Сорбционный вакуумный насос

(21) (22) (46) (72) (71) отдел о г ског (53) У 52 ГОСУДАРСТ 8 ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ 3637185/25-0618.08.8307,06,85. Бюл. У 21А.И, Аренштам и Е.Д. БендерИнститут теплофизики Сибирскогения АН СССР и Новосибирскийарственный университет им, Ленино комсомола621,65(088,8)1, Патент США В 3827829,17-49, опублик. 1974.Авторское свидетельство СССР386, кл. Р 04 В.37/02, 1.975,(54) (57) СОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОСсодержащий корпус-анод, размещенныйв нем по оси дуговой геттерный испаритель-катод и расположенный на корпусе-аноде соленоид, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, он снабжен электродами в виде газопроницаемых пластин, установленных перпендикулярно оси корпуса-анода по обеимсторонам от. испарителя-катода и имеющих отрицательный потенциал относительно последнего.101 Составитель В. КряковкинТехред И.Асталош Корректор И. Эрдейи Редактор О. Головач Тираж 586 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж-З."; Раушская наб., д, 4/5 Заказ 3719/31 Филиал ППП "Патент", гУжгород, ул. Проектная, 4 1. 1160Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям сорбционных вакуумных насосов с распыпяемыми геттерами.Известен сорбционный вакуумный 5 насос, содержащий корпус, помещенный в магнитное поле, и расположенный в корпусе дуговой геттерный испаритель-катод в виде кольца, в центре ко. торого установлен ячеистый анод 1 3. 10Недостатком данного насоса является невысокая быстрота действия по инертным газам вследствие затрудненного попадания плазмы дугового разряда в ячейки анода из-за ухода 15 электронов плазмы вдоль силовых линий магнитного поля насоса на корпус.Наиболее близким к изобретению является сорбциоцный вакуумный .насос, содержащий корпус-анод, размещенный 20 в нем по оси дуговой геттерный испаритель-катод и расположенный на корпусе"аноде соленоид 2 .Однако существование в насосе в различных зонах дугового разряда . 25 и разряда Пеннинга и невозможность проникновения плазмы дугового разряда в зону разряда Пеннинга вследствие ухода электронов плазмы вдоль силовых линий магнитного поля снижают эффек- ЗО тивность ионизации откачиваемого газа, особенно в зоне. разряда Пеннинга, а следовательно, и быстроту действия насоса, главным образом по инертным газам.35Цель изобретения - улучшение от. качных характеристик насоса.Указанная цель достигается тем, что сорбционный вакуумный насос, содержащий корпус-анод, размещенный що в нем по оси дуговой геттерный испаритель-катод и расположенный на корпусе-аноде соленоид, снабжен электродами в виде газопроницаемых пла.стин, установленных перпендикулярно оси корпуса-анода по обеим сторонам от испарителя-катода и имеющих, отрицательный потенциал относительно последнего..На чертеже представлен насос,про-,дольный разрез,Сорбционный вакуумный насос содержит корпус-анод 1, размещенный в немпо оси дуговой геттерный испарителькатод 2 и расположенный на корпусеаноде 1 соленоид 3 и снабжен электродами в виде газопроницаемых пластин4, установленных перпендикулярно осикорпуса"анода 1 по обеим сторонамот. испарителя-катода 2 и имеющихотрицательный потенциал относительнопоследнего.Насос работает следующим образом,При запуске насоса в промежуткемежду корпусом-анодом 1, испарителемкатодом 2 и пластинами 4 инициируются дуговой разряд и разряд Пеннинга,Дуговой разряд возникает между корпусом-анодом 1 и испарителем-катодом 2и характеризуется наличием катодныхпятен вакуумной дуги, которые, хаотически перемещаясь по поверхности геттерного испарителя-катода 2, испаряют геттер и генерируют поток нейтральной плазмы, занимающий весь промежуток между корпусом-анодом 1 и испарителем-катодом 2. Вблизи корпуса-анода1 электроны плазмы дугового разряда .дрейфуют в скрещенных электрическоми магнитном полях, образуя так называемый "холловский слой", характерный для разряда Пннинга. Уходу электронов вдоль силовых линий магнитного поля препятствует отрицательныйпотенциал пластин 4, напичие которыхсоздает условия для существованияв одном разрядном промежутке двух,типов разряда - дугового и Пеннинга,В этом разрядном промежутке происходит интенсивная ионизация молекул откачиваемых газов, обеспечивающая большую быстроту действия насоса.