Интерферометр для контроля оптических поверхностей

. Г. Чоып.ЗГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССПО ДЕЛАМ ИЭОБРЕТЕНИЙ И ОТИРЫТИЙ ВИДЕТЕЛЬСТВУ"Наукаф, 1970, с.207.2. Авторское свидетельство СССРЮ 794362, кл. 6 01 В 9/02,01.02.79(54)(57) ИНТЕРФЕРОМЕТР ЛЛЯ КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ, содержащий последовательно расположенные на одной оси монохроматнческий источник света и формирующуюоптическую систему, светоделитель,делящий световой поток на две ветви и наблюдательную систему, установленную в одной ветви, о ти н ч а;ю щ и й с я темю Что,с целЬю повьааения производитель"ности и точности контроля, он снабжен.набором диафрагм,. каждая иэкоторых предназначена для установки в формирующей оптической системе в плоскости промежуточногоизображения источника света, бинарной фазовой синтезированной голограмкой, расположенной перед светоделителем в другой ветви, прямолиненым ножом фуко, установленным свозможностью продольного и попереч"ного перемещения относйтельно осинаблюдательной системы, и объективом с перемеиным фокусным расстоя.нием, расположенным в наблюдательиой системе.Изобретение относите к измерительной технике и может быть использовано для контроля качества оптических систем в оптическом прнборостроейни.Известен интарферометр для контроля оптических поверхностейсодержащий источник света, концевое плоские зеркала, телескопическую осветительную систему, микрообъектив, светочелительнцй кубик и вог; нутое сферическое зеркало в ветви сравнения 111.Недостатками данного интерферометра является та, что при контроле асферическия поверхностей требуется дополнительное специальное дорогостоящее оборудование и предъявляются высокие требования к юстиравке схемы интер 4 ерометра.Наиболее близким к изобретению по технической сущности является интерфераметр для контроля оптических поверхностей, содержащий по" следовательно расположенные на одной оси монохроматнческий источник света и формирующую .оптическую сис-. тему, светоделитель, делящий свето-. вой поток на две ветви н наблю дательную систему, установленнуюв одной ветви 3 ).Недостаткам известного ннтерферометра является низкая производительность й точность контроля.Целью изобретения является повышение производительности и точности контроля.Постаэленная целЬ достигаетсятем, что интерферометр для контроля оптических поверхностей, содержащий последовательно располааеннце на одной оси манахроматический источник .света и формирующую оптичес" : кую систему, светоделитель, делящийсветовой поток на две ветви, и на блюдательную систему, установленнуюв одной ветви, снабжен набором диафрагм, каждая из которыя предназначена для уотановки в форми."рующей оптической системе в плоскости промеауточного;изображения ис точиика света, бинарной фазовой синтезированной голограммой, располомеинай перед еветоделителем а другой ветви, прямолииейнцм нажом Фуко, устанавленицм с возможностью продольного и поперечного переме.щения относительна оси наблюдательная системц, и объективом с перемвнннм.фокусном расстоянием, рас , поношенном в наблюдательной системе.На ЧертЕжЕ ИзабражЕНа ПрннцнинаЛЬ иая схема интерферометра для кант; роля оптических поверхностей.Описцваекый иитерферометр содержит последовательно раепалоаеиице иа одной оаи манахраматичеекий ис-точник 1 света и формирукзяую апти" ческую систему для Формированияточечного источника света, состоящую из линз, 2 и 3, набор 4 смен-ных диафрагм, каждая нз которыхпредназначена для установки в фор мирующей оптической системе в плоскости промежуточного иэображенияисточника света, светоделитель .5,делящий световой поток на две ветви и выполненный в виде приэменно" 10 линзового блока, бинарную фазавуюсинтезированную голограмму б, рас-.положенную перед светоделителем 5в другой ветви, наблюдательную систему, включающую объектив 7 с пере"менным фокусном расстоянием,объектив 8 и окуляр 9, прямалиней"нцй ножфуко, установленныйс возможностью йрадольпого и поперечного перемещения относительноосн наблюдательной системц..Иитерферометр работает следующим образом.Пучок света ат манохроматического 1 источника света, собираетсяв.:точкулинзой.2 в плоскости однойиз сменнцх диафрагм набора 4. Лнн"эой 3 формируется точечный источ них света в виде точки О в центрекривиэнц поверхности а светоделителя 5, выполненного в виде при; М змеина-линзового блока. Поверхностьа является эталонной поверхностью интерферометра. На поверхности а происходит разделение. пучка света нарабочий и эталонной, .Прошедший, 35 являющийся рабочим, сферический волновой. фронт. падает на бинарную фазовую синтезированную голограмму 61преобразуется в заданный асферичес-,кий волнрвой фронт и падает на конт" 40 ролируемую асферическую оптическуюпаверхность 11. Отраженной асферический волновой франт прн обратномпрохождении через бинарную фазовуюсинтезированную голограьщу б пре образуется в сферический волновойфронт н, пройдя через светоделитель5 собирается в точке О. Отраженнаяот поверхности.а часть пучка являет- .ся эталонной. Она собирается в точке Оя. Рабочий и эталоннцй пучки ин терферируют, и иитерференционная кар- .тина рассматривается через обЪектив7 с перемеинцм фокуснцм расстояниеми окуляр 9. Объектив 8 в етом случаевыключается из хода лучейПри на блюаении теневой картинц прямолииейнцй иож 10 Фуко вводится такимобразом, чтобц точка О полностьюэкранировалаеь, а точка О - частично. Для наблюдения теневой картинц ео испрльзуется объектив 7 и окуляр 9.При контроле качества поверхности. по тачке в наблюдательную систему вводится объектив 8, и наблюдатель ная система преобразуется в микро скоп.1065684, 4Составитель Л.Лобэова Редактор Р.Цицика Техред И. Иетелева . Вбрректор 13.Патай авЕие Ю Заказ 11028/41 . Тираж 593 . Вщписяое. ЭНИИПИ Государственного комитета СССР по дфлам изобретений и от 1 срытий 113035, Москва, ) 35, Раувская иаб., д 4/5ею ф Филиал ППИ ффИатентфег. ужгорОд, ул йроектиая, 4Введение в .формирующую систему в плоскости промежуточного изобра" кения источника. света набора 4 сменных диафрагм, позволяет повысить качество предметной точки, а следовательно, и точность контроля.Установка перед светоделителем.5 бинарной фазовой синтезированной го- лограммы 6 позволяет расширить, , функциональные возможности интерферометра, т.е. преобразовать сферический волновой Фронт.в асфери- ческий и обратно, что позволяет контролировать оптические поверхности произвольной Форма. Кроме того, дифракционная эффективность бинарной фаэовой голограюы высока." Ва счет увеличения дифракционйой эффективности повышается точность контроля,таккак уменьшается количество рассеянного света, иовы. вается светопропускание схемы.интерферометра и, соответственно, увеличивается контраст интерференционной картины. Иодбор пространственной частоты голограммы, расчатная сферическая аберрация схеьи иитерферометра может быть сведена практически к нулю.Размещение ва счетоделителем 5 прямолинейного ножа 10 Фуко, выполненного .с воэможностью прециэионным подвиаек вдоль н перпендикулярно оптической оси наблюдателькОйсистемы, также позволяет расыиритьфункциональные возможности, поскольку позволяет оценить качество кьнт5 ролируемой системы по интерферен. ционной картине, по теневой картине н по точке,.не сбивая настройку, устройства, так как положение в,пространстве изображения предметной;30 Ьветяцейся точки во всех трек конт"рольных операциях остаетса иеиэмеи."ным, Это.позволяет повысить точ-,ность и производительность контрола,поскольку отпадает:необходимость до-,: полнительной юстировки схемы ийтерферометра при,переходахот аи-.терференционного метода к теиейа 4 у, .,и, методу.контроля по.точке..Снабжение наблюдательной сиЬйежюобьективом : с перЕйеняым фокуонММрасстоянием позволит: одной иабаодательной системой иабаодать качество контролируемой оптической5 системы по интерферограмме по.теневой картине и ио точке, что так-же повышает проиэводительвьсть тру 1 аи удобство в работе. ИФед)3 агааэайинтерферометр повволйет контрлировать асферическае поверхностиЗо произвольной Форве,