Способ активирования поверхности диэлектриков

А ЗСЮ С 23 С 3/О СССРРЫТИЙ БРЕТ ИЯ САН еских,Й вкфф фмеди ением медных щеночком чаи я- нвя скорос 23,атапитив рас- .кращеаИоспе че-. .рабатыапьдегидае АНИЯВ перед ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ДЕЛАМ ИЗОЬРЕТЕНИЙ МУ ОВИДЕТЕЛЬС.Г 21) 3292989/22-02,.80. 30349 химическим осажд етапйичпреимущественно м покрытвчакаай обработку в растворе сопи,промывку в воде и обработку врастворе гидразина, о т и и ч ас я тем, что, с пенью повышети формирования и сигиапвстйчески активного опоя, обработктворе гидрааинй проводят до прегазовыдепения на поверивсти,го поверхность допопнитепьно овают в арочномрастворе формИзобретение относится к химическомуосаждению металлических покрытий надиэлектрики, в частности, к способам актнвирования поверхности перед нанесениеммедных покрытий.5Известен способ активирования поверхности диэлектриков перед химическимосаждением метаплических покрытий, включающий обработку в растворе комплекснойсоли небпагородного металла, например,меди, и последующую обработку в растворе формальдегида 1,.Однако при осуществлении известногоспособа необходима длительная (до 200мин) обработка в растворе формальдегида. 15что ухудшает сцепление образующегосякаталитически активного слоя меди и егосплошн ость,Наиболее близким к изобретению потехническому существу и достигаемомурезультату является способ активирования поверхности перед химическим осаждением металлических покрытий, включающий обработку в растворе сопи меди,спромывку в воде и обработку в щелочном растворе гидразина 2 1.Известный способ позволяет получатьна поверхности каталигически активные1слои меди, более прочно сцепленные сосновой, Однако длительность процесса 30обработки в растворе гидразина такжеприводит к нарушешпо оплошности слоямеди.Цель изобретения - повышение скорос-ти формирования и сцлошности каталити 35чески активного слоя на поверхностидизлектриков.Указанная цель достигается тем, чтов способе активирования поверхности диэлектриков перед химическим осаждениемметаллических, преимущественно медныхпокрытий, включающем обработку в растворе соли меди, промывку в воде и обработку в щелочном растворе гидразина,обработку в растворе гидразина прово 45дят до прекращения газовыделения на поверхности после чего поверхность дополнительно обрабатывают в щелочном растворе формальдегида.При осуществлении способа предварительно обезжиренную поверхность диэле "- трика обрабатывают аммиачно-глицериновым раствором хлористой меди, содержащем:Хлористая медь, г 50Глицери, мл 100Лммиак (26 гоо-ныйводный раствор), л до 1 в течение 30 с, после чего подсушивают. на воздухе до образования пленки на по- верхности (20 мин). Затем поверхность промывают в горячей воде (70-80 С) в течение 30 с для осуществления процесса гидрсцгиза, после чего обрабатывают в щелочном растворе гидразина (20 г/л и рН=8,0) при 20 С. При этом в течение не более 1 мкм наблюдается бурное газовыделение и на поверхности формируется.пленка закиси меди темно-желтого цвета.. После прекращения газовыделения поверхность вновь промывают водой и дополнительно обрабатывают в 20%-ном щелочном растворе формальдегида (рН=12,5) при 20 С . в резрп.тате чего на поверхности образуется пленка металлической меди темного цвета. Время обработки до 20 мин.Лктивированную таким образом поверхность погружают в раствор химического меднения, содержащий, г/л:Медь сернокислая 20Никель хлори тый 6Гидроокись натрия 20Сегнетова. соль 80Формалин (33%-ныйраствор), мкУл 20 Осаждение осуществляют при 20 С и механическом перемешивании раствора.Данные условий обработки по предпагаемому и известному способам приведены в таблице,1014977 20 208 8 20 20 208 8820 20 20 1) Гидразин, г/лрн 20 20 Температура,о С Время обработки,0 5 10 1 5 20 200 Сплошность покрытия,ою 98 100 100 10 80 2) Формальдегид, %рН 20 20 20125 125 125 20 20 20 Температура,о С Время обработки,мнн 20 10 15 Сплошность медногопокрытия,% 90 100 100 Составитель Е. КубасоваТехреа В,ДалекорейКорректор А,Дзнтко Редактор П.Макаревич Заказ 3142 У 25 Тираж 956 Подписное ВНИИ ПИ Государственного комитета СССРФилиал ПДП фПатент, г. Ужгород, ул. Проектная,4 Как видно из данных таблицы предпа- Зй талитически активного слоя. При гаемый способ позволяет значительно этом сплошность покрытия достига, сократить скорость формирования ка- ет 100%.