Электролит для получения покрытий из сплавов теллура

СОЮЗ СОВЕТСКИСОЦИАЛИСТИЧЕСКРЕСПУБЛИК 11511 С 25 Р 3/56 ГОСУДАРСТВЕ ПО ДЕЛАМ ИЗ КОМИТЕТ СССРЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ тПИСАНИЕ ИЗОБРЕТАВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ и 1,)Я- -ф -аъщ-. жащкй двуокисиго металла, гидную кислоту, ос я тем, что,плотных кристаллполупроводникосчет образованигерманием, он дгидроокись аююокиси соосаждаокись германияношении компоне Двуокись герДвуокись теГидроокись нГидроокись .аммонияВинная кисло с Ф(71) Институт неорганической и физической химии АН Азербайджанской ССР (53) 621.357.7:669.7831777(088.8) (56) 1, Федотьев Н. П., Бибиков Н.Н, Вячеславов П, М. и Грилихес С. Я. Электролитические сплавы. М.-Л., Машгиз, 1962, с. 308.2. Авторское свидетельство СССР Р 259588, кл. С 25 Р 3/56, 1968.3. Авторское свидетельство СССР по заявке Р 3265331/22-02, 1981. (54)(57) ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ СПЛАВОВ ТЕЛЛУРА, содертеллура и соосаждаемо роокись натрия и винтлич ающийс целью получения ических покрытий с ыми свойствами за я сплава теллура с ополнительно содержит ния, а в качестве дву мого металла - двупри следующем соотнтов, моль/л: мания 0,05-0,0909ллура 0,009-0,05 атрия 1,5-2ИзобретенИе относится к электро литическому получению сплавов, вчастности сплавов теллур - германий,которые могут быть использованы вполупроводниковой технике.Известен щелочной электролит дляосаждения покрытий, содержащих германий, причем германий вводят в раствор н вице двуокиси германия 1 .Однако этот электролит не позволяет получить сплав теллур - германий.Известен электролит для получения сплава германия с железом с использованием в качестве соединениягермания двуокиси германия. 15Однако данный электролит такжене дает возможности получить сплавтеллур - германий.Наиболее близким к изобретениюявляется электролит для получениясплавов. теллура, в частности свинец - теллур, содержащий. двуокисителлура и свинца, гидроокись калия,ниннокислый натрий и глицерин 33.Недостатком известного электролита является то, что он не позволяетполучить сплав теллур - германий сполупроводниковыми свойствами.Целью изобретения является получение плотных кристаллических покрытий с полупроводниковыми свойствами эа счет образования сплава теллура с германием.Цель достигается тем, что электролит для получения покрытий из сплавов теллурар содержащий двуокиси тел-З 5лура и соосаждаемого металла, гидроокись натрия и винную кислоту, дополнительно содержит гидроокись аммония,а в качестве двуокиси соосаждаемогометалла - двуокись германия при следующем соотношении компонентов,моль/л:Двуокись германия 0,05-0,0909. Двуокись теллура .0,009-0,05Гидроокись натрия 1 р 5-2 45Гидроокись аммония 0,4-0,5Винная кислота 0,3-0,5Электролиз проводят с анодами изплатины, а в качестве катодов никелевая или медная пластинка. Качественные, т.е. беспористые и хорошосцепленные с поверхностью подложкиосадки получаются при. плотностях тока 3-10 МА/смгр суМмарной концентрации компонентов 0,1 моль/л, соотношении компонентов равных 1:10;1.Гидроокись натрия используют длярастворения двуокиси теллура.Гидроокись аммония повышает растворимость двуокиси германия. Виннуюкислоту используют в качеетве комплексообразующей добавки.Наилучшие по механическим и электрофизическим свойствам осадки получаются н случае, когда суммарнаяконцентрация двуокиси германия и днуокиси теллура составляет 0,1 моль/л.Верхний предел концентрации двуоки-сей германия и теллура обусловлених растворимостью.Варьируя содержание германия ителлура в сплаве можно получить покрытия с заданными сочетаниями электрофизических параметров, Так, увеличение содержания германия н сплавеприводит к росту его сопротивленияи снижению темнового тока. Наоборот,повышением содержания теллура н сплаве можно получить устройства, работающие при более высоких величинахсилы тока,Электролит готовят следующим образом.Сначала в расчетном количестнеБаОН растворяют ТеОг, потом н неедобавляют ИНяОН и Ое 02 р так как002 быстро растворяется в присутствий нашатырного спирта, после растворения СеО добавляют винную кислогту,Предлагаемый электролит позноляетполучать покрытия иэ сплавов теллургерманий толщиной 2-15 мкм, не отслаинающиеся. от подложки и нераст.рескинающиеся, Содержание германиян сплаве меняется от 30 до 70. П р и м е р 1. Йэ электролита состава, моль/л: 002 0,05, Те 02 0,05, сянбОб 0,3, нняОн 0,4, БаОн 1,5, при соотношений компонентов 00:ТеО =г1:1, плотности тока 3 МА/смг и 20 С получают осадок состава, нес.%: Ое 20, Те 80, в течение 30 мин, "толщина пленки имеет 2,3 мкм. Осадок сплава обладает "р" типом.проводимости, имеет удельное сопротивление 4 10 0 м см, обладает хорошей адгезией, беспористый, выход по току сплава составляет 65.П р и м е р 2. Из электролита состава, моль/л: 002 0,08, Те 02 0,02, СяН 606 0,38, БНяОН 0,4 р БаОН 1,7 при соотношении компонентов Оеог: ТеО =2 - 4:1, при плотности тока 5 МА/смг и 500 ср получают осадок составар вес.Ъ: Се 45, Те 55 в течение 30 мин, толщина пленки 7,6 мкм.Осадок сплава обладает " р " типом проводимости, имеет удельное сопротивление 7,8"10 э Ом см, обладает хорошей адгезией, беспористый, выход по току сплава составляет 50.П р и м е р 3. Из электролитасостава, моль/л: 002 0,0909, ТеОг Ор 009 р СФ Н 60 б Ор 5 р Мняон Ор 5 Баон 2 при соотношении компонентон Ое 02.ТеОг=10:1, при плотности тока 10 МА/см г и 50 С получается осадок состава вес.Ь: Ое 70, Те 30 в течение 30 мин,. толщина пленки 15,1 мкм.Осадок сплава обладает " р " типом проводимости, имеет удельное со- противление 1,3 10 г Ом засмр обладает1046349 Составитель Р, ПоздееваРедактор А. Иандор Техред Ж,Кастелевич Корректор,О. Тигор Заказ 7671/27 Тираж 643 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, ж, Раушская наб., д. 4/5Подписное Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 хорошей адгезией, беспористое, выход по току составляет 40.Электроосаждение покрытий сплавом теллур - германий во всех примерах проводили на медной и никелевой подложках. 5 Прочность сцепления покрытия с подложкой определяли методом нанесения сетки царапин.Пористость определяли методом на ложения фильтровальной бумаги. Практически беспористые покрытия получа" ли при осаждении сплава толщиной выше 2 мкм. Рентгенографическим анализом установлено, что полученные слои имеют кристаллическую структуру.Как видно из приведенных данных, предлагаемый электролит обеспечивает получение покрытий сплавами теллур - германий с различным содержанием компонентов сплава, отличающихся высокой плотностью и адгезией с основой, являкцихся практически беспо 1 Ристымии обладающими полупроводниковыми свойствами, что позволяет использовать изобретение в полупроводниковой .технике, например, для изготовления фоторезисторов и в других полупроводниковых устройствах.