехнике, в частности к устройствам, улавливающим масло на входных патрубках вакуумных диффузионных насосов. Цель изобретения - повышение защитных свойствловушки. Испаритель титана, установленный в охлаждаемом корпусе 2, выполнен в виде двух оптически непрозрачных решеток 4 и 5 пластин 6 титана, наклоненных к оси корпуса 2 в противоположных направлениях и под одинаковыми углами. Между решетками 4 и 5 размещен нагревательный элемент 3. Молекулярные потоки титана, направленные под углом друг и другу, обеспечивают надежную преграду для обратного потока паров рабочей жидкости из насоса 1, На нагретых поверхностях происходит разложение углеводородов на легко откачиваемые газы, а образуемая титановая пленка на охлаждаемой поверхности корпуса 2 обладает откачивающей способностью, что увеличивает скорость откачки вакуумной системы и улучшает предельный вакуум. 1 ил.1285217 Формула изобретения Составитель Э. МогильницкаяРедактор Г. Гербер Техред И. Верес Корректор Л. ПилипенкоЗаказ 7571/38 Тираж 573 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 1Высоковакуумная ловушка относится к вакуумной технике, а именно к устройствам улавливающим масло на входных патрубках вакуумных диффузионных насосов.Целью изобретения является повышение защитных свойств ловушки.На чертеже представлена схема высоко- вакуумной ловушки диффузионного насоса.Ловушка диффузионного насоса 1 содержит охлаждаемый корпус 2, расположенный в нем испаритель титана и нагревательный 1 О элемент 3, причем испаритель титана выполнен в виде двух оптически непрозрачных решеток 4 и 5 пластин 6 титана, наклонных к оси корпуса 2 в противоположных направлениях под одинаковыми углами, а нагревательный элемент 3 размещен между решетками 4 и 5.Высоковакуумная ловушка работает следующим образом.При включении нагревательного элемента 3 каждая из решеток 4 и 5 образует мо-,2 О лекулярные потоки титана, направленные под углом друг к другу, что обеспечивает надежную преграду для обратного потока паров рабочей жидкости из диффузионного насоса 1,Кроме того, происходит разложение углеводородов на нагретых поверхностях на легко откачиваемые газы, которые частично откачиваются диффузионным насосом 1 и частично диффузируют в поток испаряемого титана. Образуемая титановая пленка на охлаждаемой поверхности корпуса ловушки обладает откачивающей способностью, что увеличивает скорость откачки вакуумной системы и улучшает предельный вакуум. Высокова куумна я ловушка диффузионного насоса, содержащая охлаждаемый корпус, расположенный в нем испаритель титана и нагревательный элемент, отличаюи 4 аяся тем, что, с целью повышения защитных свойств, испаритель титана выполнен в виде двух оптически непрозрачных решеток пластин титана, наклоненных к оси корпуса в противоположных направлениях под одинаковыми углами, а нагревательный элемент размещен между решетками.

Смотреть

Заявка

3950576, 09.09.1985

КУРСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ

КОТЕЛЬНИКОВ АНАТОЛИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, БАШУРИН АНАТОЛИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ, РЕЗНИКОВ АНАТОЛИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: F04F 9/06

Метки: высоковакуумная, диффузионного, ловушка, насоса

Опубликовано: 23.01.1987

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1285217-vysokovakuumnaya-lovushka-diffuzionnogo-nasosa.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Высоковакуумная ловушка диффузионного насоса</a>

Похожие патенты