Интерференционное устройство для измерения перемещений

ОЮ И) СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИНМ 59 Я 01 В 11/00 1т3 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРГЮ ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОЗЯфЫТИЙ(71) Специальное конструкторско-тех" иологическое бюро с опытным производством при Минском радиотехническом институте(53) 535.854(088,8),5 б) 1. Авторское свидетельство СССР М 679789, кл. 6 01 В 11/00, 1979.,(54)(57) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЗИ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, содер- жащеФ последовательно установленные источник моиохроматического излуче, ния, светорасщепитель и светоделитель, два зеркала,.одно из которых располагается на общем основании с контролируемым объектом последовательно по ходу излучения за светоделителем, а другое зеркало оптически связано с источником излучения через светорасщепитель и светоделитель, оптический элемент, расположенный с противоположной стороны светоделителя по отношению ко второму зеркалу и оптически связанный через светоделитель с обоими зеркалами, фотоприемник и блок регистрации, подключенный к выходу фотоприемника, о т л и ч а ю щ е е с я .тем что, с целью повышения точности и расширения частотного диапазона измерений виброперемещений, оно снабжено двумя размещенными симметрично относительно выходев оптического элемента отражателями, установленнымис возможностью регулировки угла их поворота относительно друг друга, а фотоприемник оптически связан с обоими отражателями1073567Изобретение относится к измери- возможностью регулнроэкн угла их по="тельной технихе и может быть ис- ворота относительно друг друга, а фопользоаано для измерения амплитуд топриемник оптически связан с обоимивибраций в широком диапазоне частот, отражателямннапример, при поверке вибродатчкков, на чертеже изображена оптическаяиспытаниях иэделий элвнтронной тех схема кнтерфервнционного устройстваийми к.дрдля измерения перемещений,.известно антврфвренционное устрой- Устройство содержит аийвдоваотво для измерения перемещений, содвр- тельно Установленные источник 1 моноаащве последовательно установлен- хроматического излучения, сзетврасщв..чеикя, светорасцейитель и .сввтоде- оптически связанное с источником 1литвль, два зеркала, одно иэ оторых излучения, оптический. элемент б, дварасполагается на общем оонОваиМи отражателя 7 .и 8, фотопрнемнкк 9,с койтролируеиим объектом последка- блок.10 регистрацкк,тельно по ходу излучения. за Фввтодв Сввторасщепитель 2 расположенлижелем, а другов зеркало оптически .на пути пучка света источника 1 иэлусвязано .с источником кзлучения че- чеиия, зеркало 5 - на общем основа. рвз светорасщвпктель и сввтодвлитвль, ник с контролкруемюм объектом 11,оптический элемент,.расположенйый с : опищвский элемент б - с противопопротквоположной стороны сввтоделите-ложной стороны .светоделнтеля 3 по отла по отношению ко второму зеркалу. вжению к зеркалу 4 к:оптически,иый к выходу фотоприемниками . и этом электрически связав с бвоком 10 реустройсве с опорным зеркалом акрвп-гистрацйи.,Мви электромеханический праобразо-.Устройство работает слвдукнщим обватель, а симметрично первому Фщо-. .разом..приемникуотносительно оптичебкого .: .Пучок света источника 1 делитсяэлемента установлен .второй Фото сввт 6 расщейитвлвм 2 .на два параллельпривмник, выходом связанный с электРОЖ ных пуща:М и 13. ЙУФок 12 делитсямваанкчвским преобразователем,сввтоделитеяе 6:3 иа два пучка, кото. ивдостаток иэаеатного увтРФЙсФ-рые, сщаэивмись от зеркала 4 и объек.ва .- ограниченный.частотйый диапазон та 11, формируют иктерфвренционнуюк невысокая точиость иэмврекнй .ЙРЯ картину 14; пучок .13 делится в своюксетроле виброперемещений, Что обУс- ф 5 очередь сввтбделителвм 3 на два пучловлвно нвлннейностью амплйтудно-ка, оторне,.отразившись от зеркала 4частотной иарактернстнки.пуеобраэо" .:н. зеркала.Ь:, .Формируют ивтврфервнвателя, сравнительно невысокой его . :. ционкую картнер 3. Образовавшиесясобственной частотой :к рядом других . иитврфеуенцМйнмв картины 14, и 15,причин. 46 отразааеись от оптического .элемента бцель изобретения - повьзвение 7 ом+ к затем вт, серажатвлей 7 и 8, попаности к ресшкрвние частот 3 нйо диа- . Дают .аа фотеириемник 9, где происхопазона измерений вкбройереМвЩений.дит наложение".ах .друг ва друга. Иэмв-.Вта цель достигаевся тем, что.нн- : няя угол поворота отражателей 7 и 8,терференцконное устройство для кэме .,относительао.друг друга, накладываютрвкия перемещений, содержаадв по- . две интврфервнциониые карины 14 и 15.слвдзватвйьно установленные источ-. ,:.в плоскости фотоприемника 9 со сдви-икк монохроматйческого излучения, гом кх .относительйо друг друга на посввторасщепктвль и светоделитель,ловкну длины волны источника сзедва зеркала, одно иэ .которых располата, т.е. темная полоса одной кнтерфегается на общем основании с онтро.- Ренцкониой хартиям будет наложеналирувмым объектом последовательно на светлую полосу другой, а светлаяпо ходу излучения .эа светоделителем,: полоса - на темную полосу. Интена другое зеркало оптически связано сквность суммарной интерференционнойс источником излучения через свето- картины преобразуется фотоприемнкрасщвпитель и светоделктель, опти ком 9 в электрический, сигнал, кото-ческий элемент, расположеннйй с про- рый измеряется блоком 10 регистра.тивоположной стороны светодвлителя ции.по отношению ко вторая зеркалу и Благодаря тому, что прк формироОптическн связанный через светоде- . . ванин второй интерференционной карлитепь с обоими зеркалами, фотоприемтины 15 используются те же элеменник и блок регистрации, подключен- ты, что к при формировании первойиый к выходу фотоприемнкка, снабжено (кроме объекта 11)к интерферкрующкедвумя размещенными симметрично отно- пары пучков проходят близко другсительно выходов оптического элемен- с другом, вредное воздействие, оката отражателями, установленными с 65 эываемое на них, является одинако1073567 оставитель С.Грачевхредм.тепер Корректор И.Шароши Редактор К.Волощу Заказ 312/3 Тираж 587 Подписноеосударственного комитета СССРизобретений и открытийМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 ИИП по де 11303 илиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проект 4 вым, а интенсивность суммарной интерференционной картины будет оставаться неизменной, так как интер. ференционные картины обоих каналов наложены друг на друга со сдвигом 4 половины длины волны источника света и вредные воздействия регистрироваться устройством не будут.Прк смещениях объекта 11 происходит изменение разности хода плеч измерительного канала интерфербмет ра В этом случае будет происходить изменение интенсивности суммарной интерференционной картины, которая преобразуется в изменение электрического сигнала на выходе фотоприемника 9, что регистрируется блоком 10 регистрации. Таким образом,изменение интенсИвности суммарнойинтерференционной картины можетпроизойти только в случае смещенияобъекта и его смещение может бытьзарегистрировано. ФИзобретение позволяет повысить точность и расширить частотньФ диапазон измерений за смет того, что вредные воздействия вычитаются оптически и не требуется использование электромеханических преобраэователей для стабилизации разности хода плеч интерферометра.